一種紫外通帶濾光片的製作方法

2023-05-08 07:51:16 1

一種紫外通帶濾光片的製作方法
【專利摘要】本實用新型公開一種紫外通帶濾光片，包括：基板（3）；膜層，包括依次交替沉積於所述基板（3）上的Ta2O5層（1）以及SiO2層（2）。本實用新型所述紫外通帶濾光片具有高的透過率以及環境穩定性，透過率可達到95%以上，波長穩定性小於1.0ppm/℃。
【專利說明】一種紫外通帶濾光片

【技術領域】
[0001] 本實用新型涉及一種濾光片，具體為一種紫外通帶濾光片。

【背景技術】
[0002] 紫外通帶濾光片是紫外光學儀器的一種重要的光學元件，而其中的窄帶濾光片的 主要作用是對光進行光譜選擇，使需要的光通過，不需要的波長的光則被截止。目前，這種 濾光片已經應用於科研、生產、軍事、國防等各個領域中。但是由於紫外材料的本徵吸收，實 現高的透過率對於紫外通帶濾光片來說具有相當高的難度。


【發明內容】

[0003] 針對上述技術問題，本實用新型公開一種紫外通帶濾光片，包括：基板3 ;膜層，包 括依次交替沉積於所述基板3上的Ta205層1以及Si02層2。
[0004] 優選的，所述Ta205層1以及Si02層2的膜層數分別為14層和13層。
[0005] 優選的，所述基板3為玻璃。
[0006] 本實用新型的有益效果是通過在基板上依次交替沉積多個高折射率膜層以及 多個低折射率膜層的結構，實現了不同波長的光的選擇性通過。本實用新型所述紫外 通帶濾光片具有高的透過率以及環境穩定性，透過率可達到95%以上，波長穩定性小於 1. 0ppm/°C 〇

【專利附圖】

【附圖說明】
[0007] 圖1是本實用新型所述紫外通帶濾光片的結構示意圖；
[0008] 圖2是本實用新型所述紫外通帶濾光片的波長（nm)_透過率（%)關係曲線圖。

【具體實施方式】
[0009] 下面結合附圖對本實用新型做進一步的詳細說明，以令本領域技術人員參照說明 書文字能夠據以實施。
[0010] 如圖1所示，本實用新型公開一種紫外通帶濾光片，包括：基板3 ;膜層，包括依次 交替沉積於所述基板3上的Ta205層1以及Si02層2。
[0011] 優選的，所述Ta205層1以及Si02層2的膜層數分別為14層和13層。
[0012] 優選的，所述基板3為玻璃。
[0013] 下面具體講述本實用新型所述紫外通帶濾光片。
[0014] 實施例1
[0015] 如圖1所示，本實用新型所述紫外通帶濾光片的基板3為玻璃，在所述基板3上依 次交替沉積多個Ta 205層以及Si02層。其中Ta205層的膜層數為14層，Si0 2層的膜層數為 13層。
[0016] 各層膜自上而下的厚度如下：
[0017] 1. 369H/0. 779L/1H/4L/1H/1L/1H/1L/1H/1L/1H/1L/1H/4L/1H/1L/1H/1L/1H/1L/1 H/1L/1H/4L/1H/1L/1H。
[0018] 其中，Η和L分別代表Ta205層（高折射率材料層）和Si0 2層（低折射率材料層） 的一個1/4波長光學厚度，Ta205層對應的折射率Hn = 2. 389, Si02層對應的折射率Ln = 1.523。本例中波長入=365_，1!1=1/4入!111;11^=1/4入1^。！1和1^前面的係數表示1/4 波長的倍數。
[0019] 如圖2所示，本實用新型所述紫外通帶濾光片，在波長365nm，光線垂直射入時，允 許365±5nm波長的光通過，而其它波長的光被隔離，即截止，實現了一種紫外光區域的高 透過率和高截止深度的光學通帶濾光片。本實用新型所述紫外通帶濾光片的透過率可達到 95%以上，波長穩定性小於1. 0ppm/°C。
[0020] 儘管本實用新型的實施方案已公開如上，但其並不僅僅限於說明書和實施方式中 所列運用，它完全可以被適用於各種適合本實用新型的領域，對於熟悉本領域的人員而言， 可容易地實現另外的修改，因此在不背離權利要求及等同範圍所限定的一般概念下，本實 用新型並不限於特定的細節和這裡示出與描述的圖例。
【權利要求】
1. 一種紫外通帶濾光片，其特徵在於，包括： 基板（3); 膜層，包括依次交替沉積於所述基板（3 )上的Ta205層（1)以及Si02層（2 )。
2. 如權利要求1所述的紫外通帶濾光片，其特徵在於：所述Ta205層（1)以及Si02層 (2)的膜層數分別為14層和13層。
3. 如權利要求1所述的紫外通帶濾光片，其特徵在於：所述基板（3)為玻璃。
【文檔編號】B32B9/04GK203849439SQ201420182122
【公開日】2014年9月24日 申請日期:2014年4月16日 優先權日:2014年4月16日
【發明者】王明利 申請人:蘇州奧科輝光電科技有限公司