無汙染旋轉工作檯的製作方法

2023-04-23 11:05:41

專利名稱：無汙染旋轉工作檯的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種微電子加工裝置，特別是一種離子束刻蝕機使用的無 汙染旋轉工作檯。
背景技術：
在離子束刻蝕的工藝過程中，需要樣片在繞自身法線中心做自轉的同時， 還需要樣片能夠調整離子束的入射角，這就需要樣片在自轉的同時還要能繞以
樣片中心點為圓心並垂直於樣片法線方向(即離子束入射方向)旋轉0 9(T角。 由於整個的刻蝕過程都要在真空室中進行，而且在刻蝕的過程中會產生大量的 熱，採用水冷卻是較好的方法。在現有技術的設備中，由於解決不了電源線、 控制線以及水管等管線的進出真空室的難題，任其暴露於真空室中，給真空室帶 來汙染。

實用新型內容
為了解決現有技術存在的技術缺陷，本實用新型的目的在於提供一種無汙 染旋轉工作檯，它將工作檯的所有管線全部密封起來，降低真空室的汙染。 為了實現上述目的，本實用新型的技術方案是
一種無汙染旋轉工作檯，由密封外殼的轉動機構和水冷旋轉密封工作檯的 轉動機構組成，其中水冷旋轉密封工作檯的轉動機構被密封在密封外殼中，力矩電機的齒輪與水冷旋轉密封工作檯的傳動齒輪嚙合，水冷旋轉密封工作檯 轉軸由軸承、旋轉密封套和骨架型橡膠密封圈支撐，旋轉水冷接頭設置在密封 外殼中，所有的控制線路和水管都經過與密封外殼相連的密封走線管引出。
密封外殼的轉動機構是由步進電機、-渦輪、蝸杆、軸承和骨架型橡膠密封 圈構成的，密封走線管被軸承和骨架型橡膠密封圈可轉動地支撐在密封大法蘭 上。
渦輪固定到密封走線管上。
由於採用上述方案後，本實用新型在使用過程中，其傳動機構電機、齒輪、 支架、水冷機構、密封裝置、引線以及水管等能夠對真空系統造成汙染的裝置
都密封在密封外殼1及密封走線管8的外殼之中，從而形成了一個徹底無汙染 的環境。旋轉密封工作檯可實現繞樣片自身法線做自轉的同時，還能繞以樣片
中心點為圓心並垂直於樣片法線方向(即離子束入射方向)旋轉o 9(r角，實現
了汙染小、密封效果好、結構簡單的效果。

圖1是無汙染旋轉工作檯的側視剖面示意圖2是圖1的仰視圖，無汙染旋轉工作檯的轉動90°狀態；
圖3是圖1中A向的視圖。 附圖中標號-
1.密封外殼，2力矩電機.，3.齒輪，4.軸承，5.旋轉密封套，6.骨 架型橡膠密封圈，7水冷旋轉密封工作檯.，8密封走線管.，9.密封大法蘭， 10.軸承，11.骨架型橡膠密封圈，12.渦輪，13.蝸杆，14.步進電機，15
4旋轉水冷接頭，16.傳動齒輪。
具體實施方式

