一種靶材等離子噴塗自吹積瘤裝置製造方法
2023-05-20 11:49:06
一種靶材等離子噴塗自吹積瘤裝置製造方法
【專利摘要】本實用新型公開一種靶材等離子噴塗自吹積瘤裝置，該自吹積瘤裝置包括位於噴塗罐外且依次利用氣管連通的空氣壓縮機、減壓閥、儲氣罐及位於噴塗罐內且依次利用高溫氣管連通的脈衝電磁閥、吹氣架。本實用新型空氣壓縮機通過送氣管和減壓閥與儲氣罐進氣口連接，保證儲氣罐內充滿氣體並處於恆定高壓狀態，而儲氣罐出氣口與脈衝電池閥進氣口連接，脈衝電磁閥出氣口與吹氣架相連，進而實現在不暫停等離子噴塗作業情況下，自動吹除在等離子噴塗過程噴咀上產生的積瘤，大幅度降低了噴塗大尺寸、高純度旋轉靶材的時間和人力成本，間接提高了旋轉靶材的結合強度和緻密性。
【專利說明】一種靶材等離子噴塗自吹積瘤裝置
【技術領域】
[0001] 本實用新型一種旋轉靶材生產過程中的在線高壓自動吹積瘤裝置，特別涉及一種 真空等離子噴塗設備上用的自動吹積瘤裝置。
【背景技術】
[0002] 在真空等離子噴塗旋轉靶材過程中，少量過熔粉末會凝結在噴咀上形成積瘤，不 及時處理，積瘤會濺射到靶材上，使靶材出現大面積積瘤導致報廢。目前，公知的處理積瘤 的方式為：在發現噴咀處出現積瘤後，暫停等離子噴塗設備運行，採用人工手動方式去除 噴咀上的積瘤。由於製造旋轉靶材特別是大尺寸、高純度的靶材周期較長，經常停機除積瘤 不僅會大幅度提高了生產靶材的時間成本和人力成本,而且頻繁暫停等離子噴塗作業會導 致旋轉靶材粉末的結合強度和緻密性大幅度降低。
[0003] 由此，本發明人考慮對現有靶材噴塗吹積瘤裝置結構進行改進，本案由此產生。 實用新型內容
[0004] 為了克服在生產大尺寸、高純度旋轉靶材過程中需要吹除積瘤而經常暫停等離子 噴塗作業的不足。本實用新型提供一種真空等離子噴塗自動吹積瘤裝置，該吹積瘤裝置 能在不暫停等離子噴塗作業的情況下吹除噴咀上產生的積瘤，不但大幅度降低了生產大尺 寸、高純度旋轉靶材的時間和人力成本，而且還能間接提高靶材粉末的結合強度和緻密性。
[0005] 為達到上述目的，本實用新型是通過以下技術方案實現的：
[0006] -種靶材等離子噴塗自吹積瘤裝置，該自吹積瘤裝置包括位於噴塗罐外且依次利 用氣管連通的空氣壓縮機、減壓閥、儲氣罐及位於噴塗罐內且依次利用高溫氣管連通的脈 衝電磁閥、吹氣架。
[0007] 進一步，所述空氣壓縮機、減壓閥、儲氣罐之間利用不鏽鋼氣管連通，且噴塗罐的 上方的輸出端利用高溫氣管與脈衝電磁閥連通。
[0008] 進一步，所述脈衝電磁閥連通利用高溫氣管與吹氣架側面兩吹氣孔連通。
[0009] 進一步，所述吹氣架為一金屬圓環體，其中央通孔與罐體上方設置的噴嘴套接，形 成噴嘴支撐構架。
[0010] 進一步，所述吹氣架下端面向下延伸形成弧形側壁，該弧形側壁上開設有兩吹氣 孔，每個吹氣孔垂直與套於中央通孔內噴嘴的噴出端垂直，從而形成針對噴嘴及中央通孔 周側邊沿的吹積瘤結構。
[0011] 進一步，所述兩吹氣孔中心夾角呈銳角。
[0012] 進一步，所述噴塗罐體可為授權公告CN203373415U所描述的罐體結構。
[0013] 本實用新型空氣壓縮機通過送氣管和減壓閥與儲氣罐進氣口連接，保證儲氣罐內 充滿氣體並處於恆定高壓狀態，而儲氣罐出氣口與脈衝電池閥進氣口連接，脈衝電磁閥出 氣口與吹氣架相連。在等離子噴塗作業過程中，噴槍將會根據旋轉靶材的長度通過行走機 構的傳動進行往返水平運動，當等離子噴槍行走至正好超出旋轉靶材兩端的位置時，由等 離子噴塗系統控制櫃向脈衝電磁閥發出控制信號，脈衝電磁閥打開，儲氣罐中氣體由於壓 力作用從吹氣架上吹出，從而達到不暫停等離子噴塗作業情況下自動吹除等離子噴塗過程 中噴咀上積瘤目的。
[0014] 本實用新型的有益效果是，可以在不暫停等離子噴塗作業情況下，自動吹除在等 離子噴塗過程噴咀上產生的積瘤，大幅度降低了噴塗大尺寸、高純度旋轉靶材的時間和人 力成本，間接提高了旋轉靶材的結合強度和緻密性。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0015] 圖1是本實用新型結構示意圖；
[0016] 圖2是本實用新型所述吹氣架結構示意圖；
[0017] 圖3是本實用新型實施例中所述行走機構結構示意圖。
【具體實施方式】
[0018] 下面結合附圖對本實用新型作進一步說明：
