矽錠線切割廢料陶瓷導液管的製備方法

2023-05-23 03:02:11

專利名稱：矽錠線切割廢料陶瓷導液管的製備方法
技術領域：
本發明涉及一種矽錠線切割廢料陶瓷導液管的製備方法，屬於陶瓷製備技術領 域。
背景技術：
矽錠線切割廢料陶瓷導液管目前採用鈦酸鋁注漿、等靜壓成型技術生產，其缺 點是使用壽命短、生產效率低，人工操作，產品性能不穩定。

發明內容
本發明的目的在於提供一種能克服上述缺陷、性能優良的矽錠線切割廢料陶瓷 導液管的製備方法。其技術方案為包括陶瓷粉料製備、成型、燒成，將矽錠線切割廢料、粒度為0.01-3 μ m的氮 化鋁粉體、粒度為0.01-3 μ m的氮化矽粉體、粒度為0.01-3 μ m 二氧化矽粉體、鋰玻璃粉 按重量比為40 70 8 15 8 15 8 15 6 15均勻混合，經等靜壓成型， 然後在1600 1800°C X 1 2小時氮氣氣氛燒製成矽錠線切割廢料陶瓷導液管。所述的矽錠線切割廢料陶瓷導液管的製備方法，矽錠線切割廢料粒度小於 5 μ m。所述的矽錠線切割廢料陶瓷導液管的製備方法，鋰玻璃粉粒度小於3 μ m。本發明與現有技術相比，其優點為1、本發明生產的矽錠線切割廢料陶瓷導液管是採用氮化矽、氮化鋁和二氧化矽 粉體，在燒結過程中形成了塞隆陶瓷結合矽錠線切割廢料，由於添加了鋰玻璃粉進一步 降低燒成溫度並擴大燒成範圍、使得矽錠線切割廢料陶瓷導液管的顯微結構均勻，熱膨 脹係數低，強度高，氣密性好，整體可靠性高，使用壽命長。2、本發明中主要由於使用了矽錠線切割廢料和鋰玻璃粉，使生產成本大幅度降 低。
具體實施例方式實施例1將矽錠線切割廢料、粒度為3μιη的氮化鋁粉體、粒度為3μιη的氮化矽粉體、 粒度為3 μ m 二氧化矽粉體、鋰玻璃粉按重量比為40 15 15 15 15均勻混合，經 等靜壓成型，在160(TC X2小時氮氣氣氛燒制，製成矽錠線切割廢料陶瓷導液管。實驗所用原料的純度均為工業純。所獲得矽錠線切割廢料陶瓷導液管的耐壓強度為360MPa.，氣密性大於 0.03Mpa/mm，熱膨脹係數小於2.3X 10_6/°C，使用壽命大於180天。實施例2將矽錠線切割廢料、粒度為1 μ m的氮化鋁粉體、粒度為1 μ m的氮化矽粉體、粒度為1 μ m 二氧化矽粉體、鋰玻璃粉按重量比為55 11 11 12 11均勻混合，經 等靜壓成型，在17001乂1.5小時氮氣氣氛燒制，製成矽錠線切割廢料陶瓷導液管。實驗所用原料的純度均為工業純。所獲得矽錠線切割廢料陶瓷導液管耐壓強度為380MPa.，氣密性大於0.03Mpa/ mm,熱膨脹係數小於1.8X10_6/°C，使用壽命大於180天。實施例3將矽錠線切割廢料、粒度為0.01 μ m的氮化鋁粉體、粒度為0.01 μ m的氮化矽粉 體、粒度為0.01 μ m 二氧化矽粉體、鋰玻璃粉按重量比為70 8 8 8 6均勻混合， 經等靜壓成型，在180(TC Xl小時氮氣氣氛燒制，製成矽錠線切割廢料陶瓷導液管。實驗所用原料的純度均為工業純。所獲得矽錠線切割廢料陶瓷導液管耐壓強度為340MPa.，氣密性大於0.03Mpa/ mm,熱膨脹係數小於2.0X10_6/°C，使用壽命大於180天。
權利要求
1.一種矽錠線切割廢料陶瓷導液管的製備方法，包括陶瓷粉料製備、成型、燒成， 其特徵在於將矽錠線切割廢料、粒度為0.01-3 μ m的氮化鋁粉體、粒度為0.01-3 μ m 的氮化矽粉體、粒度為0.01-3 μ m 二氧化矽粉體、鋰玻璃粉按重量比為40 70 8 15 8 15 8 15 6 15均勻混合，經等靜壓成型，然後在1600 1800°C X 1 2小時氮氣氣氛燒製成矽錠線切割廢料陶瓷導液管。
2.根據權利要求1所述的矽錠線切割廢料陶瓷導液管的製備方法，其特徵在於矽 錠線切割廢料粒度小於5 μ m。
3.根據權利要求1所述的矽錠線切割廢料陶瓷導液管的製備方法，其特徵在於鋰 玻璃粉為鋰玻璃製成粒度小於3 μ m的粉體。
全文摘要
本發明提供一種矽錠線切割廢料陶瓷導液管的製備方法，包括陶瓷粉料製備、成型、燒成，其特徵在於將矽錠線切割廢料、粒度為0.01-3μm的氮化鋁粉體、粒度為0.01-3μm的氮化矽粉體、粒度為0.01-3μm二氧化矽粉體、鋰玻璃粉按重量比為40～70∶8～15∶8～15∶8～15∶6～15均勻混合，經等靜壓成型，然後在1600～1800℃×1～2小時氮氣氣氛燒製成矽錠線切割廢料陶瓷導液管。本發明製備的矽錠線切割廢料陶瓷導液管具有強度高，生產效率高，使用壽命長等特點。
文檔編號C04B35/622GK102010208SQ201010281668
公開日2011年4月13日 申請日期2010年9月15日 優先權日2010年9月15日
發明者唐竹興 申請人:山東理工大學