一種中壓單晶爐的安全閥的製作方法

2023-04-24 06:37:56

專利名稱：一種中壓單晶爐的安全閥的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種用以防止設備或管道因超壓而發生損壞的閥門，尤其是能夠用於正負壓變化的中壓單晶爐中。
背景技術：
中壓單晶爐是用於生產無位錯單晶的設備，在其工作過程中需要先將設備抽真空到幾帕以下，然後通入惰性氣體生長單晶，正常工作時為正壓，當壓力超過規定壓力值時需要安全閥能夠快速開啟洩壓，目前使用的安全閥大多採用錐面密封，密封效果較差，設備真空度較難達到要求。
發明內容為了克服現有安全閥密封效果的不足，本實用新型提供一種能適用於有正負壓變化的安全閥，其密封效果良好。本實用新型解決其技術問題所採用的技術方案是結構主要包括管道連接件，閥瓣，閥體，鎖緊螺母，螺杆，彈簧，0形圈，螺釘和出氣口，管道連接件和閥體之間通過螺釘連接起來，閥體與螺杆通過螺紋連接。閥瓣與管道連接件間安裝有0形橡膠圈。閥體與閥瓣間採用彈簧式結構，通過螺紋連接方便快速調節安全閥的洩壓壓力，安全閥開啟壓力調好後通過圓螺母進行鎖緊，安全閥與被連接件間採用0形橡膠圈進行端面密封，使得設備安全閥與設備間良好密封，設備抽真空時能在較短時間達到3Pa以下。本實用新型的有益效果是，既實現了安全洩壓又能保證中壓單晶爐初始時的真空度，密封效果好，而且結構簡單，成本低。
以下結合附圖
和實施例對本實用新型進一步說明。附圖I是安全閥實施例的剖視簡圖。圖中I.管道連接件，2.閥瓣，3.閥體，4.鎖緊螺母，5.螺杆，6.彈簧，7.0形圈，
8.螺釘，9.出氣口
具體實施方式
參看附圖，中壓單晶爐安全閥結構主要由管道連接件(1)，閥瓣(2)，閥體(3)，鎖緊螺母⑷，螺杆(5)，彈簧(6)，0形圈(7)，螺釘(8)，出氣口(9)組成，管道連接件⑴和閥體(3)之間通過螺釘(8)連接起來，閥體(3)與螺杆(5)通過螺紋連接，調節好洩壓壓力後通過鎖緊螺母(4)鎖緊，以保證洩壓值恆定，通過彈簧(6)實現閥瓣(2)的開啟與閉合，0形圈(7)安裝在閥體(3)與管道連接件⑴之間，形成良好的端面密封。洩壓時，擰開鎖緊螺母(4)，螺杆(5)被彈簧(6)彈開，同時閥瓣(2)開啟，爐內氣體從出氣口(9)放出，實現洩壓，洩壓到一定要求值後重新擰緊鎖緊螺母(4)，閥瓣(2)關閉，洩壓過 程結束。
權利要求1.一種中壓單晶爐的安全閥，其特徵是結構主要包括管道連接件，閥瓣，閥體，鎖緊螺母，螺杆，彈簧，O形圈，螺釘和出氣口，管道連接件和閥體之間通過螺釘連接起來，閥體與螺杆通過螺紋連接。
2.根據權利要求I所述的一種中壓單晶爐的安全閥，其特徵是閥瓣與管道連接件間安裝有O形橡膠圈。
專利摘要一種中壓單晶爐的安全閥，結構主要由管道連接件，閥瓣，閥體，鎖緊螺母，螺杆，彈簧，O形圈，螺釘，出氣口組成，管道連接件和閥體之間通過螺釘連接起來，閥體與螺杆通過螺紋連接，調節好洩壓壓力後通過鎖緊螺母鎖緊，以保證洩壓值恆定，通過彈簧實現閥瓣的開啟與閉合，O形圈安裝在閥體與管道連接件之間，形成良好的端面密封。
文檔編號F16K17/04GK202469099SQ20112039207
公開日2012年10月3日 申請日期2011年10月13日 優先權日2011年10月13日
發明者孫海鷗 申請人:北京京儀世紀電子股份有限公司