三氯氫矽尾氣吸收裝置的製作方法
2023-05-14 04:51:16 2
專利名稱：三氯氫矽尾氣吸收裝置的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種三氯氫矽生產裝置，具體是一種三氯氫矽尾氣吸收裝置。
背景技術：
三氯氫矽是合成有機矽的重要中間體，也是製備多晶矽的主要原料。製備三氯氫矽比較成熟的工藝是採用金屬矽粉和氣體氯化氫製備，其主要流程包括氯化氫合成、三氯氫矽合成、三氯氫矽分離等主要工序。三氯氫矽製備過程中產生的尾氣主要成分是氫氣、氯化氫和氯矽烷，其處理方法是國內業界的熱點話題之一，現有技術中一般採用尾氣-水噴淋中和處理法、活性炭吸附法、氣液交換法等。其不足之處是尾氣中的氫氣不能有效利用、處理不徹底等。
發明內容為解決現有技術中的不足之處，申請人研發了一種尾氣吸收-變壓吸附裝置，本實用新型是該裝置中的一部分，目的是吸收尾氣中的氯化氫。本實用新型具體採用如下技術方案一種三氯氫矽尾氣吸收裝置，其特徵是，包括採用管路依次連接的吸收塔、熱交換器和脫洗塔，脫洗塔塔底與吸收塔塔頂採用吸附劑管路連接。所述脫洗塔塔頂具有冷凝器，塔底與再沸器循環連接。與現有技術相比，本實用新型優點在於1)本實用新型能夠吸收三氯氫矽尾氣中的HCI，經過本實用新型處理後，尾氣中氫氣含量可達到98. 5%，為進一步處理創造了條件；2)本實用新型不排放廢氣、廢液，吸附劑能夠循環使用。
圖1是本實用新型設備連接框圖；圖中，1-吸收塔，2-換熱器，3-再沸器，4-脫洗塔，5-冷凝器。
具體實施方式
如圖1所示，原料氣從吸收塔1的底部進入與頂部進入的吸附劑逆流液相接觸，尾氣中的HCI被全部吸收，吸附劑來自脫洗塔4的吸附劑貧液；吸收後的尾氣去下工序，吸收後的吸附劑富液經過換熱器2換熱後進入脫洗塔4脫洗吸附劑中的HCI。脫洗塔4底部循環連接再沸器3，用於控制塔溫，頂部具有冷凝器5用於冷凝吸附劑，脫洗後的HCL自塔頂排
出ο
權利要求1.一種三氯氫矽尾氣吸收裝置，其特徵是，包括採用管路依次連接的吸收塔、熱交換器和脫洗塔，脫洗塔塔底與吸收塔塔頂採用吸附劑管路連接。
2.根據權利要求1所述的三氯氫矽尾氣吸收裝置，其特徵是，所述脫洗塔塔頂具有冷凝器，塔底與再沸器循環連接。
專利摘要本實用新型涉及一種三氯氫矽生產裝置，具體是一種三氯氫矽尾氣吸收裝置，其特徵是，包括採用管路依次連接的吸收塔、熱交換器和脫洗塔，脫洗塔塔底與吸收塔塔頂採用吸附劑管路連接，所述脫洗塔塔頂具有冷凝器，塔底與再沸器循環連接。本實用新型能夠吸收三氯氫矽尾氣中的HCI，經過本實用新型處理後，尾氣中氫氣含量可達到98.5％，為進一步處理創造了條件。
文檔編號B01D53/18GK201949784SQ20102070127
公開日2011年8月31日 申請日期2010年12月31日 優先權日2010年12月31日
發明者宋宜華 申請人:淄博寶運化工廠