一種砷化鎵多晶尾料的合成利用方法

2023-05-05 18:24:36

專利名稱：一種砷化鎵多晶尾料的合成利用方法
技術領域：
本發明涉及多晶材料砷化鎵，特別是一種砷化鎵多晶尾料的合成利用 方法。
背景技術：
目前在利用水平梯度凝固法合成砷化鎵工藝中，會產生一部分富鎵狀 態的砷化鎵多晶尾料，按照現有的工藝方法這部分尾料無法得到利用，造 成嚴重的浪費，砷化鎵合成料的利用率在卯％左右。

發明內容
本發明的目的是提供一種砷化鎵合成材料利用率高的砷化鎵多晶尾料 的合成利用方法。
本發明的技術解決方案是以如下方式完成的， 一種砷化鎵多晶尾料的 合成利用方法，其特徵在於首先將砷化鎵多晶尾料表面處理乾淨，即用 水磨砂紙將砷化鎵多晶尾料表面的雜質及氧化層打磨掉，再用鹽酸與硝酸 按3: l配比液腐蝕3-5分鐘，達到表面光亮為準，二是對原料的配比進行 調整，使砷與鎵的重量比為1: 1，並加入砷化鎵總重量為0.5%的砷一齊 裝入石英管內進行合成，三是在合成生長過程中調整合成熱場的升溫速率 為2: 1，並保持石英管內的氣壓不高於一個大氣壓。用本發明的方法主要 是對原料重量比和熱場升溫速率進行了調整，不但使合成料的利用率達到 99%以上，而且有利於提高生產過程的安全性。
具體實施例方式
本發明是對現有技術的改進，即把過去丟棄的砷化鎵多晶尾料進行充 分利用。具體方法是，首先將砷化鎵多晶尾料表面進行處理，處理方法是 用水磨砂紙把上述尾料的表面雜質及氧化層打磨掉，然後用3: 1的鹽酸與 硝酸配比液腐蝕3-5分鐘，以達到表面光亮為準；二是對原料的配比進行 了調整，使砷與鎵的總重量比為1: 1，並加入砷化鎵總重量0.5%的砷， 一齊裝入石英管內進行合成；三是在合成中調整合成熱場的升溫速度為2: 1，並保持石英管內的氣壓不高於一個大氣壓，即可達到本發明的要求。
權利要求
1、一種砷化鎵多晶尾料的合成利用方法，其特徵在於首先將砷化鎵多晶尾料表面處理乾淨，即用水磨砂紙將砷化鎵多晶尾料表面的雜質及氧化層打磨掉，再用鹽酸與硝酸按3∶1配比液腐蝕3-5分鐘，達到表面光亮為準，二是對原料的配比進行調整，使砷與鎵的重量比為1∶1，並加入砷化鎵總重量為0.5％的砷一齊裝入石英管內進行合成，三是在合成生長過程中調整合成熱場的升溫速率為2∶1，並保持石英管內的氣壓不高於一個大氣壓。
全文摘要
本發明公開了一種砷化鎵多晶尾料的合成利用方法，本發明首先將砷化鎵多晶尾料表面處理乾淨，即用水磨砂紙將砷化鎵多晶尾料表面的雜質及氧化層打磨掉，再用鹽酸與硝酸按3∶1配比液腐蝕3-5分鐘，達到表面光亮為準，二是對原料的配比進行調整，使砷與鎵的重量比為1∶1，並加入砷化鎵總重量為0.5％的砷一齊裝入石英管內進行合成，三是在合成生長過程中調整合成熱場的升溫速率為2∶1，並保持石英管內的氣壓不高於一個大氣壓。用本發明的方法主要是對原料重量比和熱場升溫速率進行了調整，不但使合成料的利用率達到99％以上，而且有利於提高生產過程的安全性。
文檔編號C30B11/00GK101538741SQ20091006434
公開日2009年9月23日 申請日期2009年3月9日 優先權日2009年3月9日
發明者李玉平, 李百泉, 韓振坤 申請人:新鄉市神舟晶體科技發展有限公司