一種增強排氣型複合分子泵的製作方法
2023-05-14 06:48:01 1
專利名稱：一種增強排氣型複合分子泵的製作方法
技術領域：
本實用新型屬抽真空技術領域，具體說是關於能夠達到高真空，抽速很大並且體積很小 的增強排氣型複合分子泵技術。
背景技術：
當半導體產業出現後，要求分子泵能連續地大量排氣和獲得清潔的真空，經常需要渦輪 分子泵在lPa以上工作，但渦輪分子泵恰好在這個壓力範圍內抽速下降很多。為了使泵能在 高壓區域保持有較高的抽氣能力，在原有的渦輪分子泵的高壓側配置了螺旋槽式牽引分子泵， 將兩種泵的抽氣單元串聯組成一個整體，形成了一種寬域型的複合式分子泵。
以往在複合分子泵中的螺旋槽式牽引分子泵都是單級的，為了保證性能不變，要增大壓 縮比，就要適當增加螺旋槽的高度，但在高速旋轉的情況下會造成很大的變形，不符合小間 隙的要求。
另外，由於牽引分子泵抽速較小，使得氣體不能及時排出，造成局部高壓而使氣體返流， 泵的抽氣性能受到很大影響，實際抽速與理論抽速相差很大。現有真空泵技術的不能實現較 佳的排氣效果。
實用新型內容
針對上述現有真空泵技術抽速低、排氣效果不好的不足之處，本實用新型提供一種匯集 渦輪分子、螺旋槽牽引級分子和盤式牽引分子的原理，達到具有大抽速、高真空能力和增強 排氣能力的複合分子泵，該泵具有效率高、體積小、造價低的優點。
本實用新型解決其技術問題所採用的技術方案是包括泵殼、泵座、光軸、定子和轉子 體，轉子體由渦輪級轉子和螺旋槽牽引分子級轉子組成，光軸與轉子體連接，轉子體通過光 軸與真空泵的主軸連接。轉子體中渦輪級轉子位於螺旋槽牽引分子級轉子上方，螺旋槽牽引 分子級轉子下方連有增強排氣級轉子，增強排氣級轉子為光板；渦輪級轉子之間設有定子葉 片，螺旋槽牽引分子級轉子之間設有定子，增強排氣級轉子兩側設有定子。在增強排氣級轉
子下部排氣，排氣道與排氣口相連。
所述的渦輪級轉子至少為一級，可以有多級存在，轉子沿軸向排列，定子與轉子相配套。 所述的螺旋槽牽引分子級轉子至少為一級，可以有多級存在，定子與轉子相配套，轉子
由內向外沿徑向排列。
所述的渦輪級轉子與螺旋槽牽引分子級轉子為一體或者分體。一體指的是渦輪級轉子與螺旋槽牽引分子級轉子為一個轉子體，分體指的是渦輪級轉子與螺旋槽牽引分子級轉子之間分 開，通過螺釘、鉚釘等連接在一起。
所述的增強排氣級轉子是一級或多級串聯起來的光板，增強排氣級定子是螺旋形牽引風流 槽，其槽型是漸開線或阿基米德螺線形式。每兩個增強排氣級轉子套筒壁內側，設有與增強 排氣級轉子套筒壁相互插置的牽引套筒。與增強排氣級轉子套筒插置的牽引套筒，其內外壁 上設有螺旋肋筋，螺旋肋筋間構成牽引風流槽。
本實用新型通過轉子由渦輪級轉子、螺旋槽牽引分子級轉子和增強排氣級轉子組成，增 強排氣級轉子是一級或多級串聯起來的光板，增強排氣級轉子與定子相配合，將氣體排出， 以增強排氣。增強排氣級定子是螺旋形牽引風流槽，其槽型是漸開線或阿基米德螺線形式， 這種形狀加強了抽氣效果。本實用新型將盤式牽引分子泵的原理作為排氣級，實現增強排氣 的作用；轉子和定子相互配合形成氣道，使氣體排出，由於加入了由增強排氣級轉子和定子 構成的排氣泵，有效的將氣體排除，效率高。
本實用新型的有益效果是它匯集了拖動氣體分子運動和渦輪分子的原理，通過巧妙的 結構設計達到具有大抽速、高真空能力和增大排氣能力的複合分子泵，該泵具有效率高、體 積小、造價低的優點。
圖1為本實用新型一種實施例的總體結構示意圖2是本實用新型的一種實施例的轉子體和增強排氣級轉子主視結構示意圖3是本實用新型的一種實施例的螺旋槽牽引分子級定子和增強排氣級定子的結構示意
其中1吸氣口， 2吸氣口法蘭，3轉子體，4渦輪級定子葉片，5上軸承，6泵殼，7螺旋 槽牽引分子級定子，8水冷管，9增強排氣級轉子，10排氣口法蘭，ll增強排氣級定子，12 電機，13下軸承，14泵座，15油池。
具體實施方式
結合附圖對本實用新型做進一步描述
