一種MOCVD真空烤盤爐的製作方法
2023-04-26 17:29:04 1
本實用新型涉及半導體設備技術領域，特別涉及一種MOCVD真空烤盤爐。
背景技術：
MOCVD(Metal-organic Chemical Vapor Deposition)即金屬有機化合物化學氣相沉積，是製備化合物半導體薄膜的一項關鍵技術。MOCVD設備是研發世界先進水平的S、C、X、K和Q等波段的氮化鎵大功率電子器件和高壓大功率固體開關器件、高端雷射器件及效率可達40％以上的太陽電池等光電子器件不可或缺的。它利用較易揮發的有機物作為較難揮發的金屬原子的源反應物，通過載氣攜帶到反應器內，在適當的氣壓、溫度等條件發生化學反應，在加熱的襯底基片上外延生長出薄膜；而現有的真空烤盤爐加熱不夠均勻，另外真空烤盤爐內部的密封性也比較差，另外整體的安全性也比較差。
技術實現要素：
本實用新型的目的就在於為了解決上述問題而提供一種MOCVD真空烤盤爐，解決了現有的真空烤盤爐加熱不夠均勻，另外真空烤盤爐內部的密封性也比較差，另外整體的安全性也比較差的問題。
為了解決上述問題，本實用新型提供了一種技術方案：一種MOCVD真空烤盤爐，包括烤盤爐殼體、真空系統、冷卻系統、氣源系統和上蓋，所述真空系統、冷卻系統和氣源系統分別與烤盤爐殼體內部相連接，所述上蓋固定連接在烤盤爐殼體頂部，其創新點在於：還包括輔助加熱器一、側蓋體、輔助加熱器二、基盤、加熱裝置、隔熱座、隔熱層、旋轉座、外錐面、內錐面、連接軸、防護層和電機；所述輔助加熱器一位於烤盤爐殼體內部頂部，所述輔助加熱器一固定連接在上蓋底面上；所述輔助加熱器二固定連接在烤盤爐殼體內部側壁上；所述側蓋體設在烤盤爐殼體側面；所述隔熱層固定連接在烤盤爐殼體下側內部頂面上，所述隔熱層底面中央固定連接有電機；所述電機上側輸出軸與旋轉座下側中央固定連接；所述旋轉座活動連接在烤盤爐殼體內部下側中央，所述旋轉座頂部固定連接有連接軸，所述旋轉座下側外部設有外錐面；所述外錐面與內錐面相連接；所述內錐面設在烤盤爐殼體下側內部頂面中央；所述基盤位於烤盤爐殼體內部下側，所述基盤底部中央固定連接在連接軸頂部；所述加熱裝置位於基盤下側，所述加熱裝置底部固定連接在隔熱座上面；所述隔熱座固定連接在烤盤爐殼體內部底面上；所述防護層設在烤盤爐殼體外部表面上。
作為優選，所述加熱裝置具體包括電熱絲一、電極柱一、電熱絲二、電極柱二和殼體；所述殼體內部呈扇形設有電熱絲一和電熱絲二；所述電熱絲一兩端分別固定連接有電極柱一；所述電熱絲二兩端分別固定連接有電極柱二；所述電極柱一和電極柱二均固定連接在殼體側面。
作為優選，所述電機為直流減速電機。
作為優選，所述防護層由隔熱防火材料製成。
本實用新型的有益效果：本實用新型具有結構合理簡單、生產成本低、安裝方便，功能齊全，本實用新型中設置的輔助加熱器一和輔助加熱器二，能夠有效的對基盤上面的空間進行加熱，另外電熱絲一和電熱絲二呈扇形排列，使得整體的加熱更加均勻，另外設置的外錐面和內錐面，能夠有效的增加旋轉座與烤盤爐殼體的接觸面積，從而使空氣很難進入到烤盤爐殼體內部，保證了真空烤盤爐內部的密封性，另外設置的防護層，能夠有效的保證本烤盤爐的安全性，以及操作人員的安全性。
附圖說明
為了易於說明，本實用新型由下述的具體實施及附圖作以詳細描述。
圖1為本實用新型的結構示意圖。
