矽片減薄砂輪的製作方法

2023-05-17 22:59:51 1

本實用新型涉及一種矽片減薄砂輪。

背景技術：

電子產品對高性能，多功能、小型化和低成本的需求推動了集成電路(矽片板)製造技術的高速發展，特別是可攜式電子產品的飛速發展對矽片提出了越來越高的要求，在保證電性能穩定，成本下降的前提下，必須對矽片進行背面減薄，且要求減薄矽片具有高面型精度，無表面/亞表面損傷。

目前，採用矽片減薄砂輪的超精密磨削技術在矽片的背面減薄加工中得到廣泛應用，但是隨著矽片尺寸和原始厚度的減小以及減薄厚度的減小，超精密磨削正面臨著巨大的挑戰，主要體現在：傳統的矽片減薄砂輪的磨料層為一整塊，容易發熱，工作一段時間就要對砂輪進行散熱，因此，矽片減薄砂輪磨削效率低下，而且容易導致被加工矽片表面損傷，甚至造成平面精度的下降。

技術實現要素：

本實用新型公開了一種矽片減薄砂輪，以解決上述技術問題的至少一個。

根據本實用新型的一個方面，提供了一種矽片減薄砂輪，包括輪體，輪體的一側設有至少一圈磨料層，磨料層採用陶瓷結合劑材料製成，磨料層包括多段磨料塊，相鄰的兩個磨料塊形成有空隙。

本實用新型中，由於採用磨削性能優良陶瓷結合劑，所以磨削力小，磨削溫度低，壽命長，經久耐用。同時，本實用新型採用多圈磨料層，而每一圈磨料層又由磨料塊組成，磨料塊之間形成有空隙，通過空隙可以很好的散熱，在一定程度上可以延長本實用新型的工作時間，從而增大工作效率，並且空隙還可以容納大量的廢屑，只需要在工作工程中利用磨削液將廢屑排出，即可保證排屑和散熱功能。

在一些實施方式中，輪體呈圓形，輪體的中間設有通孔。由此，通孔的內壁上可以設置內螺紋，從而使得輪體能夠以螺紋連接的方式固定在外部電機的轉軸上。

在一些實施方式中，磨料層有三圈，相鄰兩圈的磨料塊交錯排布。由此，採用三圈交錯的磨料塊排布，相對於單圈排布的方式而言更加經久耐用，磨料顆粒所受摩擦力更小，表面拋光性能更好。

在一些實施方式中，輪體的一側設有臺階。由此，臺階可以方便本實用新型的安裝，同時，臺階可以減少使用材料，節省成本。

在一些實施方式中，輪體的另一側設有一圈凹槽，凹槽上設有進液孔。由此，可以將方便第一時間將磨削液注入到進液孔中，從而衝刷磨料層，降溫和排屑。

進一步，進液孔傾斜排布。

在一些實施方式中，輪體採用高密度鋁材料製成。由此，高密度鋁材料製成的輪體可以便於機械加工，同時輪體1本身更為輕便。

附圖說明

圖1為本實用新型一種實施方式的矽片減薄砂輪的主視圖。

圖2為圖1所示矽片減薄砂輪沿A-A方向的剖面結構示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖和具體實施例對本實用新型作進一步詳細的說明。

圖1和圖2示意性的顯示了本實用新型一種實施方式的矽片減薄砂輪的結構。

如圖1和圖2所示，一種矽片減薄砂輪，包括輪體1，圖1中輪體1的前側面(或者稱為前端面)上(圖2中的左側面，或者圖2的左端面)成型有至少一圈磨料層2，磨料層2採用陶瓷結合劑材料製成，磨料層2包括多段磨料塊21，相鄰的兩個磨料塊21形成有空隙211。

如圖1所示，在輪體1的前側面上成型有凹槽，將磨料層2中的磨料塊21卡入並固定到凹槽中即為上述的：輪體1的前側面上成型有至少一圈磨料層2。

如圖1所示，輪體1優選為呈圓形，輪體1的中間設有通孔11，通孔11的內壁上可以設置有內螺紋，從而使得輪體1能夠以螺紋連接的方式固定在外部電機的轉軸上。

在本實施例中，磨料層2優選有三圈，相鄰兩圈的磨料塊21交錯排布，交錯排布是指，如圖1所示，外圈的磨料塊21和內圈的磨料塊21的一端位於中間圈的磨料塊21的中間位置處，採用三圈交錯的磨料塊21排布，相對於單圈排布的方式而言更加經久耐用，磨料顆粒所受摩擦力更小，表面拋光性能更好。在其他實施例中，磨料層2還可以是四圈、六圈等，可以根據不同的使用需求來改變磨料層2的數量。

如圖2所示，在本實施例中，輪體1的前側面上成型有臺階12，臺階12呈圓形。臺階12可以方便本實用新型的安裝，同時，臺階12可以減少使用材料，節省成本。

如圖2所示，輪體1的右側(圖1的後側面上，被隱藏)成型有一圈凹槽13，凹槽13上設有進液孔131。可以將方便第一時間將磨削液注入到進液孔131中，從而衝刷磨料層2，降溫和排屑。即將磨削液衝進液孔131注入時，磨削液從進液孔131進入到有磨料層2的一側並進行衝洗已經產生的廢屑。

進一步，進液孔131傾斜排布。傾斜排布是指，進液孔131的軸線方向與輪體1的軸線方向呈一定的夾角，這樣排布的好處是：由於輪體1在磨削過程中會進行轉動，如果進液孔131的軸線方向與輪體1的軸線方向相同，那麼磨削液由於受到離心力的作用，很容易從進液孔131中甩出，造成清洗效果不佳。

在本實施例中，輪體1採用高密度鋁材料製成。高密度鋁材料製成的輪體1可以便於機械加工，同時輪體1本身更為輕便。在其他實施例中，輪體1還可以採用有機高分子材料製成，有機高分子材料製成的輪體1可以節省製作成本。

本實用新型中，由於磨料層2可以採用磨削性能優良的陶瓷結合劑，所以磨削力小，磨削溫度低，壽命長，經久耐用。同時，本實用新型採用多圈磨料層2(優選為三圈)，而每一圈磨料層2又由磨料塊21組成，磨料塊21之間形成有空隙211，通過空隙211可以很好的散熱，在一定程度上可以延長本實用新型的工作時間，從而增大工作效率，並且空隙211還可以容納大量的廢屑，只需要在工作工程中將磨削液從進液孔131注入，然後就可以對廢屑進行衝洗，從而保證排屑和散熱功能。

以上所述的僅是本實用新型的一些實施方式。對於本領域的普通技術人員來說，在不脫離本實用新型創造構思的前提下，還可以做出若干變形和改進，這些都屬於本實用新型的保護範圍。