一種用於反射鏡光學元件的角度調整裝置的製作方法

2023-05-20 14:46:07

本發明涉及光學元件測量領域，具體涉及一種用於反射鏡光學元件的角度調整裝置。

背景技術：

當前，集成電路加工技術迅速發展，光刻解析度由45nm向22nm不斷進步，作為集成電路光刻的核心部件，光刻投影物鏡對光學元件的加工和光學系統整機裝調精度有著極高的要求。在光刻投影物鏡研製過程存在部分離軸非球面光學元件，其檢測需要採用立式向上測量斐索幹涉儀，即測量光束豎直向上，在立式向上測量斐索幹涉儀的研製過程中，斐索幹涉儀主機一般是採用水平方向布置，這就需要一片反射鏡將水平測量光束反射為豎直方向，進而需要一種用於反射鏡光學元件的角度調整裝置，能夠實現精細調整反射鏡的角度，並能夠為反射鏡光學元件提供最小應力支撐，以減小調整與支撐應力對反射鏡光學元件面形精度影響。

技術實現要素：

本發明旨在克服現有技術存在的缺陷，本發明採用以下技術方案：

本發明提供了一種用於反射鏡光學元件的角度調整裝置。所述用於反射鏡光學元件的角度調整裝置包括：柔性支撐結構，柔性支撐鏡框，角度調整螺釘，柔性支撐板；所述反射鏡光學元件通過所述柔性支撐結構設置在所述柔性支撐鏡框上；所述柔性支撐鏡框通過所述角度調整螺釘連接到所述柔性支撐板上。

在一些實施例中，所述用於反射鏡光學元件的角度調整裝置還包括固定角度支撐框架，所述柔性支撐板固定設置在所述固定角度支撐框架上。

在一些實施例中，所述角度調整螺釘包括角度調整細牙螺釘與角度調整緊固螺釘。

在一些實施例中，所述柔性支撐結構為三點或多點柔性支撐結構。

在一些實施例中，所述反射鏡光學元件通過所述柔性支撐結構膠粘設置在所述柔性支撐鏡框上。

在一些實施例中，所述柔性支撐鏡框上設置有狹縫結構。

在一些實施例中，所述狹縫結構為弧形狹縫，且所述狹縫結構與所述角度調整螺釘的位置對應。

在一些實施例中，所述狹縫結構有三個，且均勻布置在所述柔性支撐鏡框上。

在一些實施例中，所述角度調整螺釘有三組，且均勻布置在所述柔性支撐鏡框上。

在一些實施例中，所述反射鏡光學元件的表面是平面或曲面。

本發明的技術效果：本發明提供的用於反射鏡光學元件的角度調整裝置結構能夠精密調整反射鏡光學元件的支撐角度，並減小由支撐調節引入的應力對反射鏡光學元件面形精度的影響。

附圖說明

圖1為根據本發明一個實施例的用於反射鏡光學元件的角度調整裝置結構示意圖；

圖2為根據本發明一個實施例的用於反射鏡光學元件的角度調整裝置中的柔性支撐鏡框的結構示意圖。

具體實施方式

為了使本發明的目的、技術方案及優點更加清楚明白，以下結合附圖及具體實施例，對本發明進行進一步詳細說明。應當理解，此處所描述的具體實施例僅用以解釋本發明，而不構成對本發明的限制。

參考圖1-2所示，是本發明提供的一種用於反射鏡光學元件1的角度調整裝置100。所述角度調整裝置100包括：柔性支撐結構9，柔性支撐鏡框2，角度調整螺釘，柔性支撐板；所述反射鏡光學元件1通過所述柔性支撐結構9設置在所述柔性支撐鏡框2上；所述柔性支撐鏡框2通過所述角度調整螺釘連接到所述柔性支撐板6上。

