一種靶材塗銦加熱平臺的製作方法

2023-05-08 17:27:41 5

一種靶材塗銦加熱平臺的製作方法
【技術領域】
[0001 ]本實用新型涉及靶材塗銦平臺，具體涉及一種可更換發熱管均勻加熱靶材塗銦平臺O
【背景技術】
[0002]靶材是一種具有高附加價值的特種電子材料，主要使用在微電子、顯示器、存儲器以及光學鍍膜等產業上，市場對靶材濺射薄膜、ITO靶材和巨磁阻薄膜材料的需求量很大。
[0003]靶材塗銦是指將銦金屬融化後塗布在靶材表面。
[0004]目前靶材塗銦採用的加熱平臺都是澆鑄成型。有以下缺點:1、表面粗糙;2、加熱速度慢(加熱至200攝氏度時需要2小時);3、表面容易氧化;4、整體容易變形;5、發熱管不能更換;6、平臺表面溫差大(正負15度以上)，靶材容易受熱不均而出現裂紋。
【實用新型內容】
[0005]為克服現有技術的不足及存在的問題，本實用新型提供一種可以改善傳統靶材塗銦的加熱平臺結構。
[0006]本實用新型是通過以下技術方案實現的:
[0007]—種靶材塗銦加熱平臺，包括不鏽鋼框架、櫃體部分和安裝在不鏽鋼框架上部的加熱平臺；所述加熱平臺上設有孔，孔內裝有發熱管。
[0008]所述加熱平臺採用鋁合金板材壓鑄成型，加熱平臺上的孔為均勻分布，加熱平臺的邊緣設有匯流槽。
[0009]所述發熱管為單頭出線發熱管，發熱管與加熱平臺上的孔間隙配合。
[0010]所述加熱平臺上每一個孔內裝入一支發熱管。
[0011 ]所述不鏽鋼框架上還安裝有活動腳輪和平衡固定膠杯。
[0012]所述櫃體部分上還設有總開關、溫控器和指示燈。
[0013]本實用新型提供的一種靶材塗銦加熱平臺的支架採用不鏽鋼結構，堅固耐用；加熱平臺使用的壓鑄成型鋁合金板材表面可作精磨加工，表面光滑，能與靶材無縫接觸，熱傳遞快;鋁合金板材易於加工，發熱管均勻分布，因此加熱平臺的表面溫差小，在正負5攝氏度內，這樣靶材可均勻受熱；因加熱平臺採用鋁合金材料，表面不易氧化，正常加熱溫度範圍內整體熱變形量極小;發熱管是採用精密工藝製造的單頭出線發熱管，壓鑄成型的加熱平臺的合金鋁板孔精度高，發熱管可與加熱平臺的內孔精密配合;加熱平臺的每一個孔內插入一支發熱管，發熱管可以單獨更換。使用本實用新型改善了以往塗銦平臺表面粗燥、加熱速度慢、整體易變形、表面易氧化、平臺表面溫差大、發熱管不能更換的缺點。
【附圖說明】

