具防呆機構的晶舟抽片移轉治具的製作方法
2023-04-25 22:48:01
具防呆機構的晶舟抽片移轉治具的製作方法
【專利摘要】本實用新型是有關於一種具防呆機構的晶舟抽片移轉治具，包括有:一承置臺、一滑設於承置臺的滑杆、一固設於滑杆上的立杆及一固設於立杆上的推桿，防呆機構包括有:二壓柱、四擋塊、一第一連杆及一第二連杆。二壓柱穿設於承置臺上，包括有一第一壓柱及一第二壓柱;四擋塊設置於承置臺下方，包括有一第一擋塊、一第二擋塊、一第三擋塊及一第四擋塊;第一連杆，分別連接第二壓柱及第二擋塊與第三擋塊;第二連杆則分別連接第一壓柱及第一擋塊與第四擋塊。由此，可避免因置放於承置臺上的二個晶舟未確實定位時，移動晶圓所可能造成晶圓碰撞或刮傷。
【專利說明】具防呆機構的晶舟抽片移轉治具
【技術領域】
[0001]本實用新型是關於一種晶舟抽片移轉治具，特別是有關於一種具防呆機構的晶舟抽片移轉治具。
【背景技術】
[0002]請參閱圖1是已知晶舟(cassette)的抽片移轉本意圖，一般而目，多個晶圓(wafer) 91是先一起存放於一具有多個承置槽901的第一晶舟90內，每一晶圓91分別存放於每一承置槽901，以方便作業人員或機器設備的機械手臂取拿。
[0003]如圖1所本，晶圓91在後續流程中檢驗時，若有必要，需從第一晶舟90中進行抽片移轉至第二晶舟95的承置槽951，以檢驗晶圓91是否正常。其轉換過程是先將第一晶舟90與第二晶舟95分別依序相鄰置放於工作桌上，作業人員再利用右手握住真空筆去吸附取拿第一晶舟90的晶圓91的支持框，此時作業人員需避免真空筆去碰觸到晶圓91的晶面，再將晶圓91放置於第二晶舟95的承置槽951上。
[0004]於轉換過程中，若真空筆的吸力突然不夠，或者作業人員突然碰觸到真空筆的吸力釋放鍵，則晶圓91會滑落，容易導致晶圓91刮傷、缺角或破片等情形。此時，若作業人員正好跨越第一晶舟90與第二晶舟95的上方，則將造成多片晶圓91相互碰撞而導致刮傷碎裂，並非十分理想。
[0005]請參閱圖2是另一已知晶舟抽片移轉治具的抽片移轉小:意圖，其是利用一晶舟抽片移轉治具來將第一晶舟88上的多個晶圓881移轉至第二晶舟89上，該治具包括有:一具有多個支撐座85的承置臺80、一滑杆81、一立杆82、及一推桿84。立杆82固設於滑杆81的一端，且立杆82具有一直向槽孔821。推桿84的二端分別固設有一推鏟842及一操作杆83，操作杆83可滑設於立杆82的直向槽孔821中，故推桿84可通過操作杆83來調整推桿84的高度，以選擇所要移轉的第一晶舟88上的晶圓881，將的移轉至第二晶舟89上。
[0006]圖2所示的晶舟抽片移轉治具，並無防呆的機構，需操作人員先確認二個對應的晶舟的位置，保持精確的位置，方能進行晶圓的轉換作業，然操作人員有時會疏忽，沒有確認晶舟擺放位置是否正確，即進行晶圓的轉換作業，容易導致晶圓於轉換時，產生晶圓刮傷、破裂等意外，亦非十分理想，尚有改善的空間。
[0007]創作人原因於此，本於積極發明創作的精神，亟思一種可以解決上述問題的「具防呆機構的晶舟抽片移轉治具」，幾經研究實驗終至完成本實用新型。
實用新型內容
[0008]本實用新型的主要目的是在提供一種具防呆機構的晶舟抽片移轉治具，以便能當置放於承置臺上的二個晶舟未確實定位時，晶舟抽片移轉治具的滑塊會阻擋滑杆的左右滑移，使得推桿無法左右滑移，亦即使作業人員無法利用推桿上的推鏟來移轉晶圓，可避免因晶舟未確實定位時，仍移動晶圓所可能造成晶圓碰撞或刮傷。
