清洗輥子的製作方法
2023-04-24 16:03:16 1
專利名稱：清洗輥子的製作方法
技術領域：
本發明涉及一種在清洗玻璃基板或半導體基板等各種基板的表面的清洗工序中使用的清洗輥子。
背景技術：
在對液晶用玻璃基板或半導體基板進行了成像處理等的各種處理之後，使用純水等的清洗液進行清洗處理。在該清洗工序中，使用植設有多根刷毛的清洗刷子，邊噴射清洗液邊利用刷毛的清掃作用來進行清洗(例如，參照專利文獻1)。
專利文獻1日本特開2001-204052號公報在上述專利文獻所述的清洗刷子中，由於將噴射清洗液的流體出口排列成圓周狀，所以從清洗刷子射出的清洗液滯留在基板表面上，發生應被清洗的成像劑等的物質汙染了的清洗液殘存在基板表面上的不良情況。另外，從清洗刷子噴射出的清洗液被線狀地供給到基板上，所以還會發生對移動的基板清洗不均的不良情況。
發明內容
本發明的目的在於提供一種不會使已被汙染的清洗液滯留在基板上，使清洗效果進一步得以改善的清洗輥子。
本發明的清洗輥子，具有具有構成清洗液的流路的內部空間的空心圓筒狀的輥子主體；在輥子主體的外周面上設置的刷毛；和將上述輥子主體可自由旋轉地連結於清洗液供給導管的連結構件，其特徵在於，上述輥子主體的內部空間與上述清洗液供給導管連接，在上述輥子主體上，沿輥子主體的軸線螺旋狀地形成與上述內部空間連通並噴射清洗液的多個噴射孔。
在本發明的清洗輥子中，由於噴射清洗液的噴射孔是沿輥子軸線形成為螺旋狀，所以從清洗輥子中噴射出的清洗液以將殘存在基板上的已被汙染的清洗液向斜側方而不是後方頂出的方式進行作用。其結果是，可以將殘存在基板上的已被汙染的清洗液迅速地從基板表面除去，並可消除已被汙染的清洗液滯留在基板上的不良情況。
另外，由於不是對基板線狀地噴射清洗液，而是向基板整面均勻地噴射清洗液，所以還可消除產生清洗不均的不良情況。
本發明的清洗輥子的優選實施例的特徵在於，將上述刷毛在相鄰的噴射孔之間，以與形成噴射孔的螺旋間距相同的間距植設成螺旋狀。通過均以相同的螺旋間距形成刷毛以及噴射孔，使向基板的側方頂出已被汙染的清洗液的作用更有效。
本發明的清洗輥子中，由於將清掃殘存在基板上的殘液的刷毛以及噴射清洗液的噴射孔均以螺旋狀形成，所以可以消除已被汙染的清洗液滯留在基板上的不良情況。而且，因向基板整面均勻地噴射清洗液，所以可以防止清洗不均的發生。
圖1是表示使用本發明的清洗輥子的清洗工序的一個例子的線型圖。
圖2是表示本發明的清洗輥子的一個例子的線型的俯視圖。
圖3是以包括圖2中所表示的輥子軸線的面切開表示的線型的剖視圖。
符號說明1...玻璃基板；2...搬運輥子；3a～3d...清洗輥子；10...輥子主體；11a、11b...軸承；12a、12b...連接器；13...馬達；14...導管；15...刷毛；16...噴射孔。
具體實施例方式
圖1是表示使用本發明的清洗輥子而將各種處理後的玻璃基板清洗的清洗工序的一例的線型圖。將應清洗的玻璃基板1利用搬運輥子2以一定的搬運速度向箭頭方向搬運。以夾持搬運中的玻璃基板1的方式，將上下一對清洗輥子配置兩列。將各清洗輥子3a、3b、3c、3d在上下方向可移動地安裝，並控制各清洗輥子的刷毛相對玻璃基板的壓入量。另外，將各清洗刷子的清洗方向設定為順時針方向，即與玻璃基板的搬運方向相反的方向。使清洗輥子3a、3b、3c、3d的刷毛與基板1的表面相接，並且利用其清掃力清洗玻璃基板的同時，從清洗輥子向玻璃基板噴射清洗液清洗玻璃基板的表面。所以，在搬運中，玻璃基板1被利用刷毛的機械清掃力清洗，同時還被噴射出的清洗液的清洗力清洗。
圖2以及圖3是表示本發明的清洗輥子的一個例子的圖，圖2是線型的外觀圖以及圖3是以包括輥子軸線的面切開表示的線型的剖視圖。
本發明的清洗輥子具有空心的輥子主體10，並且輥子主體10的兩端被軸承11a、11b可自由旋轉地支承。將連結有軸承11a的一側藉助連接器12a與馬達13連結。另外，將輥子主體的另一側藉助連接器12b可自由旋轉地連結清洗液供給導管14。此外，輥子主體10的一端側由密封構件12密封。將清洗液供給導管14與清洗液罐(未圖示)連接，並向輥子主體10的內部空間內供給清洗液。
在輥子主體10的外周面上，沿軸線方向螺旋狀且列狀地植設有例如尼龍制的刷毛15。通過將刷毛列植設於固定件上，並將該止動機構螺旋狀地安裝在軸的外周面上，可以將該刷毛列排列成列狀。
在輥子主體10上，螺旋狀地形成有用於噴射清洗液的多個噴射孔16。將噴射孔列的螺旋間距設定為與刷毛列的螺旋間距相同的間距，並形成為在相鄰的刷毛列間不與刷毛重合。
當玻璃基板經過刷輥3a～3d時，從上下方向受到清洗輥子的清洗作用，通過利用刷毛的機械清掃作用以及利用從清洗輥子中噴射出的清洗液的清洗作用就可除去殘存於玻璃基板的表面的殘留液。同時，由於清洗輥子沿與玻璃基板的搬運方向相反方向旋轉，所以殘存在玻璃基板上的已被汙染的清洗液被向玻璃基板的斜側方頂出，防止已被汙染的清洗液在基板上滯留的不良情況。
權利要求
1.一種清洗輥子，具有具有構成清洗液流路的內部空間的空心圓筒狀的輥子主體；在輥子主體的外周面上設置的刷毛；和將上述輥子主體可自由旋轉地連結於清洗液供給導管的連結構件，其特徵在於上述輥子主體的內部空間與上述清洗液供給導管連通，在上述輥子主體上，沿輥子主體的軸線螺旋狀地形成與上述內部空間連通並噴射清洗液的多個噴射孔。
2.如權利要求1所述的清洗輥子，其特徵在於將上述刷毛在輥子軸線方向相鄰的噴射孔之間，以與形成噴射孔的螺旋間距相同的間距植設成螺旋狀。
全文摘要
本發明提供一種不會使已被汙染的清洗液滯留在基板上，使清洗效果進一步地得到改善的清洗輥子。本發明的清洗輥子具有輥子主體(10)，並且在輥子主體的外周面上植設有刷毛(15)。輥子主體具有構成清洗液流路的內部空間，該內部空間藉助連接器(12b)與清洗液供給導管(14)連接。在輥子主體(10)上，沿輥子主體的軸線螺旋狀形成與上述內部空間連通並噴射清洗液的多個噴射孔(16)。
文檔編號A46B13/00GK101091604SQ20071011118
公開日2007年12月26日 申請日期2007年6月14日 優先權日2006年6月19日
發明者島井太, 河田茂 申請人:東京應化工業株式會社