[0014]圖1為本實用新型靶材塗銦加熱平臺結構示意圖。
[0015]圖中標號所示為:1-不鏽鋼框架，2-櫃體部分，3-加熱平臺，4-活動腳輪，5-平衡固定膠杯，6-總開關，7-溫控器，8-指示燈，9-發熱管，I O-匯流槽。
【具體實施方式】
[0016]為了便於本領域技術人員的理解，下面結合附圖對本實用新型作進一步的描述。
[0017]—種靶材塗銦加熱平臺包括不鏽鋼框架1、櫃體部分2和安裝在不鏽鋼框架I上部的加熱平臺3;所述加熱平臺3上設有孔，孔內裝有發熱管9。
[0018]如圖1所示，一種靶材塗銦加熱平臺的不鏽鋼框架I一般通過焊接工藝製造，以不鏽鋼框架I為支撐的櫃體部分2安裝在不鏽鋼框架I上，加熱平臺3通過螺栓連接固定在不鏽鋼框架I上。
[0019]加熱平臺3採用壓鑄成型高密度的鋁合金板材，加熱平臺3上的孔通過壓鑄一次成型或者在板材上通過後續鑽孔加工，加熱平臺3上的孔為均勻分布，孔內裝入發熱管9，發熱管9通電產熱，可使加熱平臺3均勻受熱。
[0020]加熱平臺3使用的壓鑄成型鋁合金板材表面作精磨加工，表面光滑，能與靶材無縫接觸，熱傳遞快。
[0021]所述加熱平臺3邊緣有匯流槽10，匯流槽10由壓鑄工藝一次成型。
[0022]加熱平臺3採用的發熱管9為精密工藝製造的單頭出線發熱管，加熱平臺3的孔加工精度高，因此發熱管9與加熱平臺3配合精密，傳熱效果好，使得加熱平臺3升溫快。
[0023]加熱平臺3上的每一個孔內裝入一支發熱管9，因此發熱管9可獨立快速更換。
[0024]不鏽鋼框架I上還安裝有活動腳輪4和平衡固定膠杯5，方便平臺的移動和平衡固定。
[0025]櫃體2上還設有總開關6、溫控器7和指示燈8，櫃體2內部設有控制和顯示電路，櫃體2表面還布置有控制和顯示用的按鈕、儀表和屏幕。
[0026]所述實施例為本實用新型較佳的實現方案，在不脫離本實用新型構思的前提下，只是對本實用新型作出直接的置換或等同的替換，均屬於本實用新型的保護範圍之內。
【主權項】
1.一種靶材塗銦加熱平臺，其特徵在於:包括不鏽鋼框架(I)、櫃體部分(2)和安裝在不鏽鋼框架(I)上部的加熱平臺(3);所述加熱平臺(3)上設有孔，孔內裝有發熱管(9)。2.根據權利要求1所述的靶材塗銦加熱平臺，其特徵在於:所述加熱平臺(3)採用鋁合金板材壓鑄成型，加熱平臺(3)上的孔為均勻分布，加熱平臺(3)的邊緣設有匯流槽(10)。3.根據權利要求2所述的靶材塗銦加熱平臺，其特徵在於:發熱管(9)為單頭出線發熱管，發熱管(9)與加熱平臺(3)上的孔間隙配合。4.根據權利要求3所述的靶材塗銦加熱平臺，其特徵在於:所述加熱平臺(3)上每一個孔內裝入一支發熱管(9)。5.根據權利要求1至4中任一項所述的靶材塗銦加熱平臺，其特徵在於:所述不鏽鋼框架(I)上還安裝有活動腳輪(4)和平衡固定膠杯(5)。6.根據權利要求1至4中任一項所述的靶材塗銦加熱平臺，其特徵在於:所述櫃體部分(2)上還設有總開關(6)、溫控器(7)和指示燈(8)。
【專利摘要】一種靶材塗銦加熱平臺，所述靶材塗銦過程是指將銦金屬融化後塗布在靶材表面。所述加熱平臺包括不鏽鋼框架，櫃體部分，以及安裝在不鏽鋼框架上部的加熱平臺；所述加熱平臺採用高密度的鋁合金板材壓鑄成型；所述加熱平臺採用的發熱管採用精密工藝製造的單頭出線發熱管，發熱管與平臺鋁板的均勻分布的插孔配合。由於以往靶材塗銦平臺表面粗燥、整體易變形、發熱管不能更換、平臺表面溫差大，本實用新型平臺採用壓鑄成型高密度的鋁合金板材，採用均勻分布的可更換單頭出線發熱管，改進了傳統加熱平臺的不足。
【IPC分類】H05B3/42
【公開號】CN205385619
【申請號】CN201521123024
【發明人】梁國雄
【申請人】廣州市番禺科進超聲波設備廠
【公開日】2016年7月13日
【申請日】2015年12月31日