製備鋶鹽的方法及由此方法製備的鋶鹽的製作方法
2023-04-23 04:35:46 3
專利名稱：製備鋶鹽的方法及由此方法製備的鋶鹽的製作方法
技術領域：
本發明涉及製備鋶鹽的方法及由此方法製備的鋶鹽。更具體而言，本發明涉及制 備主要用在生酸劑等的製造中作為中間體的鋶鹽的方法，所述鋶鹽能夠通過簡化的製備工 序高產率地大量合成，還涉及由此方法製備的鋶鹽。
背景技術：
近年來，在使用光刻技術對半導體等進行精加工的領域中對具有較高解析度的光 致抗蝕劑有需求。適應此需求所開發出來的化學增強光致抗蝕劑組合物含有生酸劑。為了 生成具有提高了解析度和具有理想性能的抗蝕劑，迄今為止，已經發明了多種不同類型的 生酸劑。
例如，日本專利申請2006-257078(在下文中稱為"專利文獻1〃 )公開了由下式 (A)表示的生酸劑
[式A]
權利要求
1.一種製備鋶鹽的方法，所述方法包括使由下式(1)表示的化合物與醇和胺反應，獲得銨鹽；和 使所述銨鹽與還原劑和無機鹼反應，獲得由下式( 表示的化合物 [式1]
2.如權利要求1所述的製備鋶鹽的方法，其中所述胺是選自伯胺、仲胺、叔胺及其組合 中的任何一種。
3.如權利要求1所述的製備鋶鹽的方法，其中所述醇是由下式C3)表示的化合物，且所 述胺是由下式(4)表示的化合物[式3] R3OH [式4] NR4R5R6其中在式⑶和⑷中，R3表示選自烷基、環烷基、雜環烷基、烷氧基、芳基和雜芳基中的任何一種； R4至&各獨立地表示烷基、環烷基、雜環烷基、芳基和雜芳基；且 當&和&為烷基時，它們可連接在一起形成烴環。
4.如權利要求3所述的製備鋶鹽的方法，其中所述銨鹽是由下式(5)表示的化合物 [式5]N+R3R4R5Re-O Qz其中R1表示選自滷素原子、羥基、羧基、腈基、醛基、環氧基、烷基、環烷基、雜環烷基、芳基和雜芳基中的任何一種；Q1和A各獨立地表示選自氫原子、滷素原子和全氟烷基中的任何一種； R3表示選自烷基、環烷基、雜環烷基、烷氧基、芳基和雜芳基中的任何一種； R4至&各獨立地表示選自烷基、環烷基、雜環烷基、芳基和雜芳基中的任何一種； 當&和&為烷基時，它們可連接在一起形成烴環，且 η是1-10的整數。
5.如權利要求1所述的製備鋶鹽的方法，其中所述醇是選自甲醇、乙醇、丙醇、異丙醇、 正丁醇、異丁醇、叔丁醇、氧代丁醇、十一醇、羥基癸醇、庚醇、2-甲基-1-戊醇、烯丙醇、乙氧 羰基甲醇、甲氧基乙醇、1-甲氧基-2-丙醇、苄醇、苯乙醇、環己醇、薄荷醇、四氫糠醇、四氫 吡喃醇、氰基丁醇、4-羥基-2- 丁酮及其組合中的任何一種。
6.如權利要求1所述的製備鋶鹽的方法，其中所述還原劑是選自(CH2)40、NaBH4、 LiAlH4, BH3-THF, NaBH4-AlCl3^ NaBH4-LiCl、LiAl (OMe) 3 及其組合中的任何一種。
7.如權利要求1所述的製備鋶鹽的方法，其中所述無機鹼是由選自鹼金屬和鹼土金屬 中的任何一種陽離子和選自硫酸根離子、硝酸根離子、氯離子、溴離子、碘離子和硫氰酸根 離子中的任何一種陰離子形成的鹽。
8.由權利要求1-7中任一項所述的製備鋶鹽的方法製備的鋶鹽。
全文摘要
本發明涉及製備鋶鹽的方法及由此方法製備的鋶鹽。所述製備鋶鹽的方法包括使由下式(1)表示的化合物與醇和胺反應獲得銨鹽的第一步驟和使所述銨鹽與還原劑和無機鹼反應獲得由下式(2)表示的化合物的第二步驟[式1][式2]在式(1)和(2)中，R1和R2各獨立地表示選自滷素原子、羥基、羧基、腈基、醛基、環氧基、烷基、環烷基、雜環烷基、芳基和雜芳基中的任何一種；Q1和Q2各獨立地表示選自氫原子、滷素原子和全氟烷基中的任何一種；M表示選自Li、Na、K和Ag中的任何一種；且n是1-10的整數。該製備鋶鹽的方法涉及簡單的反應步驟，無需純化工序，且不產生反應中間物質在純化工序中粘附至反應容器導致產率降低的問題。
文檔編號C07C303/32GK102030686SQ201010285269
公開日2011年4月27日 申請日期2010年9月16日 優先權日2009年10月1日
發明者吳貞薰, 尹盛俊, 樸相昱, 李承宰, 韓俊熙, 高成保 申請人:錦湖石油化學株式會社