一種用於碳化矽加工的除塵裝置的製作方法
2023-05-12 05:40:56 1
專利名稱：一種用於碳化矽加工的除塵裝置的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種除塵裝置，特別涉及一種用於碳化矽加工的除塵裝置，屬於碳化矽加工設備的 技術領域。
背景技術：
碳化矽是製作太陽能矽片、半導體矽片等產品的重要材料。為了對碳化矽進行循環利用，要對碳化矽進行加工。碳化矽在進行烘乾加工時，排出的廢氣中水分含量較高且含有少量粉塵。現有技術中使用的除塵設備是脈衝布袋除塵器，該除塵裝置存在以下缺點由於廢氣中的水分含量很高，容易浸溼除塵布袋，將布袋的的過濾孔堵塞，同時浸溼的布袋容易粘附碳化矽，且粘附了碳化矽後不會脫落，加劇布袋堵塞。最終導致除塵器失效，設備無法運行。
實用新型內容本實用新型所要解決的技術問題是提供一種用於碳化矽加工的除塵裝置，該除塵裝置除塵效果好且不容易堵塞。為了解決上述技術問題，本實用新型一種用於碳化矽加工的除塵裝置，包括儲水箱、噴淋管線，噴淋管線與儲水箱相連，所述噴淋管線內設有噴淋區、進氣口及排氣口，所述進氣口與所述排氣口位於所述噴淋區兩端。上述的用於碳化矽加工的除塵裝置，其中，所述噴淋管線上連有一水管，所述水管通過循環水泵與所述儲水箱相連。本實用新型的有益效果I、由於本實用新型包括儲水箱、噴淋管線，噴淋管線與儲水箱相連，噴淋管線內設有噴淋區、進氣口及排氣口，所述進氣口與所述排氣口位於所述噴淋區兩端，通過水噴淋的方式除塵，可以避免堵塞布袋，保持設備正常運行，避免碳化矽外逸，使排放的廢氣含塵量達到國家排放標準，避免環境汙染，且將含碳化矽的粉塵進行回收利用，節約了生產成本。2、由於噴淋管線上連有一水管，所述水管通過循環水泵與所述儲水箱相連，將吸收粉塵後的水回流至儲水箱再循環進行噴淋，從而，大大節約了水資源。
圖I是本實用新型的結構示意圖。
具體實施方式
以下結合附圖對本實用新型作進一步說明。如圖所示，為了解決上述技術問題，本實用新型一種用於碳化矽加工的除塵裝置，包括儲水箱4、噴淋管線3,噴淋管線3與儲水箱4相連,所述噴淋管線3內設有噴淋區9、進氣口 7及排氣口 8，所述進氣口 7與所述排氣口 8位於所述噴淋區9兩端，進氣口與排氣口的位置不受限制，可以將進氣口設置在噴淋管線底部，排氣口設置在噴淋管線頂部；也可將進氣口設置在噴淋管線頂部，排氣口設置在噴淋管線底部，只要使氣體從進氣口 7流向排氣口 8的進程中，經過噴淋區9即可，噴淋區9為在噴淋管線內設有噴嘴2而形成的，噴嘴2設置在噴淋管線3內，通過進水管與儲水箱4相連，進水管上接有水泵，使用時，通過水泵將水抽入進水管，再由噴嘴2噴出，噴嘴2的數量不受限制，可為一個、兩個或多個，根據具體要求進行設置。使用時，進氣口與烘乾機相連。為了排氣可徹底，可在排氣口安裝排氣風機I。通過水噴淋的方式除塵，可以避免堵塞布袋，保持設備正常運行，避免碳化矽外逸，使排放的廢氣含塵量達到國家排放標準，避免環境汙染，且將含碳化矽的粉塵進行回收利用，節約了生產成本。為了節約水資源，可在噴淋管線3上連有一水管30，所述水管30通過循環水泵6與所述儲水箱4相連，將吸收粉塵後的水回流至儲水箱再循環進行噴淋，從而，大大節約了水資源。為了使用更加方便，可在儲水箱上設有補水口 40和排水管5，對儲水箱4內含碳化 矽的水定時進行更換，防止濃度過高堵塞噴淋管線3和噴嘴2。工作原理廢氣從烘乾機出來後，通過進氣口進入除塵裝置，廢氣從噴淋管線的進氣口進入，排氣口排出，儲水箱的水經水泵打出，從噴淋管線頂部經噴嘴進入，吸收廢氣中的碳化矽粉塵，充氣從排氣口熱排放，吸收粉塵後的水回流至儲水罐再循環進行噴淋。綜上所述，本實用新型可以不受廢氣中高水分和碳化矽粉塵的影響，連續不間斷運行，減少了設備維護維修率和維修成本，提高生產效率。本發明並不局限於上述實施例，凡是在本發明公開的技術方案的基礎上，本領域的技術人員根據所公開的技術內容，不需要創造性的勞動就可以對其中的一些技術特徵作出一些替換和變形，這些替換和變形均在本發明保護的範圍內。
權利要求1.一種用於碳化矽加工的除塵裝置，其特徵在於，包括儲水箱、噴淋管線，噴淋管線與儲水箱相連，所述噴淋管線內設有噴淋區、進氣口及排氣口，所述進氣口與所述排氣口位於所述噴淋區兩端。
2.如權利要求I所述的用於碳化矽加工的除塵裝置，其特徵在於，所述噴淋管線上連有一水管，所述水管通過循環水泵與所述儲水箱相連。
專利摘要本實用新型提供了一種用於碳化矽加工的除塵裝置，包括儲水箱、噴淋管線，噴淋管線與儲水箱相連，所述噴淋管線內設有噴淋區、進氣口及排氣口，所述進氣口與所述排氣口位於所述噴淋區兩端，由於本實用新型包括儲水箱、噴淋管線，噴淋管線與儲水箱相連，噴淋管線內設有噴淋區、進氣口及排氣口，所述進氣口與所述排氣口位於所述噴淋區兩端，通過水噴淋的方式除塵，可以避免堵塞布袋，保持設備正常運行，避免碳化矽外逸，使排放的廢氣含塵量達到國家排放標準，避免環境汙染，且將含碳化矽的粉塵進行回收利用，節約了生產成本。
文檔編號C01B31/36GK202427298SQ20122002835
公開日2012年9月12日 申請日期2012年1月27日 優先權日2012年1月27日
發明者李孝文, 楊志敏, 王允佳 申請人:揚中佳明太陽能新材料有限公司