[0019] 實施例：請參閱圖1至圖2所示，一種靶材等離子噴塗自吹積瘤裝置，該自吹積瘤 裝置包括位於噴塗罐A外且依次利用氣管連通的空氣壓縮機1、減壓閥2、儲氣罐3及位於 噴塗罐A內且依次利用高溫氣管4連通的脈衝電磁閥5、吹氣架6。
[0020] 請參閱圖1至圖2所示，前述空氣壓縮機4的出氣口通過直徑為025的304不鏽 鋼氣管7與減壓閥2的進氣口相連，減壓閥2的出氣口通過直徑為025的304不鏽鋼氣管7 與儲氣罐3的進氣口相連，而儲氣罐3的出氣口通過直徑為020的高溫氣管4的穿過真空 罐體法蘭盤8的與脈衝電磁閥5的進氣口連接，脈衝電磁閥5的出氣口與吹氣架6相連。
[0021] 請參閱圖1至圖2所示，前述吹氣架6為一金屬圓環體，其中央通孔61與罐體上 方設置的噴嘴套接，所述吹氣架6下端面向下延伸形成弧形側壁62,該弧形側壁62上開設 有兩中心夾角呈銳角的吹氣孔63,該兩吹氣孔63均通過高溫氣管4與脈衝電磁閥5連通， 同時利用每個吹氣孔63垂直與套於中央通孔61內噴嘴的噴出端垂直，從而形成針對噴嘴 及中央通孔周側邊沿的吹積瘤結構。
[0022] 請參閱圖1至圖2所示，本實用新型的工作原理如下：
[0023] 空氣通過空氣壓縮機1壓縮後，經過不鏽鋼管7填充到儲氣罐3內。在等離子噴塗 作業過程中，噴槍的噴嘴將會根據旋轉靶材的長度，通過行走機構9的傳動往返水平運動。 當等離子噴槍行走至正好超出旋轉靶材兩端的位置時，等離子噴塗系統PLC控制櫃向脈衝 電磁閥5發出控制信號，脈衝電磁閥5打開，儲氣罐3中氣體由於壓力作用從吹氣架6上快 速吹出，從而達到不暫停等離子噴塗作業情況下自動吹除等離子噴塗過程中噴咀上產生的 積瘤目的。
[0024] 請參閱圖1至圖3所示，前述行走機構9位於真空靶材噴塗罐體A內並固定於罐 體A內壁上；該行走機構包括固定架92、移動車93及伺服電機94。
[0025] 請參閱圖1至圖3所示，前述所述固定架92包括固定板921及滑軌922,所述滑 軌922固定於固定板921上，而固定板921固定於罐體91內壁上，其中滑軌922為兩個平 行設置的圓柱滑軌，每根滑軌下方均設置有滑軌支柱9221。
[0026] 請參閱圖1至圖3所示，前述移動車93包括車架931、靶材支架932及滾輪933， 所述滾輪933設置於車架931下方並分別與兩圓柱滑軌922配合形成滑動機構，而靶材支 架932上端呈弧形並固定於車架931中央並與罐體頂端的噴槍相對應；車架931 -側設置 有定位板95,該定位板95下方設置有齒排951，該齒排951與齒輪96相互嚙合，形成對移 動車移動方向的定位結構，其中所述滾輪933為表面凹陷滾輪。
[0027] 請參閱圖1至圖3所示，前述伺服電機94穿過罐體A側壁伸入至罐體的噴塗腔內， 前述齒輪固96定於伺服電機94的輸出杆的輸出端上，該齒輪96並與齒排951相互哨合。
[0028] 以上所記載，僅為利用本創作技術內容的實施例，任何熟悉本項技藝者運用本創 作所做的修飾、變化，皆屬本創作主張的專利範圍，而不限於實施例所揭示者。
【權利要求】
1. 一種靶材等離子噴塗自吹積瘤裝置，其特徵在於：該自吹積瘤裝置包括位於噴塗罐 外且依次利用氣管連通的空氣壓縮機、減壓閥、儲氣罐及位於噴塗罐內且依次利用高溫氣 管連通的脈衝電磁閥、吹氣架。
2. 根據權利要求1所述的一種靶材等離子噴塗自吹積瘤裝置，其特徵在於：所述空氣 壓縮機、減壓閥、儲氣罐之間利用不鏽鋼氣管連通，且噴塗罐的上方的輸出端利用高溫氣管 與脈衝電磁閥連通。
3. 根據權利要求1或2所述的一種靶材等離子噴塗自吹積瘤裝置，其特徵在於：所述 脈衝電磁閥連通利用高溫氣管與吹氣架側面兩吹氣孔連通。
4. 據權利要求3所述的一種靶材等離子噴塗自吹積瘤裝置，其特徵在於：所述吹氣架 為一金屬圓環體，其中央通孔與罐體上方設置的噴嘴套接，形成噴嘴支撐構架。
5. 據權利要求4所述的一種靶材等離子噴塗自吹積瘤裝置，其特徵在於：所述吹氣架 下端面向下延伸形成弧形側壁，該弧形側壁上開設有兩吹氣孔，每個吹氣孔垂直與套於中 央通孔內噴嘴的噴出端垂直，從而形成針對噴嘴及中央通孔周側邊沿的吹積瘤結構。
6. 據權利要求5所述的一種靶材等離子噴塗自吹積瘤裝置，其特徵在於：所述兩吹氣 孔中心夾角呈銳角。
【文檔編號】C23C4/12GK203834001SQ201420243774
【公開日】2014年9月17日 申請日期:2014年5月14日 優先權日:2014年5月14日
【發明者】羅建冬 申請人:廈門映日新材料科技有限公司