一種用於真空紫外光學儀器的超高真空狹縫的製作方法
2023-05-23 15:33:51 5
專利名稱：一種用於真空紫外光學儀器的超高真空狹縫的製作方法
技術領域：
本實用新型屬於光學精密機械加工技術，涉及一種對常規光學狹縫及其它真空狹縫的改進。
常規光學狹縫普遍用於可見和紅外光譜儀器中，一般真空狹縫用於近紫外光學，而超高真空狹縫用於更短波段。而光學狹縫是光譜儀器中非常重要的部件。其縫口開啟解析度要求很高，其開啟精度指標直接影響光譜儀器分辨光譜的能力。在真空紫外領域，真空度達10-6-10-8pa時的工作環境，常規狹縫不能使用，首先起不到真空密封作用，其選材也不滿足真空要求，材料放氣，超高真空清洗材料腐蝕，分子過鍍等缺陷，後來人們設計了許多狹縫，解決了真空問題，但狹縫開啟精度和運動靈活性大都不很理想。
本實用新型的目的是解決真空光學狹縫在超高真空環境下不能正常工作、其材料放氣、材料分子過鍍、狹縫開啟精度低、運動靈活性差、狹縫口開啟解析度不高等缺陷，提供一種用於真空紫外光學儀器的超高真空狹縫。
本實用新型的結構詳見附圖1、圖2它包括狹縫片1、載體撥柱2、下夾持塊3、狹縫開啟載體4、縫片載體5、彈簧片6、外夾持塊7、中限位塊8、內夾持塊9、錐楔10、盲法蘭11、密封圈12、導向調節套13、滑套14、擋帽15、基板16、直線推桿17、密珠軸承18、外軸套19、連接筒20、防轉塊21、滑塊22、讀數尺23、讀數鼓24、驅動精密螺杆25、精密螺母26、軸承下擋27、鋼球28和33、軸承限位擋29、鋼球限位套30、軸承端擋31、手輪32、饋入主體34、支持筒35、非標密封法蘭36、焊接彈性波紋管37、軸頭38、聯接套39、狹縫室40，其特點是在基板16上面的兩側對稱固定連接安裝有在彈簧片6、外夾持塊7、中限位塊8、內夾持塊9的側面用銷釘固定連接成一體並且再用兩個螺釘與基板16固定成一體，在下夾持塊3、狹縫開啟載體4、縫片載體5、彈簧片6的左右兩側用螺釘固定連接，載體撥柱2和狹縫開啟載體4固定連接，狹縫片1與縫片載體5用螺釘固定連接；載體撥柱2與錐楔10的兩個側面接觸連接，錐楔10的上端與軸頭38的下端用聯接套39夾持固定連接；軸頭38與饋入主體34、支持筒35、非標密封法蘭36、焊接彈性波紋管37焊接成一體；軸頭38與直線推桿17螺紋連接，直線推桿17與滑塊22固定連接，直線推桿17的下端通過密珠軸承18、外軸套19形成精密直線軸系，外軸套19與饋入主體34固定連接，軸承下擋27、鋼球28和33、軸承限位擋29、鋼球限位套30、軸承端擋31構成軸系限制直線推桿17軸向竄動，軸承下擋27與軸承限位擋29和軸承端擋31固定連接，鋼球限位套30與軸承端擋31固定連接，鋼球33置於鋼球限位套30中限制直線推桿17上端的竄動，鋼球28限制直線推桿17上端的臺階面向下竄動，精密螺母26與軸承下擋27固定連接，軸承下擋27與手輪32固定連接，精密螺母26與讀數鼓24固定連接，精密螺母26與驅動精密螺杆25螺紋連接，驅動精密螺杆25與連接筒20、防轉塊21固定連接，防轉塊21與滑塊22採用超光滑滑動連接，驅動精密螺杆25與讀數尺23固定連接，錐楔10的下端與滑套14滑動連接，滑套14裝在導向調節套13的內孔中，擋帽15與導向調節套13螺紋連接，導向調節套13與狹縫室40固定連接，盲法蘭11與狹縫室40固定連接，在狹縫室40和盲法蘭11之間置有密封圈12，非標密封法蘭36與狹縫室40固定連接。
本實用新型的動態工作過程首先轉動手輪32帶動精密螺母26和軸承下擋27轉動，並同時驅動直線推桿17向上或向下移動。直線推桿17受防轉塊21和滑塊22的限制只能做軸向直線運動。直線推桿17帶動軸頭38和錐楔10同步做上下運動，錐楔10的上下運動使載體撥柱2左右移動使狹縫片1開啟與關閉，從而實現縫口開關的功能。