在一些實施例中，所述用於反射鏡光學元件的角度調整裝置100還包括固定角度支撐框架8，所述柔性支撐板6固定設置在所述固定角度支撐框架8上。

在一些實施例中，所述角度調整螺釘包括角度調整細牙螺釘3與角度調整緊固螺釘4。

在一些實施例中，所述柔性支撐結構9為三點或多點柔性支撐結構。

在一些實施例中，所述反射鏡光學元件1通過所述柔性支撐結構9膠粘設置在所述柔性支撐鏡框2上。

在一些實施例中，所述柔性支撐鏡框2上設置有狹縫結構5。

在一些實施例中，所述狹縫結構5為弧形狹縫，且所述狹縫結構5與所述角度調整螺釘的位置對應。

在一些實施例中，所述狹縫結構5有三個，且均勻布置在所述柔性支撐鏡框2上。

在一些實施例中，所述角度調整螺釘有三組，且均勻布置在所述柔性支撐鏡框2上。

在一些實施例中，所述反射鏡光學元件1的表面是平面或曲面。

本發明一種用於反射鏡光學元件的角度調整裝置的結構如圖1﹑圖2所示，反射鏡光學元件1通過三點或多點柔性支撐結構9膠粘連接到柔性支撐鏡框2上，柔性支撐鏡框2通過3組角度調整細牙螺釘3與角度調整緊固螺釘4連接到柔性支撐板6上，柔性支撐板6通過鏡框支撐連接螺釘7連接到固定角度支撐框架8上。通過上述連接，反射鏡光學元件1通過固定角度支撐框架8進行角度初步定位，當分別調整3個角度調整細牙螺釘3的支撐高度時，因支撐高度不同，可使柔性支撐鏡框2繞柔性支撐鏡框平面兩個傾斜方向進行角度調整，進而帶動反射鏡光學元件1進行精密角度調整。角度調整結束後緊固角度調整緊固螺釘4，以防止反射鏡光學元件1的角度位置發生變化。通過上述步驟實施，可以實現反射鏡光學元件1的高效率﹑高精度角度調整功能。

所述調整螺釘採用精密細牙螺釘，以提高角度調整的解析度。在柔性支撐鏡框2的調整螺釘方向上，加工有消應力的狹縫結構5，以減小鏡框上調整螺釘接觸處局部受力過大，對柔性支撐鏡框的變形的影響。

通過三點或多點柔性支撐結構9支撐反射鏡光學元件1，並在柔性支撐鏡框2上加工有消應力狹縫結構5，可以最大程度減小角度調整與支撐對反射鏡光學元件1面形精度的影響。

所述反射鏡光學元件1通過三點或多點柔性支撐結構膠粘連接至柔性支撐鏡框2上，柔性支撐結構9採用電火花加工方式加工。

從上述技術方案可以看出，與現有技術相比，本發明技術方案具有以下有益效果：

(1)本發明中反射鏡光學元件採用三點或多點柔性結構支撐方式支撐，減小了剛性支撐對反射鏡光學元件面形精度的影響。

(2)本發明中通過調整螺釘支撐的結構調整柔性支撐鏡框的角度，進而間接調整反射鏡光學元件的角度，並在柔性支撐鏡框調整螺釘位置加工有消應力狹縫結構，進一步減小調整螺釘支撐應力對反射鏡光學元件面形精度的影響。

(3)本發明中採用固定角度支撐框架初定位反射鏡光學元件的角度，採用3組精密細牙調整螺釘精密調整反射鏡光學元件的最終角度，提高了反射鏡支撐結構的剛度和角度調整的效率。

在本發明的描述中，需要理解的是，術語「中心」、「縱向」、「橫向」、「長度」、「寬度」、「厚度」、「上」、「下」、「前」、「後」、「左」、「右」、「豎直」、「水平」、「頂」、「底」「內」、「外」、「順時針」、「逆時針」、「軸向」、「徑向」、「周向」等指示的方位或位置關係為基於附圖所示的方位或位置關係，僅是為了便於描述本發明和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構造和操作，因此不能理解為對本發明的限制。

此外，術語「第一」、「第二」僅用於描述目的，而不能理解為指示或暗示相對重要性或者隱含指明所指示的技術特徵的數量。由此，限定有「第一」、「第二」的特徵可以明示或者隱含地包括至少一個該特徵。

在本發明中，除非另有明確的規定和限定，術語「安裝」、「相連」、「連接」、「固定」等術語應做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或成一體；可以是機械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，可以是兩個元件內部的連通或兩個元件的相互作用關係，除非另有明確的限定。對於本領域的普通技術人員而言，可以根據具體情況理解上述術語在本發明中的具體含義。

在本發明中，除非另有明確的規定和限定，第一特徵在第二特徵「上」或「下」可以是第一和第二特徵直接接觸，或第一和第二特徵通過中間媒介間接接觸。而且，第一特徵在第二特徵「之上」、「上方」和「上面」可是第一特徵在第二特徵正上方或斜上方，或僅僅表示第一特徵水平高度高於第二特徵。第一特徵在第二特徵「之下」、「下方」和「下面」可以是第一特徵在第二特徵正下方或斜下方，或僅僅表示第一特徵水平高度小於第二特徵。

在本說明書的描述中，參考術語「一個實施例」、「一些實施例」、「示例」、「具體示例」、或「一些示例」等的描述意指結合該實施例或示例描述的具體特徵、結構、材料或者特點包含於本發明的至少一個實施例或示例中。在本說明書中，對上述術語的示意性表述不必須針對的是相同的實施例或示例。而且，描述的具體特徵、結構、材料或者特點可以在任一個或多個實施例或示例中以合適的方式結合。此外，在不相互矛盾的情況下，本領域的技術人員可以將本說明書中描述的不同實施例或示例以及不同實施例或示例的特徵進行結合和組合。

儘管上面已經示出和描述了本發明的實施例，可以理解的是，上述實施例是示例性的，不能理解為對本發明的限制，本領域的普通技術人員在本發明的範圍內可以對上述實施例進行變化、修改、替換和變型。

以上所述本發明的具體實施方式，並不構成對本發明保護範圍的限定。任何根據本發明的技術構思所作出的各種其他相應的改變與變形，均應包含在本發明權利要求的保護範圍內。