金剛石內圓刀片鍍製成型裝置的製作方法
2023-05-08 09:30:36 1
專利名稱：金剛石內圓刀片鍍製成型裝置的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種金剛石內圓刀片鍍製成型裝置。
背景技術：
隨著IC產業和IT產業的不斷擴大和發展，半導體晶片的應用越來越廣，而超薄金剛石內圓刀片是加工半導體等材料的專用工具之一，為製得滿足工業要求的刀片，就必須需要相關的工裝，過去老式的鍍制工作都是手工操作，且夾具的可控性差，無法保證鍍制中多個因素的平衡，存在勞動強度大、生產效率低、原材輔料浪費大等缺點。
發明內容
本實用新型的目的是提供一種操作簡單，鍍制均勻且可自動化控制的金剛石內圓刀片鍍製成型裝置。
為實現上述目的，本實用新型的解決方案是一種金剛石內圓刀片鍍製成型裝置，由鍍腔、隔墊等組成，所述鍍腔的兩端分別設有密封鍍腔的上蓋和下蓋，鍍腔中部設有至少一對隔墊，相鄰隔墊之間設有刀片，所述上蓋、下蓋、刀片和隔墊組成鍍腔主體，上蓋和下蓋上分別設有通孔，所述通孔內設有貫穿鍍腔的芯軸，鍍腔內設有中空的外芯，外芯上連接有齒輪，芯軸在下蓋的一端上設有傳動齒輪，齒輪與傳動齒輪均與固定在下蓋上的同步齒輪組嚙合，外芯內設有中空的內芯，內芯的內壁為網孔狀，芯軸貫穿內芯與外芯，內芯與芯軸之間設置有鎳球，在內芯的一端設有封閉固定內芯的鈦蓋，外芯上設有排氣嘴，排氣嘴與鍍腔連通，芯軸的兩端分別設有進液孔和出液孔，進液孔和出液孔均與鍍腔連通，且出液孔與排氣嘴連通，上蓋上還設有與鍍腔連通的放液嘴，芯軸與上蓋的連接處設有鎖緊螺母，該鎖緊螺母與芯軸螺紋連接。
採用上述金剛石內圓刀片鍍製成型裝置，由於其獨特的星形齒輪結構和雙層芯裝置，使的該內芯起仿形電極作用，外芯起防止金剛石粉流出，鍍液可循環流動，鍍液的溫度、濃度均可控制，鍍腔在旋轉時外芯上的排氣嘴固定在特定的位置並且相對靜止，改變了過去老式的鍍制工作都是手工操作，可以很好的進行鍍制控制，減輕了勞動強度，提高了生產效率，降低了原材料的浪費，適應工業規模化生產的要求。
圖1是本實用新型實施例的結構示意圖；具體實施方式
如圖1所示，一種金剛石內圓刀片鍍製成型裝置，該裝置是將設有密封槽和螺紋的芯軸17裝好密封圈，芯軸17由金屬鈦製成，從下蓋7的通孔中穿入，並且在芯軸17後部穿入軸套11，軸套11上連有傳動齒輪12，然後依次沿芯軸17穿入外芯8，外芯8上連接有齒輪13，齒輪13與固定在下蓋7上的同步齒輪組9嚙合，傳動齒輪12與齒輪13分別與同步齒輪組9嚙合，形成星形齒輪結構，再穿入內芯14，內芯14的內壁為網孔狀，內芯14與芯軸17之間裝滿鎳球；穿入鈦蓋16，鈦蓋16與芯軸17上的螺紋配合連接，並使鈦蓋16將內芯14的一端旋緊固定，使內芯14形成仿形電極，使陽極和陰極之間電力線分布更均勻，從而保證鍍液中金屬離子的濃度及鍍制中刀片刃口鍍制的均勻性；將幾組刀體5和隔墊4組合好的工裝安裝在裝有密封環15的下蓋7上，並以芯軸17的軸心為圓心進行調整，然後將上蓋3穿入芯軸17，壓在安放好的刀體5與隔墊4組成的工裝上，芯軸17與上蓋3的連接處設有鎖緊螺母1，將芯軸17穿入鎖緊螺母1，該鎖緊螺母1與芯軸17螺紋連接，鎖緊螺母1與芯軸17螺紋連接的螺紋為梯形螺紋，在鎖緊螺母1與芯軸17螺紋連接的作用力下，上蓋3、下蓋7、刀片5和隔墊4連接在一起形成密封鍍腔；外芯8上設有排氣嘴6，排氣嘴6與鍍腔連通，芯軸17的兩端分別設有進液孔18和出液孔10，進液孔18和出液孔10均與鍍腔連通，且出液孔10與排氣嘴6連通；上蓋3上還設有與鍍腔連通的放液嘴2；通過星形齒輪結構調整外芯8，使外芯8上的排氣嘴6在鍍腔轉動時處於相對靜止狀態。