一種光刻膠供應裝置的製作方法

2023-05-13 16:57:26

本實用新型涉及光刻製造工藝中的設備技術領域，特別是涉及一種光刻膠供應裝置。

背景技術：

現有的晶圓加工行業中黃光使用機臺大部分為ACT8track機臺，在光刻膠使用上是在機臺發生報警提示光刻膠已使用完，製造人員直接進行更換。但在實際操作過程中，光刻膠桶底部的光刻膠將有殘餘，在光刻膠無法完全利用的狀態下更換膠桶，造成光刻膠的浪費。而光刻膠屬於高成本物料，無法利用的光刻膠在一定程度上增加了生產成本，降低了光刻膠的利用率，同時殘留的光刻膠也會造成環境的汙染。

特別地，當光刻膠桶內的光刻膠稀少的情況下，會造成大量氣泡進入管路，而空氣殘留於光刻膠中會影響光刻工藝，例如可能造成光刻膠塗覆不均勻，而使得最終形成的器件圖形扭曲，造成一定的損失。

技術實現要素：

鑑於以上所述現有技術的缺點，本實用新型的目的在於提供一種光刻膠供應裝置，用於解決現有技術光刻膠的使用中利用率低、浪費嚴重、汙染環境且影響光刻產品質量的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供一種光刻膠供應裝置，包括：用於存儲光刻膠的光刻膠桶；用於暫存光刻膠的暫存容器；以及連通所述光刻膠桶和所述暫存容器的導流管，所述供應裝置還包括：承載盤，所述承載盤包括底盤和側壁，所述底盤的邊緣嵌於所述側壁底部的內側並可相對於所述側壁滑動；所述承載盤內承載所述光刻膠桶，且所述承載盤與所述光刻膠桶光滑接觸；重量感應器，所述重量感應器與所述底盤連接並偵測所述光刻膠桶的重量；控制裝置，所述控制裝置包括控制器和馬達，所述控制器與所述重量感應器連接並接收所述重量感應器的信息以控制所述馬達動作，所述馬達與所述底盤連接並帶動所述底盤轉動。