[0009]為達成上述目的，本實用新型的具防呆機構的晶舟抽片移轉治具，該晶舟抽片移轉治具包括有:一承置臺、一滑設於該承置臺的滑杆、一固設於該滑杆上的立杆及一固設於該立杆上的推桿，其特徵在於，該防呆機構包括有:
[0010]二壓柱，穿設於該承置臺，包括有一第一壓柱及一第二壓柱；
[0011]四擋塊，設置於該承置臺下方，包括有一第一擋塊、一第二擋塊、一第三擋塊及一第四擋塊；
[0012]一第一連杆，分別與該第二壓柱、該第二擋塊及該第三擋塊相連；以及
[0013]一第二連杆，分別與該第一壓柱、該第一擋塊及該第四擋塊相連。
[0014]其中，該第一連杆連結一第一樞轉軸。
[0015]其中，該第二連杆連結一第二樞轉軸。
[0016]其中，該滑杆上連結一滑塊，該第一壓柱可選擇式下壓或未下壓，對應促使該第一擋塊及該第四擋塊底緣的水平高度高於或低於該滑塊頂緣的水平高度。
[0017]其中，該第二壓柱可選擇式下壓或未下壓，對應地促使該第二擋塊及該第三擋塊底緣的水平高度高於或低於該滑塊頂緣的水平高度。
[0018]該防呆機構還包括有一復位連杆、一重力塊、一橫杆、一第一支杆及一第二支杆，該復位連杆、該重力塊及該橫杆依序相連，該橫杆與該第一連杆相連，該第一支杆的二端分別與該橫杆及該第四擋塊相連，該第二支杆的二端分別與該橫杆及該第一擋塊相連。
[0019]其中，該重力塊呈契形狀，該第一樞轉軸穿設於該重力塊及該第一連杆，該復位連杆可選擇式內推或未內推，對應促使該四擋塊底緣的水平高度高於或低於該滑塊頂緣的水平高度。
[0020]其中，該承置臺下底面設有多個支撐座，該滑杆穿設該多個支撐座。
[0021]其中，該復位連杆、該重力塊及該橫杆為一體式結構。
[0022]本實用新型的有益效果是，其可避免因晶舟未確實定位時，仍移動晶圓所可能造成晶圓碰撞或刮傷。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0023]以下，配合附圖列舉較佳實施例，用以對本實用新型的內容作進一步說明，其中:
[0024]圖1是已知晶舟的抽片移轉示意圖。
[0025]圖2是另一已知晶舟抽片移轉治具的抽片移轉示意圖。
[0026]圖3是本實用新型一較佳實施例的具防呆機構的晶舟抽片移轉治具的立體圖。
[0027]圖4是本實用新型一較佳實施例的具防呆機構的晶舟抽片移轉治具的另一不同視角立體圖。
[0028]圖5是本實用新型一較佳實施例的具防呆機構的晶舟抽片移轉治具的側視示意圖。
[0029]圖6是本實用新型一較佳實施例的具防呆機構的晶舟抽片移轉治具的動作原理
(一)本意圖。
[0030]圖7是本實用新型一較佳實施例的具防呆機構的晶舟抽片移轉治具的動作原理
(二)示意圖。
[0031]圖8A是本實用新型一較佳實施例的具防呆機構的晶舟抽片移轉治具的復位動作原理(一)本意圖。[0032]圖8B是本實用新型一較佳實施例的具防呆機構的晶舟抽片移轉治具的復位動作原理(二)示意圖。
【具體實施方式】
[0033]請參閱圖3與圖4，其分別為本實用新型一較佳實施例具防呆機構的晶舟抽片移轉治具二不同視角立體圖。本實施例的晶舟抽片移轉治具包括有:一承置臺10、二滑設於承置臺10的滑杆11、12、四支撐座15、16、17、18、一滑塊33、一固設於滑杆19上的立杆14及一固設於立杆14的推桿13，推桿上固設有一推鏟131，可用以移轉晶舟(示於圖6)上的晶圓(圖未示)。
