一種組合式鉬旋轉濺射管形靶材的製作方法

2023-05-11 17:26:41

專利名稱：一種組合式鉬旋轉濺射管形靶材的製作方法
技術領域：
本實用新型屬於靶材技術領域，主要涉及一種組合式鑰旋轉濺射管形靶材，應用於半導體、太陽能、平面顯示器、光學玻璃等電子行業領域。
背景技術：
隨著電子信息產業的飛速發展，薄膜科學應用日益廣泛，尤其是用於高新技術領域內濺射法加工太陽能光伏的薄膜塗層和平面顯示行業的電極薄膜。濺射法是製備薄膜材料的主要技術之一，它利用離子源產生的離子，在真空中經過加速聚集，而形成高速度能的離子束流，轟擊固體表面，離子和固體表面原子發生動能交換，使固體表面的原子離開固體並沉積在基底表面，被轟擊的固體是用濺射法沉積薄膜的原材料，稱為濺射靶材。即可以簡單理解為，濺射沉積薄膜的原材料即為靶材，是為陰極濺射系統中被濺射的材料。其中靶材的純度越高、密度越高，其濺射沉積薄膜越均勻，靶材濺射率越高。由於現有技術中旋轉濺射管形靶材為整體式結構，靶材尺寸越大，加工和生產工藝越困難，當旋轉濺射管形靶材長 度達到2000mm以上時，獲得高純、高緻密、內部組織結構均勻細小的靶材非常困難，從而嚴重影響靶材成膜後薄膜的均勻性、電阻率、晶體生長的一致性等性能。故具有優異結構性能的整體燒結態大尺寸旋轉濺射管形靶材的獲得非常困難。

實用新型內容為解決上述技術問題，本實用新型的目的是提出一種組合式鑰旋轉濺射管形靶材。本實用新型為完成其發明任務採用如下技術方案一種組合式鑰旋轉濺射管形靶材，所述的鑰旋轉濺射管形靶材由兩段管形靶材通過連接組合構成；其中管形靶材I的一端具有接頭，所述接頭的前端具有外螺紋；所述的管形靶材II的一端具有中心空腔，所述管形靶材II 一端的中心空腔具有與接頭螺紋配合的內螺紋。本實用新型提出的一種組合式鑰旋轉濺射管形靶材，採用螺紋連接的兩段管型靶材組合可使鑰旋轉濺射管形靶材達到所需長度，解決了現有技術中靶材尺寸越大，加工越困難的問題，具有結構簡單，操作方便的特點。

圖I為本實用新型的結構示意圖。圖2為圖I的A-A剖視圖。圖中I、管形靶材I，2、管形靶材II，3、接頭。
具體實施方式
結合附圖和具體實施例對本實用新型加以說明[0011]如圖I、圖2所示，一種組合式鑰旋轉濺射管形靶材，所述的鑰旋轉濺射管形靶材由兩段管形靶材通過連接組合構成；其中管形靶材I I的一端具有接頭3，所述接頭3的前端具有外螺紋；所述的管形靶材II 2的一端具有中心空腔，所述管形靶材II 2—端的中心空 腔具有與接頭3螺紋配合的內螺紋。
權利要求1.一種組合式鑰旋轉濺射管形靶材，其特徵在於所述的鑰旋轉濺射管形靶材由兩段管形靶材通過連接組合構成；其中管形靶材I (I)的一端具有接頭(3)，所述接頭(3)的前端具有外螺紋；所述的管形靶材II (2)的一端具有中心空腔，所述管形靶材II (2) —端的中心空腔具有與接頭(3)螺紋配合的內 螺紋。
專利摘要本實用新型屬於靶材技術領域，提出的一種組合式鉬旋轉濺射管形靶材，其特徵在於所述的鉬旋轉濺射管形靶材由兩段管形靶材通過連接組合構成；其中管形靶材Ⅰ(1)的一端具有接頭(3)，所述接頭(3)的前端具有外螺紋；所述的管形靶材Ⅱ(2)的一端具有中心空腔，所述管形靶材Ⅱ(2)一端的中心空腔具有與接頭(3)螺紋配合的內螺紋。本實用新型提出的一種組合式鉬旋轉濺射管形靶材，採用螺紋連接的兩段管型靶材組合可使鉬旋轉濺射管形靶材達到所需長度，解決了現有技術中靶材尺寸越大，加工越困難的問題，具有結構簡單，操作方便的特點。
文檔編號C23C14/34GK202543308SQ201220135308
公開日2012年11月21日 申請日期2012年4月1日 優先權日2012年4月1日
發明者王健, 趙文普 申請人:洛陽高新四豐電子材料有限公司