於本實用新型的一實施方式中，所述側壁底部的內側設有一圈環形導軌，所述底盤的邊緣設有多個滑塊，所述滑塊位於所述環形導軌內並可在環形導軌內滑動。

於本實用新型的一實施方式中，所述馬達通過聯軸器與所述底盤軸連接。

於本實用新型的一實施方式中，還包括L形結構的安裝支架，所述安裝支架的上端固定於所述側壁的外側，所述安裝支架的下端固定安裝所述馬達。

於本實用新型的一實施方式中，所述承載盤及所述光刻膠桶均與水平面呈一傾角，所述傾角的範圍為45°～60°。

於本實用新型的一實施方式中，還包括多個偵測感應器，所述偵測感應器由上至下設置於所述暫存容器內的不同位置，適於偵測所述暫存容器內光刻膠的液位。

於本實用新型的一實施方式中，所述偵測感應器設置有三個，分別為高液位偵測感應器、中液位偵測感應器和低液位偵測感應器。

於本實用新型的一實施方式中，所述高液位偵測感應器與所述暫存容器的頂部之間設有間距，適於在所述暫存容器內的光刻膠即將用完時預留氣泡空間。

於本實用新型的一實施方式中，所述高液位偵測感應器與所述重量感應器連接，適於在所述暫存容器內的光刻膠液位低於所述高液位偵測感應器時觸發所述重量感應器啟動。

於本實用新型的一實施方式中，所述暫存容器頂部還設有排氣管，適於排除在光刻膠桶內光刻膠稀少的時候產生的氣泡。

如上所述，本實用新型的光刻膠供應裝置，具有以下有益效果：

1、通過可旋轉的承載盤設計，使導流管與光刻膠桶全方位接觸，充分吸走光刻膠，提高光刻膠的利用率，降低成本，減少汙染。

2、通過對暫存容器的改良，提高了晶圓的光刻膠塗覆質量，同時減少了排泡時光刻膠的損失。

附圖說明

圖1為本實用新型光刻膠供應裝置的結構示意圖。

圖2為本實用新型光刻膠供應裝置的承載盤的結構示意圖。

圖3為本實用新型光刻膠供應裝置的馬達與底盤的連接示意圖。

圖4為現有技術中暫存容器的結構示意圖。

圖5為本實用新型光刻膠供應裝置中暫存容器的結構示意圖。

元件標號說明

1 光刻膠桶

2 暫存容器

3 導流管

4 承載盤

41 底盤

42 側壁

43 滑塊

44 固定軸

5 重量感應器

6 馬達

7 聯軸器

8 偵測感應器

81 高液位偵測感應器

82 中液位偵測感應器

83 低液位偵測感應器

9 氣泡空間

10 排氣管

11 塗布單元

12 安裝支架

具體實施方式

以下由特定的具體實施例說明本實用新型的實施方式，熟悉此技術的人士可由本說明書所揭露的內容輕易地了解本實用新型的其他優點及功效。

請參閱圖1至圖5。須知，本說明書所附圖式所繪示的結構、比例、大小等，均僅用以配合說明書所揭示的內容，以供熟悉此技術的人士了解與閱讀，並非用以限定本實用新型可實施的限定條件，故不具技術上的實質意義，任何結構的修飾、比例關係的改變或大小的調整，在不影響本實用新型所能產生的功效及所能達成的目的下，均應仍落在本實用新型所揭示的技術內容能涵蓋的範圍內。同時，本說明書中所引用的如「上」、「下」、「左」、「右」、「中間」及「一」等的用語，亦僅為便於敘述的明了，而非用以限定本實用新型可實施的範圍，其相對關係的改變或調整，在無實質變更技術內容下，當亦視為本實用新型可實施的範疇。

請參閱圖1，本實用新型提供一種光刻膠供應裝置，包括：用於存儲光刻膠的光刻膠桶1；用於暫存光刻膠的暫存容器2；以及連通所述光刻膠桶1和所述暫存容器2的導流管3，所述供應裝置還包括：承載盤4，所述承載盤4包括底盤41和側壁42，所述底盤41的邊緣嵌於所述側壁42底部的內側並可相對於所述側壁42滑動；所述承載盤4內承載所述光刻膠桶1，且所述承載盤4與所述光刻膠桶1光滑接觸；重量感應器5，所述重量感應器5與所述底盤41連接並偵測所述光刻膠桶1的重量；控制裝置，所述控制裝置包括控制器(未示出)和馬達6，所述控制器與所述重量感應器5連接並接收所述重量感應器5的信息以控制所述馬達6動作，所述馬達6與所述底盤41連接並帶動所述底盤41轉動。

需要注意的是，光刻膠桶1內的光刻膠通過加入一定氣壓的氮氣將光刻膠壓入所述暫存容器2中的，當然，也可以使用泵進行抽取光刻膠至所述暫存容器2中。所述暫存容器2的光刻膠出口處連接塗布單元11，所述塗布單元11用於對晶圓進行光阻塗覆。

請參閱圖2，為本實用新型光刻膠供應裝置的承載盤4的結構示意圖。所述側壁42底部的內側設有一圈環形導軌(未示出)，所述底盤41的邊緣設有多個滑塊43，所述滑塊43位於所述環形導軌內並可在環形導軌內滑動。

請參閱圖3，為本實用新型光刻膠供應裝置的馬達6與底盤41的連接示意圖。作為示例，所述馬達6通過聯軸器7與所述底盤41軸連接。這裡，所述底盤41下固定設有固定軸44，所述馬達6的輸出端通過所述聯軸器7與所述底盤41下的固定軸44進行軸連接，這樣，所述馬達6轉動就會帶動所述底盤41一起轉動，又由於所述承載盤4與所述光刻膠桶1光滑接觸，所以，所述光刻膠桶1不會隨底盤41轉動，但是，所述光刻膠桶1內光刻膠的液位會隨著所述底盤41的轉動而不斷變化，也即達到了所述導流管3與所述光刻膠桶1的底部全面接觸。

需要注意的是，由於所述底盤41轉動的目的只是為了讓導流管3與不同液位的光刻膠接觸，所以，馬達6的轉速不需要很快。

作為示例，所述光刻膠供應裝置還包括L形結構的安裝支架12，所述安裝支架12的上端固定於所述承載盤4側壁42的外側，所述安裝支架12的下端固定安裝所述馬達6，也即所述安裝支架12用於支撐所述馬達6。

