易換靶材組件式旋轉靶裝置的製作方法

2023-04-28 19:20:41 2

專利名稱：易換靶材組件式旋轉靶裝置的製作方法
技術領域：
本發明涉及一種旋轉靶裝置，尤其涉及一種易換靶材組件式旋轉靶裝置。
背景技術：
目前生產鍍膜玻璃的設備中大多採用平面濺射陰極靶材，其工作原理是將需鍍膜的玻璃送入真空鍍膜室內，真空鍍膜室內通入一定量的高純工藝氣體一如氧氣、氮氣或氬氣，在電磁場及游離電子的作用下工藝氣體形成帶正電的等離子體，等離子體在載有高負電壓的陰極的吸引下，在磁場的控制下，按照一定的軌跡和力度轟擊固定安裝在真空鍍膜室內的平面陰極靶材上的鍍膜用材料，鍍膜材料被氣體分子碰撞出來，按照一定方向沉積在玻璃上形成一定厚度的膜層。但是，現有的裝置間距固定，無法適應不同型號長度的靶材組件替換使用，同時， 會導致靶材安裝位置出現間隙，影響加工效果和使用壽命。

發明內容
本發明的目的在於克服現有技術存在的以上問題，提供一種易換靶材組件式旋轉
靶裝置。為實現本發明的目的易換靶材組件式旋轉靶裝置，包括有加工箱體，所述的加工箱體底部設置有底板，其特徵在於所述底板的一側安裝有驅動端頭組件，所述底板的另一側安裝有水電端頭組件；所述驅動端頭組件與水電端頭組件的工作銜接端中安裝有靶材組件。進一步地，上述的易換靶材組件式旋轉靶裝置，其中，所述的驅動端頭組件與水電端頭組件的工作銜接端均設置有伸縮式軸用擋圈。更進一步地，上述的易換靶材組件式旋轉靶裝置，其中，所述水電端頭組件的輸出端設置有獨立的導電桿與水輸送管。再進一步地，上述的易換靶材組件式旋轉靶裝置，其中，所述的驅動端頭組件與底板的銜接端設置基座合件；所述水電端頭組件與底板的銜接端亦設置有基座合件。採用本發明技術方案，通過有伸縮式軸用擋圈的存在，可以有效控制驅動端頭組件與水電端頭組件之間的靶材組件安裝間距。由此，能夠有效適應各種規格程度不同靶材組件進行安裝。同時，亦可以通過調整間距，令靶材組件安裝到位，提升其使用壽命。本發明的目的、優點和特點，將通過下面優先實施例的非限制性說明進行圖示和解釋，這些實施例是參照附圖僅作為例子給出的。


圖1是易換靶材組件式旋轉靶裝置的構造示意圖。
具體實施方式
如圖1所示的易換靶材組件5式旋轉靶裝置，包括有加工箱體1，該加工箱體1底部設置有底板2，其特別之處在於本發明所採用的底板2 —側安裝有驅動端頭組件3。與之對應的是，在底板2的另一側安裝有水電端頭組件4。所述驅動端頭組件3與水電端頭組件4的工作銜接端中安裝有靶材組件5。結合本發明一較佳的實施方式來看，為了適應不同長度和型號的靶材組件5能夠令其穩固安裝在驅動端頭組件3與水電端頭組件4的工作銜接端中，在驅動端頭組件3與水電端頭組件4的工作銜接端均設置有伸縮式軸用擋圈6。這樣，在實際使用時，可以調整伸縮式軸用擋圈6的伸縮長短，配合靶材組件5的安裝。進一步來看，考慮到能夠實現裝配人員的組裝便捷，水電端頭組件4的輸出端設置有獨立的導電桿7與水輸送管8。由此，免去以往水電混合結構過於複雜，容易出現漏水或是漏電的缺陷。再進一步來看，為了提升驅動端頭組件3與水電端頭組件4與加工箱體1上的底板2的連接穩定程度，在驅動端頭組件3與底板2的銜接端設置基座合件9。同樣的，在水電端頭組件4與底板2的銜接端亦設置有基座合件9。通過上述的文字表述並結合附圖可以看出，採用本發明後，通過有伸縮式軸用擋圈的存在，可以有效控制驅動端頭組件與水電端頭組件之間的靶材組件安裝間距。由此，能夠有效適應各種規格程度不同靶材組件進行安裝。同時，亦可以通過調整間距，令靶材組件安裝到位，提升其使用壽命。當然，以上僅是本發明的具體應用範例，對本發明的保護範圍不構成任何限制。除上述實施例外，本發明還可以有其它實施方式。凡採用等同替換或等效變換形成的技術方案，均落在本發明所要求保護的範圍之內。
權利要求
1.易換靶材組件式旋轉靶裝置，包括有加工箱體，所述的加工箱體底部設置有底板，其特徵在於所述底板的一側安裝有驅動端頭組件，所述底板的另一側安裝有水電端頭組件； 所述驅動端頭組件與水電端頭組件的工作銜接端中安裝有靶材組件。
2.根據權利要求1所述的易換靶材組件式旋轉靶裝置，其特徵在於所述的驅動端頭組件與水電端頭組件的工作銜接端均設置有伸縮式軸用擋圈。
3.根據權利要求1所述的易換靶材組件式旋轉靶裝置，其特徵在於所述水電端頭組件的輸出端設置有獨立的導電桿與水輸送管。
4.根據權利要求1所述的易換靶材組件式旋轉靶裝置，其特徵在於所述的驅動端頭組件與底板的銜接端設置基座合件；所述水電端頭組件與底板的銜接端亦設置有基座合件。
全文摘要
本發明涉及一種易換靶材組件式旋轉靶裝置，包括有加工箱體，加工箱體底部設置有底板，其特點是底板的一側安裝有驅動端頭組件，底板的另一側安裝有水電端頭組件。同時，驅動端頭組件與水電端頭組件的工作銜接端中安裝有靶材組件。通過有伸縮式軸用擋圈的存在，可以有效控制驅動端頭組件與水電端頭組件之間的靶材組件安裝間距。由此，能夠有效適應各種規格程度不同靶材組件進行安裝。亦可以通過調整間距，令靶材組件安裝到位，提升其使用壽命。
文檔編號C23C14/34GK102268648SQ20111017715
公開日2011年12月7日 申請日期2011年6月28日 優先權日2011年6月28日
發明者黃峰 申請人:黃峰