在鍍制過程中，外部管路的連接管分別與芯軸17上的進液孔18與出液孔10連通，從進液孔18中通入鍍液和金剛石粉，鍍液進入鍍腔內並灌滿鍍腔，再經通過排氣嘴6流到出液孔10，由出液孔10流出，形成了一個可控的循環體系；由於該鍍制裝置採用的星形齒輪結構和雙層芯的設計，是金剛石粉始終保留在鍍腔內；上蓋3和下蓋7的截面呈梯形，其內壁為坡狀，確保了鍍制裝置在偏轉過程中，鍍腔內的金剛石粉最大限度的回流到刃口鍍制區域；鍍制結束後，殘留的鍍液及部分金剛石粉通過放液嘴2排盡。
權利要求1.一種金剛石內圓刀片鍍製成型裝置，由鍍腔、隔墊等組成，其特徵在於所述鍍腔的兩端分別設有密封鍍腔的上蓋(3)和下蓋(7)，鍍腔中部設有至少一對隔墊(4)，相鄰隔墊(4)之間設有刀片(5)，所述上蓋(3)、下蓋(7)、刀片(5)和隔墊(4)組成鍍腔主體，上蓋(3)和下蓋(7)上分別設有通孔，所述通孔內設有貫穿鍍腔的芯軸(17)，鍍腔內設有中空的外芯(8)，外芯(8)上連接有齒輪(13)，芯軸(17)在下蓋(7)的一端上設有傳動齒輪(2)，齒輪(13)與傳動齒輪(12)均與固定在下蓋(7)上的同步齒輪組(9)嚙合，外芯(8)內設有中空的內芯(14)，內芯(14)的內壁為網孔狀，芯軸(17)貫穿內芯(14)與外芯(8)，內芯(14)與芯軸(17)之間設置有鎳球，在內芯(14)的一端設有封閉固定內芯(14)的鈦蓋(16)，外芯(8)上設有排氣嘴(6)，排氣嘴(6)與鍍腔連通，芯軸(17)的兩端分別設有進液孔(18)和出液孔(10)，進液孔(18)和出液孔(10)均與鍍腔連通，且出液孔(10)與排氣嘴(6)連通，上蓋(3)上還設有與鍍腔連通的放液嘴(2)，芯軸(17)與上蓋(3)的連接處設有鎖緊螺母(1)，該鎖緊螺母(1)與芯軸(17)螺紋連接。
2.根據權利要求1所述的金剛石內圓刀片鍍製成型裝置，其特徵在於鎖緊螺母(1)與芯軸(17)螺紋連接的螺紋為梯形螺紋。
3.根據權利要求1所述的金剛石內圓刀片鍍製成型裝置，其特徵在於上蓋(3)和下蓋(7)的截面呈梯形，其內壁為坡狀。
專利摘要本實用新型公開了一種金剛石內圓刀片鍍製成型裝置，上蓋、下蓋、刀片和隔墊組成鍍腔主體，上蓋和下蓋上分別設有通孔，通孔內設有貫穿鍍腔的芯軸，鍍腔內設有外芯，外芯上連接有齒輪，芯軸在下蓋的一端上設有傳動齒輪，齒輪與傳動齒輪均與固定在下蓋上的同步齒輪組嚙合，外芯內設有中空的內芯，內芯與芯軸之間設置有鎳球，外芯上設有與鍍腔連通的排氣嘴，芯軸的兩端分別設有與鍍腔連通的進液孔和出液孔，出液孔與排氣嘴連通，上蓋上還設有與鍍腔連通的放液嘴。採用上述鍍制裝置，由於其獨特的星形齒輪結構和雙層芯裝置，使的該內芯起仿形電極作用，外芯起防止金剛石粉流出，鍍液可循環流動，鍍液的溫度、濃度均可控制，改變了過去老式的鍍制工作都是手工操作，減輕了勞動強度，提高了生產效率。
文檔編號C25D17/00GK2600454SQ03203020
公開日2004年1月21日 申請日期2003年1月30日 優先權日2003年1月30日
發明者姚立新, 趙玉國, 孟建平, 李晉湘, 李萬河 申請人:中國電子科技集團公司第四十五研究所