作為示例，所述承載盤4及所述光刻膠桶1均與水平面呈一傾角，所述傾角的範圍為45°～60°。所述承載盤4及所述光刻膠桶1均與水平面呈一傾角的目的是，在光刻膠剩餘量不多的情況下使光刻膠聚集在光刻膠桶1底的最低處，便於收集和吸取光刻膠，減少浪費。

為了避免在桶內光刻膠稀少的情況下，造成大量氣泡進入管路，本實用新型的光刻膠供應裝置還對暫存容器2進行了改進，將現有技術中暫存容器2的上下兩個偵測感應器8(如圖4)，改為上中下三個偵測感應器8，將最上邊偵測感應器8的位置適當下調，預留一部分氣泡空間9。

具體請參閱圖5，其為本實用新型光刻膠供應裝置中暫存容器2的結構示意圖。

作為示例，所述光刻膠供應裝置還包括多個偵測感應器8，所述偵測感應器8由上至下設置於所述暫存容器2內的不同位置，適於偵測所述暫存容器2內光刻膠的液位，防止當光刻膠桶1中的光刻膠被抽空時光刻膠供應裝置繼續工作。

作為示例，所述偵測感應器8設置有三個，分別為高液位偵測感應器81、中液位偵測感應器82和低液位偵測感應器83。所述高液位偵測感應器81位於所述暫存容器2的光刻膠入口處，所述低液位偵測感應器83位於所述暫存容器2的光刻膠出口處，所述中液位偵測感應器82設置於所述暫存容器2的中部。

作為示例，所述高液位偵測感應器81與所述暫存容器2的頂部之間設有間距，適於在所述暫存容器2內的光刻膠即將用完時預留氣泡空間9。

因為如果不預留氣泡空間9，在光刻膠桶1內光刻膠越來越少直至導流管3吸取不到光刻膠時，就會有氣泡進入導流管3中，進而影響後續塗布單元11的工藝製程，同時，在排放氣泡時，殘餘的光刻膠也會隨氣體排出造成損失。

作為示例，所述高液位偵測感應器81與所述重量感應器5連接，適於在所述暫存容器2內的光刻膠液位低於所述高液位偵測感應器81時觸發所述重量感應器5啟動。

所述光刻膠供應裝置的工作過程為：首先，設置光刻膠空桶時的重量作為設定標準值，當光刻膠液位達到所述高液位偵測感應器81時觸發所述重量感應器5，所述重量感應器5對光刻膠桶1進行重量偵測，如果偵測結果≦設定標準值，說明光刻膠桶1內已經沒有光刻膠，所述重量感應器5發送信號給所述控制器，所述控制器啟動報警裝置，提醒換桶；如果偵測結果＞設定標準值時，說明光刻膠桶1內還有殘液沒用使用完畢，且所述重量感應器5發送信號給所述控制器，所述控制器控制馬達6旋轉，通過馬達6的旋轉帶動底盤41，使導流管3與光刻膠桶1有一個無死角接觸，這樣可以充分吸走光刻膠。

需要注意的是，當光刻膠液位達到所述中液位偵測感應器82時，機臺暫時停止向塗布單元11傳輸晶圓；當光刻膠液位達到所述低液位偵測感應器83時，即所述低液位偵測感應器83偵測到氣泡產生，機臺報警，整體停止運作。

作為示例，所述暫存容器2頂部還設有排氣管10，適於排除在光刻膠桶1內光刻膠稀少的時候產生的氣泡。

綜上所述，本實用新型的光刻膠供應裝置，通過設計可旋轉的承載盤，使導流管與光刻膠桶有一個無死角接觸，這樣可以充分吸走光刻膠，提高光刻膠的利用率，降低成本，減少了排出的光刻膠廢液，從而減輕了對環境的汙染；通過對暫存容器的偵測感應器的改良，提高了晶圓的光刻膠塗覆質量，同時減少了排泡時的損失。

上述實施例僅例示性說明本實用新型的原理及其功效，而非用於限制本實用新型。任何熟悉此技術的人士皆可在不違背本實用新型的精神及範疇下，對上述實施例進行修飾或改變。因此，舉凡所屬技術領域中具有通常知識者在未脫離本實用新型所揭示的精神與技術思想下所完成的一切等效修飾或改變，仍應由本實用新型的權利要求所涵蓋。