帶吸氣劑的濺射離子複合泵的製作方法
2023-04-24 17:20:26
專利名稱：帶吸氣劑的濺射離子複合泵的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種獲得清潔超高真空的真空泵，尤其涉及一種帶吸氣 劑的濺射離子複合泵。
背景技術：
目前獲得清潔超高真空的真空泵一般有濺射離子泵和非蒸散吸氣劑泵。 濺射離子泵的抽氣機理是在強磁場和強電場作用下氣體電離，正離子猛烈轟 擊陰極鈦板，濺射出吸氣材料鈦，鈦澱積在陽極內壁和陰極板上，形成抽氣 鈦膜與活性氣體發生化學作用生成化合物，同時覆蓋掩埋惰性氣體，達到抽 除氣體的目的；基於濺射離子泵的工作原理，泵內必須有強磁場和強電場， 磁鐵和導磁鐵的重量佔泵總重量的70% ，使泵體十分笨重， 一臺抽速300 升/秒的離子泵重達69公斤，抽速質量比過小， 一定程度上限制了濺射離子 泵的應用範圍；而非蒸散吸氣劑泵具有結構簡單、體積小、重量輕、造價低、 操作安全可靠、維修方便、清潔無油等優點。特別適用於抽除氫氣。對氫抽 速500升/秒的非蒸散吸氣劑泵只有300克重。非蒸散吸氣劑泵的抽氣機理 是將鋯基合金粉末塗敷在金屬帶上製成鋯基合金粉末吸氣帶，工作時將合金 粉末吸氣帶加熱到40(TC左右，就能穩定地抽除活性氣體，既合金對活性氣 體的化學吸附；基於非蒸散吸氣劑泵的工作原理，現有非蒸散吸氣劑泵不能 抽除惰性氣體，且激活溫度在40(TC以上，必須配備加熱裝置，包括電源， 電流引入電極和溫度計等。因此濺射離子泵抽速質量比小，泵體十分笨重； 而非蒸散吸氣劑泵不能抽除惰性氣體，且激活溫度較高。發明內容本實用新型所要解決的技術問題是提供一種帶吸氣劑的濺射離子複合 泵，其真空度高，體積小，重量輕，抽速質量比高，能抽除惰性氣體。為解決上述技術問題，本實用新型帶吸氣劑的濺射離子複合泵包括箱 體、箱體內安裝有濺射離子泵，同時在箱體內還設置了以固定形式放置的吸 氣劑，並放置在箱體內與濺射離子泵相對的另一側；吸氣劑為鍍有鋯、釩、 鈦合金的金屬薄板；該薄板在箱體內有若干片成折摺平行排列，且薄板橫截 面成幵口矩形、開口梯形或圓弧形狀。由於本實用新型的帶吸氣劑的濺射離子複合泵採用了特殊的吸氣劑材 料，其激活溫度低，約為15(TC，與超高真空烘烤除氣溫度相當，不必配備 加熱裝置，吸氣劑金屬薄板製成合理的形狀與離子泵有機結合，因此本實用 新型帶吸氣劑的濺射離子複合泵抽氫能力提高，故極限真空度大大提高，抽 速質量比也獲得了很大提高。
以下結合附圖和實施方式對本實用新型作進一步的詳細說明 圖1為本實用新型帶吸氣劑的濺射離子複合泵的結構示意圖具體實施方式
圖1為本實用新型帶吸氣劑的濺射離子複合泵的結構示意圖，其包括箱 體l、箱體l內安裝有濺射離子泵2，同時在箱體l內還設置了以固定形式 放置的吸氣劑3;吸氣劑3由鍍有鋯、釩、鈦合金的金屬薄板組成，在箱體1內吸氣劑3安放在與濺射離子泵2相對的另一側，該吸氣劑金屬薄板在箱體內有四片平行排列，根據泵的具體技術數據，金屬薄板的數量可有增減， 可將金屬薄板成折摺地平行排列，且金屬薄板橫截面也可成開口矩形、開口 梯形或圓弧形狀。由於採用了鍍有鋯、釩、鈦合金的金屬薄板為吸氣劑材料，其激活溫度 低，並製成合理的形狀與離子泵有機結合，故本帶吸氣劑的濺射離子複合泵 極限真空度高，抽速質量比大。
權利要求1. 一種帶吸氣劑的濺射離子複合泵，包括箱體、所述箱體內的濺射離子泵，其特徵在於在所述箱體內還設置有固定形式放置的吸氣劑。
2. 根據權利要求1所述的一種帶吸氣劑的濺射離子複合泵，其特徵在 於所述的吸氣劑為鍍有鋯、釩、鈦合金的金屬薄板。
3. 根據權利要求1所述的一種帶吸氣劑的濺射離子複合泵，其特徵在 於所述的吸氣劑金屬薄板安放在箱體內與濺射離子泵相對的另一側。
4. 根據權利要求l、 2或3所述的一種帶吸氣劑的濺射離子複合泵，其 特徵在於所述的吸氣劑金屬薄板成折摺平行排列。
5. 根據權利要求l、 2或3所述的一種帶吸氣劑的濺射離子複合泵，其特徵在於所述的吸氣劑金屬薄板橫截面成開口矩形或梯形形狀。
6. 根據權利要求l、 2或3所述的一種帶吸氣劑的濺射離子複合泵，其特徵在於所述的吸氣劑金屬薄板橫截面成圓弧形狀。
專利摘要本實用新型公開了一種帶吸氣劑的濺射離子複合泵，包括箱體、箱體內安裝有濺射離子泵，同時在箱體內還設置了固定形式放置的吸氣劑，吸氣劑為鍍有鋯、釩、鈦合金的金屬薄板，該吸氣劑金屬薄板在箱內與濺射離子泵相對的另一側安放，並可多片成折摺平行排列，其橫截面成開口矩形、開口梯形或圓弧形狀；由於採用了特殊的吸氣劑材料，其激活溫度低，約為150℃，與超高真空烘烤除氣溫度相當，不必配備加熱裝置，吸氣劑製成合理的形狀與離子泵有機結合，因此本實用新型帶吸氣劑的濺射離子複合泵抽氫能力提高，故極限真空度大大提高，體積小，質量輕，抽速質量比大。
文檔編號F04B37/04GK201092948SQ20072007090
公開日2008年7月30日 申請日期2007年6月11日 優先權日2007年6月11日
發明者鄭主安 申請人:上海三井真空設備有限公司