一種用於雷射劃片機的傳動軸的製作方法

2023-05-22 01:41:46 1

本發明涉及微電子機械技術領域，尤其涉及一種用於雷射劃片機的傳動軸。

背景技術：

在半導體集成電路的應用中，晶元是最關鍵的技術，因而雷射劃片機被廣泛使用到晶元切割的技術中，其中工業用雷射劃片機最為廣泛使用，工業用雷射劃片機一般包括雷射頭以及驅動該雷射頭移動的驅動裝置，所述驅動裝置包括傳動軸，所以對傳動軸的性能要求比較高，但是現有技術中的劃片機的傳動軸並沒有很好的耐摩擦、耐熱抗氧化性能，導致傳動軸的使用壽命很短，劃片機使用一段時間就得更換傳動軸，從而增加了生產成本。

技術實現要素：

為克服上述缺點，本發明的目的在於提一種用於雷射劃片機的傳動軸，其傳動軸強度高、耐摩擦、抗氧化性能好，使用周期長，降低生產成本。

為了達到以上目的，本發明採用的技術方案是：一種用於雷射劃片機的傳動軸，按照重量份比例包括鎳10-30份、鉻1-3份、銅1-2份、鈧4-5份、錳3-6份、鋁1-2份、硒0.5-1.5份和鈦50-70份。

進一步地，按照重量份比例包括鎳20份、鉻2份、銅1.5份、鈧4.5份、錳4份、鋁1份、硒1份和鈦66份。

進一步地，按照重量份比例包括鎳15份、鉻2.5份、銅2份、鈧4份、錳4.5份、鋁2份、硒1份和鈦69份。

進一步地，按照重量份比例包括鎳25份、鉻1.5份、銅1份、鈧5份、錳5份、鋁2份、硒1.5份和鈦59份。

進一步地，所述一種用於雷射劃片機的傳動軸的生產方法，包括以下步驟：

1)採用高壓氮氣霧化法得到合金粉末進行模壓，在5-7kpa壓力下冷等靜壓制，時間為1.5-3.5h；

2)冷等靜壓坯在1000-1300℃下擠壓成型；

3)將步驟2)的坯料通過打磨機進行打磨，做成所需的胚料；

4)將步驟3)的胚料進行退火處理；

5)將步驟4)處理後的胚料在壓力機上冷擠壓粗；

6)在數控車床上對步驟5)處理完的工件車外圓，車成所需的形狀。

進一步地，所述步驟(4)中的退火處理，包括如下步驟：

4)在450℃進行第一次回火，回火時間為5h，再空冷至室溫；

5)在550℃進行第二次回火，回火時間為4.5h，再空冷至室溫；

6)在700℃進行第三次回火，回火時間為3h，再空冷至室溫。

本發明提供的一種用於雷射劃片機的傳動軸，通過鎳、鉻、銅、鈧、錳、鋁、硒和鈦的一定配比，再通過粉末冶金工藝，經過退火處理的合金材料製成，使得傳動軸的強度高、耐摩擦、抗氧化性能好，使用周期長，從而大大降低生產成本。

具體實施方式

下面對本發明的較佳實施例進行詳細闡述，以使本發明的優點和特徵能更易於被本領域技術人員理解，從而對本發明的保護範圍做出更為清楚明確的界定。

實施例一：

本實施例中的一種用於雷射劃片機的傳動軸，按照重量份比例包括鎳20份、鉻2份、銅1.5份、鈧4.5份、錳4份、鋁1份、硒1份和鈦66份。

一種用於雷射劃片機的傳動軸的生產方法，包括以下步驟：

1)採用高壓氮氣霧化法得到合金粉末進行模壓，在6kpa壓力下冷等靜壓制，時間為2.5h；

2)冷等靜壓坯在1200℃下擠壓成型；

3)將步驟2)的坯料通過打磨機進行打磨，做成所需的胚料；

4)將步驟3)的胚料進行退火處理；

5)將步驟4)處理後的胚料在壓力機上冷擠壓粗；

6)在數控車床上對步驟5)處理完的工件車外圓，車成所需的形狀。

進一步地，所述步驟(4)中的退火處理，包括如下步驟：

7)在450℃進行第一次回火，回火時間為5h，再空冷至室溫；

8)在550℃進行第二次回火，回火時間為4.5h，再空冷至室溫；

9)在700℃進行第三次回火，回火時間為3h，再空冷至室溫。

實施例二：

本實施例提供的一種用於雷射劃片機的傳動軸，按照重量份比例包括鎳15份、鉻2.5份、銅2份、鈧4份、錳4.5份、鋁2份、硒1份和鈦69份。

一種用於雷射劃片機的傳動軸的生產方法，包括以下步驟：

1)採用高壓氮氣霧化法得到合金粉末進行模壓，在6.5kpa壓力下冷等靜壓制，時間為3h；

2)冷等靜壓坯在1300℃下擠壓成型；

3)將步驟2)的坯料通過打磨機進行打磨，做成所需的胚料；

4)將步驟3)的胚料進行退火處理；

5)將步驟4)處理後的胚料在壓力機上冷擠壓粗；

6)在數控車床上對步驟5)處理完的工件車外圓，車成所需的形狀。

所述步驟(4)中的退火處理，包括如下步驟：

10)在450℃進行第一次回火，回火時間為5h，再空冷至室溫；

11)在550℃進行第二次回火，回火時間為4.5h，再空冷至室溫；

12)在700℃進行第三次回火，回火時間為3h，再空冷至室溫。

實施例三：

按照重量份比例包括鎳25份、鉻1.5份、銅1份、鈧5份、錳5份、鋁2份、硒1.5份和鈦59份。

一種用於雷射劃片機的傳動軸的生產方法，包括以下步驟：

1)採用高壓氮氣霧化法得到合金粉末進行模壓，在7kpa壓力下冷等靜壓制，時間為3.5h；

2)冷等靜壓坯在1300℃下擠壓成型；

3)將步驟2)的坯料通過打磨機進行打磨，做成所需的胚料；

4)將步驟3)的胚料進行退火處理；

5)將步驟4)處理後的胚料在壓力機上冷擠壓粗；

6)在數控車床上對步驟5)處理完的工件車外圓，車成所需的形狀。

進一步地，所述步驟(4)中的退火處理，包括如下步驟：

13)在450℃進行第一次回火，回火時間為5h，再空冷至室溫；

14)在550℃進行第二次回火，回火時間為4.5h，再空冷至室溫；

15)在700℃進行第三次回火，回火時間為3h，再空冷至室溫。

以上實施方式只為說明本發明的技術構思及特點，其目的在於讓熟悉此項技術的人了解本發明的內容並加以實施，並不能以此限制本發明的保護範圍，凡根據本發明精神實質所做的等效變化或修飾，都應涵蓋在本發明的保護範圍內。