金剛石薄膜片狀溫度電阻器的製作方法

2023-05-12 05:20:56 1

專利名稱：金剛石薄膜片狀溫度電阻器的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種熱敏電阻裝置，尤其是一種金剛石薄膜片狀溫度電阻裝置。
溫度是七種基本物理量之一，在日常生活中以及各產業領域中，都要測量控制溫度，溫度熱敏器件是各類器件中應用最大，最廣泛的一種熱敏元件。由於金剛石薄膜具有最高的硬度、最高的熱導率、最低的熱膨脹係數以及化學穩定性等優異的特徵，所以近年來國內外都在研製金剛石薄膜，並想利用金剛石薄膜製成溫度電阻常(如

圖1所示)，這種金剛石薄膜溫度電阻器，由於兩極間的距離較長，橫截面積較小，所以電阻太高，(如圖2所示)不能正常使用。
本實用新型的目的為了提供一種能夠正常使用的金剛石薄膜片狀溫度電阻器。
本實用新型由金屬襯底1、金剛石薄膜2及電極3組成其特徵在於在金屬襯底1上設置一層厚度為2-10微米、直徑為5-40毫米或長度×寬度分別為5-40毫米×5-40毫米的金剛石薄膜2，在金剛石薄膜2的另一面上設置一層電極。
以下結合附圖對本實用新型的結構特徵進一步說明。
圖1為國內外正在研究的金剛石薄膜溫度電阻器的結構示意圖。
圖2是圖1的工作參數圖，其中縱座標表示電阻，橫座標表示溫度。
圖3是本實用新型的結構示意圖，其中金屬襯底1採用鉬或銅金屬片製成。
金剛石薄膜2利用公知的沉積方法設置在金屬襯底1上，其厚度為2-10微米，直徑為5-40毫米。另外金剛石薄膜2還可以採用厚度為2-10微米，長度×寬度分別為5-40毫米×5-40毫米的方形金剛石薄膜。電極3是採用鈦或鉬、鉭等金屬並利用公知的蒸鍍或濺射的方法設置在金剛石薄膜2的另一面上。其製造方法簡單、容易實施。
圖4是圖3的工作參數圖，其中縱座標表示電阻，橫座標表示溫度。
從圖3可以看出本實用新型的金剛石薄膜厚度很薄為2-10微米，相對來說橫截面積較大，由於元件電阻與元件長度成正比，與元件橫截面積成反比，所以本實用新型的電阻很小，能夠在室溫至高溫的範圍內正常使用。從圖4可看出在室溫-600℃範圍內本金剛石薄膜片狀溫度電阻器的電阻值對溫度的變化相當敏感，所以在通用的簡單檢測電路的測試範圍內也能正常使用，無需利用任何複雜的輔助儀器進行測試。
本實用新型為無引線片狀電阻器，生產工藝簡單，成本低，電性能優越，可靠性高，能夠長期在高溫及較惡劣的條件下工作。
權利要求一種金剛石薄膜片狀溫度電阻器，由金屬襯底，金剛石薄膜及電極組成，其特徵在於在金屬襯上設置一層厚度為2-10微米，直徑為5-40毫米或長度×寬度分別為5-40毫米×5-40毫米的金剛石薄膜，在金剛石薄膜的另一面上設置一層電極。
專利摘要一種金剛石薄膜片狀溫度電阻器，由金屬襯底、金剛石薄膜及電極組成，其具體結構是在金屬襯底上設置一層厚度為2-10微米、直徑為5-40毫米，或長度×寬度分別為5-40毫米×5-40毫米的金剛石薄膜，在金剛石薄膜的另一面上設置一電極。本實用新型的兩極間距離非常小，橫截面積增大，所以其電阻很小能夠在室溫至高溫的範圍內正常工作，解決了原有產品不能正常使用的問題。
文檔編號H01C7/04GK2261066SQ95208898
公開日1997年8月27日 申請日期1995年4月28日 優先權日1995年4月28日
發明者常明, 劉蘭田, 孫偉, 劉爾凱, 侯立 申請人:常明