本實用新型的積極效果本實用新型採用由載體撥柱、下夾持塊、狹縫開啟載體、縫片載體、彈簧片、外夾持塊、中限位塊、內夾持塊組成的彈性結構，彈性結構採用懸浮狀態解決了運動件由於接觸產生的分子過鍍和摩擦力大的缺陷，提高了運動精度和靈活性。彈性結構、導向調節套、擋帽、載體撥柱、滑套片採用合適的材料解決了材料放氣的問題。採用彈性結構、錐楔、直線推桿及其所帶動的部件使狹縫口開啟解析度提高，手動讀數0.001mm與狹縫開啟大小一致，狹縫開啟精度0.0012mm，連續打開解析度0.0005mm。適用於超高真空紫外光譜儀器高精度要求的超高真空狹縫。
本實用新型的
圖1是本實用新型的剖視圖圖2是本實用新型彈性結構的主視圖。
本實用新型的實施例如圖1、圖2所示狹縫片1、載體撥柱2、錐楔10、基板16、直線推桿17、外軸套19採用2Cr13金屬材料。下夾持塊3、狹縫開啟載體4、縫片載體5、外夾持塊7、中限位塊8、內夾持塊9、盲法蘭11、導向調節套13、擋帽15、饋入主體34、支持筒35、非標密封法蘭36、焊接彈性波紋管37、軸頭38、聯接套39、狹縫室40均採用1Cr18Ni9Ti金屬材料。彈簧片6、精密螺母26和鋼球限位套30採用銅製成。密封圈12採用標準件。滑套14採用聚四氟乙烯。密珠軸承18的保持架採用銅製成。連接筒20、防轉塊21、滑塊22、驅動精密螺杆25、軸承下擋27、軸承限位擋29、軸承端擋31均採用38CrMoAl材料。讀數尺23、讀數鼓24、手輪32均採用LY12材料。鋼球28和33採用GCr15材料製成。載體撥柱2和狹縫開啟載體4採用真空熱裝。
權利要求1.一種用於真空紫外光學儀器的超高真空狹縫，它包括狹縫片1、錐楔10、盲法蘭11、密封圈12、精密螺母26、鋼球28和33、手輪32、焊接彈性波紋管37、狹縫室40，其特徵在於在基板16上面的兩側對稱固定連接安裝有在彈簧片6、外夾持塊7、中限位塊8、內夾持塊9的側面用銷釘固定連接成一體並且再用兩個螺釘與基板16固定成一體，在下夾持塊3、狹縫開啟載體4、縫片載體5、彈簧片6的左右兩側用螺釘固定連接，載體撥柱2和狹縫開啟載體4固定連接，狹縫片1與縫片載體5用螺釘固定連接；載體撥柱2與錐楔10的兩個側面接觸連接，錐楔10的上端與軸頭38的下端用聯接套39夾持固定連接；軸頭38與饋入主體34、支持筒35、非標密封法蘭36、焊接彈性波紋管37焊接成一體；軸頭38與直線推桿17螺紋連接，直線推桿17與滑塊22固定連接，直線推桿17的下端通過密珠軸承18、外軸套19形成精密直線軸系，外軸套19與饋入主體34固定連接，軸承下擋27、鋼球28和33、軸承限位擋29、鋼球限位套30、軸承端擋31構成軸系限制直線推桿17軸向竄動，軸承下擋27與軸承限位擋29和軸承端擋31固定連接，鋼球限位套30與軸承端擋31固定連接，鋼球33置於鋼球限位套30中限制直線推桿17上端的竄動，鋼球28限制直線推桿17上端的臺階面向下竄動，精密螺母26與軸承下擋27固定連接，軸承下擋27與手輪32固定連接，精密螺母26與讀數鼓24固定連接，精密螺母26與驅動精密螺杆25螺紋連接，驅動精密螺杆25與連接筒20、防轉塊21固定連接，防轉塊21與滑塊22採用超光滑滑動連接，驅動精密螺杆25與讀數尺23固定連接，錐楔10的下端與滑套14滑動連接，滑套14裝在導向調節套13的內孔中，擋帽15與導向調節套13螺紋連接，導向調節套13與狹縫室40固定連接，盲法蘭11與狹縫室40固定連接，在狹縫室40和盲法蘭11之間置有密封圈12，非標密封法蘭36與狹縫室40固定連接。
專利摘要本實用新型涉及一種對常規光學狹縫及其它真空狹縫的改進。採用彈性結構解決了運動件由於接觸產生的分子過鍍和摩擦力大的缺陷,提高了運動精度和靈活性。彈性結構、導向調節套、擋帽、載體撥柱、滑套片採用合適的材料解決了材料放氣的問題。採用彈性結構、錐楔、直線推桿及其所帶動的部件使狹縫口開啟解析度提高,手動讀數0.001mm與狹縫開啟大小一致,狹縫開啟精度0.0012mm,連續打開解析度0.0005mm。適用於超高真空紫外光譜儀器高精度要求的超高真空狹縫。
文檔編號G01J3/04GK2449213SQ00255778
公開日2001年9月19日 申請日期2000年10月19日 優先權日2000年10月19日
發明者徐峰林, 唐玉國 申請人:中國科學院長春光學精密機械與物理研究所