[0034]在本實施例中，滑杆11、12及滑杆19是經由滑塊33而連成一體式結構。亦即，二滑杆11、12、滑杆19及滑塊33是可一起水平左右連動滑移。另，滑杆11穿設於二支撐座15、16間，滑杆12穿設二支撐座17、18間，由此，使二滑杆11、12可平順地水平左右滑移，進而使滑杆19也可平順地水平左右滑移。
[0035]如圖所示，晶舟抽片移轉治具的防呆機構包括有:四壓柱51、52、四擋塊41、42、43、44、二第一連杆21、22、二第二連杆23、24、一復位連杆28、一橫杆32、一第一支杆25、一第二支杆26及一重力塊31。其中，四壓柱51、52穿設於承置臺10，四壓柱包括有二第一壓柱51及二第二壓柱52。四擋塊設置於承置臺10下方，四擋塊41、42、43、44包括有一第一擋塊41、一第二擋塊42、一第三擋塊43及一第四擋塊44。在本實施例中，復位連杆28、重力塊31及橫杆32是為一體式結構。
[0036]此外，第一連杆21分別與第二壓柱52及第二擋塊42相連，另第一連杆22則分別與第二壓柱52及第三擋塊43相連，二第一連杆21、22共同連結一第一樞轉軸211。另外，第二連杆23分別與第一壓柱51及第一擋塊41相連，另第二連杆24則分別與第一壓柱51及第四擋塊44相連，第二連杆23連結一第二樞轉軸231，另第二連杆24連結一第二樞轉軸241。
[0037]請參閱圖5、圖6及圖7，其分別本實用新型一較佳實施例的具防呆機構的晶舟抽片移轉治具的側視示意圖、及動作原理(一)(二)示意圖，並請一併參閱圖3。如圖5所示，若承置臺10上未置放任何晶舟時，四壓柱51、52是凸出於承置臺10上，此時，四擋塊41、42、43、44會阻擋限制滑塊33向左滑移，亦即，滑杆19不能向左滑移。
[0038]如圖6所示，當要進行晶圓轉換作業，亦即操作人員要將第一晶舟56上的晶圓移轉至第二晶舟57 (示於圖7)上時，需第一晶舟56確實定位，方能通過第一晶舟56的重量將二第一壓柱51下壓，經由第二連杆23所連結的第二樞轉軸231及第二連杆24所連結的第二樞轉軸241，對應促使第一擋塊41及第四擋塊44可上移至其底緣的水平高度高於滑塊33頂緣的水平高度。亦即，使第一擋塊41及第四擋塊44不會阻擋限制滑塊33向左滑移，但此時第二擋塊42及第三擋塊43仍會阻擋限制滑塊33向左滑移，滑杆19仍不能向左滑移。
[0039]如圖7所示，當第二晶舟57確實定位，方能通過第二晶舟57的重量將二第二壓柱52下壓，經由二第一連杆21、22所共同連結的第一樞轉軸211，對應地促使第二擋塊42及第三擋塊43可上移至其底緣的水平高度高於該滑塊33頂緣的水平高度。亦即，第二擋塊42及第三擋塊43不會阻擋限制滑塊33向左滑移，此時，四擋塊41、42、43、44皆不會阻擋限制滑塊33向左滑移，滑杆19方能向左滑移。換言之，需第一晶舟56與第二晶舟57皆確實定位，方能執行晶圓的移轉作業。
[0040]請參閱圖8A及圖8B，其分別為本實用新型一較佳實施例的具防呆機構的晶舟抽片移轉治具的復位動作原理(一)及(二)示意圖，並請一併參閱圖3。本實施例的復位原理是通過復位連杆28、重力塊31及橫杆32依序相連，橫杆32與二第一連杆21，22相連，第一支杆25的二端分別與橫杆32及第四擋塊44相連，第二支杆26的二端分別與橫杆32及第一擋塊41相連。