如圖1所示，為本實用新型一種實施例的總體結構示意圖，包括泵殼6、泵座14、光軸、 轉子體3和定子，電機12與泵座14相連，泵座14上設有定子，轉子體3與主軸通過光軸定 位，定子與泵殼6內部設有水冷管8，排氣道與排氣口法蘭10相連。轉子體3的套筒與定子 的套筒壁兩側相插置。定子上的套筒，其內外壁上設有牽引風流槽。轉子體3由渦輪級轉子 和螺旋槽牽引分子級轉子組成，轉子體通過光軸與主軸連接，轉子體中渦輪級轉子位於螺旋槽牽引分子級轉子上方，螺旋槽牽引分子級轉子下方連有增強排氣級轉子9，增強排氣級轉 子9為光板；渦輪級轉子之間設有渦輪級定子葉片4，螺旋槽牽引分子級轉子之間設有螺旋 槽牽引分子級定子7，增強排氣級轉子9兩側設有增強排氣級定子11。渦輪級轉子是五級，
渦輪級轉子沿軸向排列。螺旋槽牽引分子級轉子是三級，螺旋槽牽引分子級轉子由內向外沿
徑向排列。轉子體為一體結構，渦輪級轉子與螺旋槽牽引分子級轉子連為一體；增強排氣級 轉子9是一級光板，增強排氣級定子ll是螺旋形牽引風流槽，其槽型是阿基米德螺線形式。 氣體由吸氣口l進入泵內，由渦輪級轉子和渦輪級定子葉片4配'合抽氣實現較大的抽速。氣 體經過螺旋槽牽引分子級定子7和螺旋槽牽引分子級轉子進行壓縮。最後氣體通過增強排氣 級轉子9和增強排氣級定子11將氣體排出。本實用新型設成一體或分體的轉子體3，配以一 級或多級矩形槽式牽引分子級以增大壓縮比，以一級或多級增強排氣級作為排氣級布置在螺 旋槽牽引分子級下部。
本實用新型的另一種實施例，渦輪級轉子是七級，渦輪級轉子沿軸向排列。螺旋槽牽引 分子級轉子是五級，螺旋槽牽引分子級轉子由內向外沿徑向排列。轉子體為分體結構，渦輪 級轉子與螺旋槽牽引分子級轉子之間分開，用螺釘連接；增強排氣級轉子是三級串聯起來的 光板，增強排氣級定子ll是螺旋形牽引風流槽，其槽型是漸開線。
如圖2所示，本實用新型的一種實施例的轉子體和增強排氣級轉子主視結構示意圖，轉 子體包括渦輪級轉子和螺旋槽牽引分子級轉子，螺旋槽牽引分子級轉子下方連有增強排氣級 轉子，其中渦輪級轉子沿軸向排列；螺旋槽牽引分子級轉子為徑向排列的轉子；增強排氣級 轉子是一級或多級串聯起來的光板。
如圖3所示，是本實用新型的一種實施例的螺旋槽牽引分子級定子和增強排氣級定子的 結構示意圖，螺旋槽牽引分子級定子為牽引套筒，其內外壁上設有螺旋肋筋，螺旋肋筋間構 成牽引風流槽；增強排氣級定子是盤式牽引分子泵原理的螺旋形牽引風流槽。
權利要求1.一種增強排氣型複合分子泵，包括泵殼、泵座、光軸、轉子體和定子，其特徵是所述的轉子體由渦輪級轉子和螺旋槽牽引分子級轉子組成，所述的光軸與轉子體連接，轉子體中渦輪級轉子位於螺旋槽牽引分子級轉子上方，螺旋槽牽引分子級轉子下方連有增強排氣級轉子，增強排氣級轉子為光板；渦輪級轉子之間設有渦輪級定子葉片，螺旋槽牽引分子級轉子之間設有螺旋槽牽引分子級定子，增強排氣級轉子兩側設有增強排氣級定子。
2. 根據權利要求1所述的一種增強排氣型複合分子泵，其特徵在於所述的渦輪級轉子至少是 一級，渦輪級轉子沿軸向排列。
3. 根據權利要求1所述的一種增強排氣型複合分子泵，其特徵在於所述的螺旋槽牽引分子級 轉子至少是一級，螺旋槽牽引分子級轉子由內向外沿徑向排列。
4. 根據權利要求1所述的一種增強排氣型複合分子泵，其特徵在於所述的轉子體為一體或者 分體，所述的渦輪級轉子與螺旋槽牽引分子級轉子連為一體或者分體。
5. 根據權利要求1所述的一種增強排氣型複合分子泵，其特徵在於所述的增強排氣級轉子是 一級或多級串聯起來的光板，增強排氣級定子是螺旋形牽引風流槽，其槽型是漸開線或阿 基米德螺線形式。
專利摘要本實用新型涉及一種增強排氣型複合分子泵，涉及真空技術領域，包括泵殼、泵座、光軸、轉子體和定子，轉子體由渦輪級轉子和螺旋槽牽引分子級轉子組成，光軸與轉子體連接，轉子體中渦輪級轉子位於螺旋槽牽引分子級轉子上方，螺旋槽牽引分子級轉子下方連有增強排氣級轉子，增強排氣級轉子為光板；渦輪級轉子之間設有渦輪級定子葉片，螺旋槽牽引分子級轉子之間設有螺旋槽牽引分子級定子，增強排氣級轉子兩側設有增強排氣級定子。並匯集了拖動氣體分子運動和渦輪分子的原理，通過這種結構設計達到具有大抽速、高真空能力和增大排氣能力的複合分子泵，該泵具有效率高、體積小、造價低的優點。
文檔編號F04D29/32GK201292960SQ200820218780
公開日2009年8月19日 申請日期2008年10月31日 優先權日2008年10月31日
發明者坤 劉, 巴德純, 常學森, 濤 李 申請人:東北大學;成都南光機器有限公司