下面結合說明書附圖對本實用新型的具體實施方式
作進一步的說明。
整個的密封外殼1及攜帶的水冷式密封工作檯7都處於真空室中，但是密 封外殼1的內部確通過密封走線管8與外部大氣聯通。
如圖1中所示一種無汙染旋轉工作檯，由密封外殼1的轉動機構和水冷旋 轉密封工作檯7的轉動機構組成，其中水冷旋轉密封工作檯7的轉動機構被 密封在密封外殼1中，力矩電機2的齒輪3與水冷旋轉密封工作檯7的傳動齒 輪16嚙合，水冷旋轉密封工作檯7轉軸由軸承4、旋轉密封套5和骨架型橡膠 密封圈6支撐，旋轉水冷接頭15設置在密封外殼1中，所有的控制線路和水管 都經過與密封外殼1相連的密封走線管8引出。
如圖1和圖3，密封外殼1的轉動機構是工作檯的入射角調節機構，由步進 電機14、渦輪12、蝸杆13、軸承10和骨架型橡膠密封圈11構成的，密封走線 管8被軸承10和骨架型橡膠密封圈11可轉動地支撐在密封大法蘭9上。渦輪 12固定到密封走線管8上。密封大法蘭9通過密封圈固定到真空室的外壁上。
圖2所示為無汙染旋轉工作檯轉動90。狀態的示意。
在使用中，密封外殼1中，力矩電機2的齒輪3與水冷旋轉密封工作檯7 的傳動齒輪16嚙合，驅動水冷旋轉密封工作檯7轉動，水冷旋轉密封工作檯7 轉軸由軸承4、旋轉密封套5和骨架型橡膠密封圈6支撐，也保證密封外殼1 內部與真空室之間的密封隔絕。旋轉水冷接頭15設置在密封外殼1中，提供對 水冷旋轉密封工作檯7冷卻用水。為了使密封外殼1內部裝置工作所必要的線
5路和冷卻水管能夠不直接經過真空室，設置了密封走線管8將密封外殼1內部 與外界聯通，將所有的控制線路和水管都經過與密封外殼1相連的密封走線管8 引出。
為了調節離子束的入射角，需要密封外殼1能夠在真空室內作規定的旋轉 動作，因此，設置密封外殼1的轉動機構作為工作檯的入射角調節機構，密封 外殼1的轉動機構裝置在密封大法蘭9上，密封大法蘭9通過密封圈固定到真 空室的外壁上，使得密封走線管8既能夠靈活轉動，又能夠保證其外緣的密封。
由於上述設計，將保證了密封外殼1能繞以樣片中心為旋轉中心點並與密 封外殼1的中心線垂直的軸線在(T90。的範圍內旋轉，又使真空室內形成了一個 徹底無汙染的環境。
權利要求1、一種無汙染旋轉工作檯，由密封外殼(1)的轉動機構和水冷旋轉密封工作檯(7)的轉動機構組成，其特徵是水冷旋轉密封工作檯(7)的轉動機構被密封在密封外殼(1)中，力矩電機(2)的齒輪(3)與水冷旋轉密封工作檯(7)的傳動齒輪(16)嚙合，水冷旋轉密封工作檯(7)轉軸由軸承(4)、旋轉密封套(5)和骨架型橡膠密封圈(6)支撐，旋轉水冷接頭(15)設置在密封外殼(1)中，所有的控制線路和水管都經過與密封外殼(1)相連的密封走線管(8)引出。
2、 根據權利要求l所述的無汙染旋轉工作檯，其特徵在於密封外殼(1) 的轉動機構是由步進電機(14)、渦輪(12)、蝸杆(13)、軸承(10)和骨 架型橡膠密封圈(11)構成的，密封走線管(8)被軸承(10)和骨架型橡膠密 封圈(11)可轉動地支撐在密封大法蘭(9)上。
3、 根據權利要求2所述的無汙染旋轉工作檯，其特徵在於渦輪(12)固 定到密封走線管(8)上。
專利摘要無汙染旋轉工作檯，涉及微電子加工裝置，由密封外殼(1)的轉動機構和水冷旋轉密封工作檯(7)的轉動機構組成，水冷旋轉密封工作檯(7)的轉動機構被密封在密封外殼(1)中，由力矩電機(2)經齒輪(3)帶動水冷旋轉密封工作檯(7)旋轉；密封外殼(1)的轉動機構由步進電機(14)、蝸輪(12)、蝸杆(13)、軸承(10)和骨架型橡膠密封圈(11)構成，密封走線管(8)被軸承(10)和骨架型橡膠密封圈(11)可轉動地支撐在密封大法蘭上；控制線路和水管都經過與密封外殼(1)相連的密封走線管(8)引出。解決冷卻水管和線路對真空室的汙染問題。
文檔編號H01L21/00GK201397807SQ20092010819
公開日2010年2月3日 申請日期2009年5月20日 優先權日2009年5月20日
發明者紅 林, 梁聚寶, 薛志傑 申請人:北京金盛微納科技有限公司