多單位釘型樣品臺支架的製作方法

2023-05-20 04:12:31

專利名稱：多單位釘型樣品臺支架的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種新型的多單位釘型樣品臺支架，屬於電鏡製造的技術領域。技術背景樣品臺支架是用於擺放各種形狀的樣品臺，諸如圓柱形樣品臺和釘型樣品臺，但 一般樣品臺支架只是單純的擺放同一種類型的樣品臺，而且不同公司都有自己專用的樣品 臺，很少有兼容的。一方面，不同公司生產的樣品臺支架可以固定的樣品臺種類不同。一般 而言，Cambridge, Leica, ZEISS/LEO, FEI/Philips, CamScan, Tescan, Hitachi 等公司的掃 描電鏡專用釘型樣品臺，無法有效固定在JEOL、ISS/ABT/T0PC0N等公司的掃描電鏡專用圓 柱型樣品臺上；另一方面，JE0L-5610LV型電鏡由於樣品在樣品室中的有效觀測範圍較小， 標準樣品臺支架也只有一個和四個的樣式，嚴重影響了電鏡的使用效率。
發明內容本實用新型所要解決的技術問題就是針對JE0L-5610LV型電鏡所提供的標準樣 品臺支架的現狀提供一種新型的多單位釘型樣品臺支架，可以固定釘型樣品臺，而且，增加 了一次性固定的樣品臺數量，有利於拓展JE0L-5610LV型電鏡對不同樣品臺的適應性，提 高使用效率，節省換樣時間。本實用新型技術的技術方案具體是這樣的一種多單位釘型樣品臺支架，由圓臺 樣品臺支架構成，其特徵在於，在該圓臺樣品臺支架上，垂直地設有6個圓孔，該6個圓孔的 圓心分別位於一個同心圓的6個等分點上；同時，在該圓臺樣品臺支架的圓心處也設有一 個垂直的圓孔。所述6個圓孔所在的同心圓的直徑為26mm。本實用新型推薦所述的圓臺樣品臺支架的直徑為32mm ；厚度為5mm IOmm ；所 述6個圓孔所在的同心圓的直徑為26mm。換言之，本實用新型是在直徑為32mm厚度為5mm IOmm的圓臺樣品臺支架上， 在以圓臺圓心為中心，以其圓心上偏左45°方向和上偏右45°方向直線距離為13mm處為 中心、以其圓心下偏左45°方向和下偏右45°方向直線距離為13mm處為中心、以其圓心水 平向右和水平向左直線距離為13mm處為中心，各開有一個直徑為3. 5mm的圓孔，可以固定 七個專用於 Cambridge，Lei, ZEISS/LEO, FEI/Philips, CamScan, Tescan, Hitachi 等公司掃 描電鏡的標準釘型樣品臺。本實用新型可以固定釘型樣品臺，而且，增加了一次性固定的樣品臺數量，將 JE0L-5610LV型掃描電鏡一次性容納的樣品臺數量由標準配置的一個或四個增加到了七 個，有利於拓展JE0L-5610型電鏡對不同樣品臺的適應性，提高使用效率，節省換樣時間。

圖1是本實用新型結構示意圖。
具體實施方式
實施例1，多單位釘型樣品臺支架，參照圖1 由圓臺樣品臺支架構成，在該圓臺樣品臺支架1上，垂直地設有6個圓孔2，該6個圓孔的圓心分別位於一個同心圓的6個等分 點上；同時，在該圓臺樣品臺支架的圓心處也設有一個垂直的圓孔3。所述7個圓孔的直徑 為13mm ；所述6個圓孔所在的同心圓的直徑為26mm。
權利要求一種多單位釘型樣品臺支架，由圓臺樣品臺支架構成，其特徵在於，在該圓臺樣品臺支架上，垂直地設有6個圓孔，該6個圓孔的圓心分別位於一個同心圓的6個等分點上；同時，在該圓臺樣品臺支架的圓心處也設有一個垂直的圓孔；所述7個圓孔的直徑為13mm。
2.根據權利要求1所述的多單位釘型樣品臺支架，由圓臺樣品臺支架構成，其特徵在 於，所述的圓臺樣品臺支架的直徑為32mm;厚度為5mm IOmm;所述6個圓孔所在的同心圓 的直徑為26mm。
3.根據權利要求1或2所述的複合型多單位釘型樣品臺支架，由圓臺樣品臺支架 構成，其特徵在於，該複合型多單位釘型樣品臺支架及其上的圓孔，用於固定七個專用於 Cambridge, Lei, ZEISS/LEO, FEI/Philips, CamScan, Tescan,或 Hitachi 司掃描電鏡的標準 釘型樣品臺。
專利摘要多單位釘型樣品臺支架，由圓臺樣品臺支架構成，其特徵在於，在該圓臺樣品臺支架上，垂直地設有6個圓孔，該6個圓孔的圓心分別位於一個同心圓的6個等分點上；同時，在該圓臺樣品臺支架的圓心處也設有一個垂直的圓孔。優化方案中，所述的圓臺樣品臺支架的直徑為32mm；厚度為5mm～10mm；所述6個圓孔所在的同心圓的直徑為26mm。本實用新型可以固定釘型樣品，而且，增加了一次性固定的樣品臺數量，將JEOL-5610LV型掃描電鏡一次性容納的樣品臺數量由標準配置的一個或四個增加到了七個，有利於拓展JEOL-5610型電鏡對不同樣品臺的適應性，提高使用效率，節省換樣時間。
文檔編號H01J37/20GK201590395SQ200920282540
公開日2010年9月22日 申請日期2009年12月25日 優先權日2009年12月25日
發明者景穎傑, 莫祥銀 申請人:南京師範大學