[0041]在本實施例中，重力塊31是呈契形狀，第一樞轉軸211穿設於重力塊31及二第一連杆21、22，當復位連杆28向右推時，可對應促使四擋塊41、42、43、44上移至其底緣的水平高度高於滑塊33頂緣的水平高度，此時，四擋塊41、42、43、44皆不會阻擋限制滑塊33向左滑移，滑杆19可左右滑移。
[0042]由此，本實施例的防呆機構，當置放於承置臺10上的二個晶舟56、57未確實定位時，晶舟抽片移轉治具的滑塊33會阻擋滑杆19的向左滑移，使得推桿13無法前後滑移，亦即使作業人員無法移轉晶圓，可避免因晶舟56、57未確實定位時，仍移動晶圓所可能造成晶圓碰撞或刮傷。
[0043]此外，本實施例的復位機構，當復位連杆28向右推時，可同時使四擋塊41、42、43、44上移至其底緣的水平高度高於滑塊33頂緣的水平高度，進而促使滑杆19可左右滑移，可便於操作人員排除故障。
[0044]上述實施例僅是為了方便說明而舉例而已，本實用新型所主張的權利範圍自應以權利要求範圍所述為準，而非僅限於上述實施例。
【權利要求】
1.一種具防呆機構的晶舟抽片移轉治具，該晶舟抽片移轉治具包括有:一承置臺、一滑設於該承置臺的滑杆、一固設於該滑杆上的立杆及一固設於該立杆上的推桿，其特徵在於，該防呆機構包括有: 二壓柱，穿設於該承置臺，包括有一第一壓柱及一第二壓柱； 四擋塊，設置於該承置臺下方，包括有一第一擋塊、一第二擋塊、一第三擋塊及一第四擋塊； 一第一連杆，分別與該第二壓柱、該第二擋塊及該第三擋塊相連；以及 一第二連杆，分別與該第一壓柱、該第一擋塊及該第四擋塊相連。
2.如權利要求1所述的具防呆機構的晶舟抽片移轉治具，其特徵在於，其中，該第一連杆連結一第一樞轉軸。
3.如權利要求1所述的具防呆機構的晶舟抽片移轉治具，其特徵在於，其中，該第二連杆連結一第二樞轉軸。
4.如權利要求2所述的具防呆機構的晶舟抽片移轉治具，其特徵在於，其中，該滑杆上連結一滑塊，該第一壓柱可選擇式下壓或未下壓，對應促使該第一擋塊及該第四擋塊底緣的水平高度高於或低於該滑塊頂緣的水平高度。
5.如權利要求4所述的具防呆機構的晶舟抽片移轉治具，其特徵在於，其中，該第二壓柱可選擇式下壓或未下壓，對應地促使該第二擋塊及該第三擋塊底緣的水平高度高於或低於該滑塊頂緣的水平高度。
6.如權利要求4所述的具防呆機構的晶舟抽片移轉治具，其特徵在於，該防呆機構還包括有一復位連杆、一重力塊、一橫杆、一第一支杆及一第二支杆，該復位連杆、該重力塊及該橫杆依序相連，該橫杆與該第一連杆相連，該第一支杆的二端分別與該橫杆及該第四擋塊相連，該第二支杆的二端分別與該橫杆及該第一擋塊相連。
7.如權利要求6所述的具防呆機構的晶舟抽片移轉治具，其特徵在於，其中，該重力塊呈契形狀，該第一樞轉軸穿設於該重力塊及該第一連杆，該復位連杆可選擇式內推或未內推，對應促使該四擋塊底緣的水平高度高於或低於該滑塊頂緣的水平高度。
8.如權利要求1所述的具防呆機構的晶舟抽片移轉治具，其特徵在於，其中，該承置臺下底面設有多個支撐座，該滑杆穿設該多個支撐座。
9.如權利要求6所述的具防呆機構的晶舟抽片移轉治具，其特徵在於，其中，該復位連杆、該重力塊及該橫杆為一體式結構。
【文檔編號】H01L21/677GK203607380SQ201320624955
【公開日】2014年5月21日 申請日期:2013年10月10日 優先權日:2013年10月10日
【發明者】劉方軍 申請人:京隆科技(蘇州)有限公司