微機電系統換能器封裝結構的製作方法
2023-05-08 11:26:56
專利名稱：微機電系統換能器封裝結構的製作方法
技術領域：
微機電系統換能器封裝結構
技術領域：
本實用新型涉及一種換能器封裝結構，尤其涉及一種微機電系統換能器封裝結 構。
背景技術：
隨著無線通訊的發展，全球行動電話用戶越來越多，用戶對行動電話的要求已不 僅滿足於通話，而且要能夠提供高質量的通話效果，尤其是目前移動多媒體技術的發展，移 動電話的通話質量更顯重要，行動電話的微機電系統換能器封裝結構作為行動電話的語音 拾取裝置，其設計好壞直接影響通話質量。而目前應用較多且性能較好的微機電系統換能器封裝結構是MEMS (Micro-Electr o-Mechanical-System Microphone)微機電系統換能器封裝結構。相關技術的MEMS微機 電系統換能器封裝結構(如圖1所示)包括上蓋1』、底板2』，以及連接上蓋1』和底板2』 並將兩者間隔開形成收容腔100』的側壁3』，在收容腔100』內安裝有換能器4』與控制電路 5』，換能器4』與控制電路5』電連接，底板2』上設有入聲孔10』，入聲孔10』由外向內孔徑 大小一致，入聲孔10』無任何保護，灰塵等髒物易通過入聲孔10』進入MEMS微機電系統換 能器封裝結構，導致產品使用壽命短。因此實有必要提供一種改良的微機電系統換能器封裝結構。
實用新型內容本實用新型要解決的技術問題在於提供一種具有防塵功能的微機電系統換能器 封裝結構，以提高微機電系統換能器封裝結構的壽命。一種微機電系統換能器封裝結構，包括上蓋、底板，以及連接上蓋和底板並將兩者 間隔開形成收容腔的側壁，其中，上蓋、底板、側壁構成一保護結構，在收容腔內安裝有換能 器與控制電路，換能器與控制電路電連接，在保護結構上設有接受外部聲音的入聲孔，入聲 孔孔徑由外界向收容腔逐漸減小優選的，所述孔徑最小為0. 1mm。優選的，所述底板包括與上蓋相對的內壁和與內壁相對的外壁，所述換能器和控 制電路均設置於底板內壁。優選的，換能器與控制電路通過綁定金線電連接。優選的，所述換能器包括一後聲腔，該後聲腔與入聲孔相通。本實用新型的有益效果在於由於入聲孔的錐形設計，所以該微機電系統換能器 封裝結構可以起到防塵、防水、防顆粒或光的功能，避免塵土、水、顆粒或光進入該微機電系 統換能器封裝結構損害內部元件，提高了產品的使用壽命。在本實用新型的一個優選實施例中，由於換能器和控制電路均設置在底板，換能 器的後聲腔與入聲孔相連，增大了微機電系統換能器封裝結構的後聲腔空間，所以該微機 電系統換能器封裝結構具有良好的靈敏度和頻響特性。
圖1是現有微機電系統換能器封裝結構剖視圖；圖2是本實用新型提供的微機電系統換能器封裝結構一個優選實施例的剖視圖。
具體實施方式
以下結合附圖和實施方式對本實用新型作進一步說明。參見圖2，在本實用新型提供的一個優選實施例中，微機電系統換能器封裝結構， 包括上蓋1、底板2，以及連接上蓋1和底板2並將兩者間隔開形成收容腔100的側壁3，在 收容腔100內安裝有換能器4與控制電路5，換能器4與控制電路5通過綁定金線電連接， 當然，也可以通過其他方式實現電連接。所述底板2包括與上蓋1相對的內壁21和與外界 接觸的外壁22，所述換能器4和控制電路5均設置於底板2內壁21，底板2上設有入聲孔 10，入聲孔10由外壁22向內壁21孔徑逐漸減小。所述孔徑最小為0. 1mm。所述換能器4 包括一後聲腔40，該後聲腔40與入聲孔10相通。在本實用新型的另外的實施方式中，換能器14和控制電路15也可以分別設置於 上蓋1，入聲孔也可以設置在上蓋或側壁上。以上所述的僅是本實用新型的實施方式，在此應當指出，對於本領域的普通技術 人員來說，在不脫離本實用新型創造構思的前提下，還可以做出改進，但這些均屬於本實用 新型的保護範圍。
權利要求一種微機電系統換能器封裝結構，包括上蓋、底板，以及連接上蓋和底板並將兩者間隔開形成收容腔的側壁，其中，上蓋、底板、側壁構成一保護結構，在收容腔內安裝有換能器與控制電路，換能器與控制電路電連接，在保護結構上設有接受外界聲音的入聲孔，其特徵在於所述入聲孔孔徑由外界向收容腔逐漸減小。
2.根據權利要求1所述的微機電系統換能器封裝結構，其特徵在於所述孔徑最小為 0. Imm0
3.根據權利要求1所述的微機電系統換能器封裝結構，其特徵在於所述底板包括與 上蓋相對的內壁和與內壁相對的外壁，所述換能器和控制電路均設置於底板內壁。
4.根據權利要求1所述的微機電系統換能器封裝結構，其特徵在於換能器與控制電 路通過綁定金線電連接。
5.根據權利要求1所述的微機電系統換能器封裝結構，其特徵在於所述換能器包括 一後聲腔，該後聲腔與入聲孔相通。
專利摘要本實用新型提供了微機電系統換能器封裝結構，包括上蓋、底板，以及連接上蓋和底板並將兩者間隔開形成收容腔的側壁，其中，上蓋、底板、側壁構成一保護結構，在收容腔內安裝有換能器與控制電路，換能器與控制電路電連接，在保護結構上設有接受外部聲音的入聲孔，入聲孔孔徑由外界向收容腔逐漸減小。本微機電系統換能器封裝結構可以提高產品的壽命。
文檔編號H04R23/00GK201639775SQ20092029681
公開日2010年11月17日 申請日期2009年12月31日 優先權日2009年12月31日
發明者王凱 申請人:瑞聲聲學科技(深圳)有限公司;瑞聲微電子科技(常州)有限公司