圖2為加熱裝置的結構示意圖。
1-烤盤爐殼體；2-真空系統；3-冷卻系統；4-氣源系統；5-上蓋；6-輔助加熱器一；7-側蓋體；8-輔助加熱器二；9-基盤；10-加熱裝置；11-隔熱座；12-隔熱層；13-旋轉座；14-外錐面；15-內錐面；16-連接軸；17-防護層；18-電機；101-電熱絲一；102-電極柱一；103-電熱絲二；104-電極柱二；105-殼體。
具體實施方式
如圖1所示，本具體實施方式採用以下技術方案：一種MOCVD真空烤盤爐，包括烤盤爐殼體1、真空系統2、冷卻系統3、氣源系統4和上蓋5，所述真空系統2、冷卻系統3和氣源系統4分別與烤盤爐殼體1內部相連接，所述上蓋5固定連接在烤盤爐殼體1頂部，還包括輔助加熱器一6、側蓋體7、輔助加熱器二8、基盤9、加熱裝置10、隔熱座11、隔熱層12、旋轉座13、外錐面14、內錐面15、連接軸16、防護層17和電機18；所述輔助加熱器一6位於烤盤爐殼體1內部頂部，所述輔助加熱器一6固定連接在上蓋5底面上；所述輔助加熱器二8固定連接在烤盤爐殼體1內部側壁上；所述側蓋體7設在烤盤爐殼體1側面；所述隔熱層12固定連接在烤盤爐殼體1下側內部頂面上，所述隔熱層12底面中央固定連接有電機18；所述電機18上側輸出軸與旋轉座13下側中央固定連接；所述旋轉座13活動連接在烤盤爐殼體1內部下側中央，所述旋轉座13頂部固定連接有連接軸16，所述旋轉座13下側外部設有外錐面14；所述外錐面14與內錐面15相連接；所述內錐面15設在烤盤爐殼體1下側內部頂面中央；所述基盤9位於烤盤爐殼體1內部下側，所述基盤9底部中央固定連接在連接軸16頂部；所述加熱裝置10位於基盤9下側，所述加熱裝置10底部固定連接在隔熱座11上面；所述隔熱座11固定連接在烤盤爐殼體1內部底面上；所述防護層17設在烤盤爐殼體1外部表面上。
如圖2所示，所述加熱裝置10具體包括電熱絲一101、電極柱一102、電熱絲二103、電極柱二104和殼體105；所述殼體105內部呈扇形設有電熱絲一101和電熱絲二103；所述電熱絲一101兩端分別固定連接有電極柱一102；所述電熱絲二103兩端分別固定連接有電極柱二104；所述電極柱一102和電極柱二104均固定連接在殼體105側面。
其中，所述電機18為直流減速電機；所述防護層17由隔熱防火材料製成。
本實用新型的使用狀態為：本實用新型具有結構合理簡單、生產成本低、安裝方便，功能齊全，本實用新型中設置的輔助加熱器一6和輔助加熱器二8，能夠有效的對基盤9上面的空間進行加熱，另外電熱絲一101和電熱絲二103呈扇形排列，使得整體的加熱更加均勻，另外設置的外錐面14和內錐面15，能夠有效的增加旋轉座13與烤盤爐殼體1的接觸面積，從而使空氣很難進入到烤盤爐殼體1內部，保證了真空烤盤爐內部的密封性，另外設置的防護層17，能夠有效的保證本烤盤爐的安全性，以及操作人員的安全性。
以上顯示和描述了本實用新型的基本原理和主要特徵和本實用新型的優點，本行業的技術人員應該了解，本實用新型不受上述實施例的限制，上述實施例和說明書中描述的只是說明本實用新型的原理，在不脫離本實用新型精神和範圍的前提下，本實用新型還會有各種變化和改進，這些變化和改進都落入要求保護的本實用新型範圍內，本實用新型要求保護範圍由所附的權利要求書及其等效物界定。