單晶臥式反打定向儀的製作方法

2023-04-27 07:40:11

單晶臥式反打定向儀的製作方法
【專利摘要】單晶臥式反打定向儀，包括機架、工作檯、減速機、X射線發生器、光閘、閃爍探測器、轉接板、旋轉手輪、調整手輪。所述的減速機外設主動帶輪和調整手輪，調整手輪與主動帶輪同軸，減速機的輸入軸裝有從動帶輪，轉動調整手輪，主動帶輪帶動從動帶輪使減速機輸入軸旋轉，輸入軸旋轉使減速機輸出軸減速旋轉。轉接板與減速機輸出軸固定連接，X射線發生器及光閘固裝在轉接板上，位置可通過旋轉手輪改變。閃爍探測器連接支板可繞減速機輸出軸手動調整位置。工作檯安裝在機架上，工作檯可通過旋轉手輪360°旋轉。工作檯的下方設置有變壓器和穩壓器向X射線發生器供電。本實用新型具有結構簡單、使用方便、測量精度高等優點。
【專利說明】單晶臥式反打定向儀
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及X射線測量儀，特別是涉及應用X射線衍射原理，採用臥式結構及反打方式，用於各種單晶晶錠材料的單晶臥式反打定向儀。
【背景技術】
[0002]生長出來的各種直徑單晶晶錠在加工成晶棒、晶片前，需要先精確地測定單晶晶體角度、再確定棒端面及參考邊，再加工成晶片，要有與加工機機械相配套的定向儀，用來進行單晶晶錠材料的粘結定向，並提供產品要求的加工晶體原子面角度。傳統的X射線定向儀，其測角儀的樣品測量臺臺面狹小、承載能力不足、測量精度低，局限了單晶晶錠材料的應用規格範圍，使之無法粘結定向體積(直徑)較大的晶砣，無法滿足各種規格單晶晶錠材料多角度粘結定向，測量範圍小，測試及定向精度差，滿足不了各種直徑規格單晶生產的需要。
實用新型內容
[0003]本實用新型要解決的技術問題是，提供一種能夠不同規格單晶晶錠材料多角度測量，減少因基準面累加而產生的測量誤差，有效的提高被測晶體的測量精度，樣品臺可進行四方位調節和360°旋轉定向，延長樣品臺的使用壽命，可放置大尺寸、大重量晶棒，方便測量的單晶臥式反打定向儀。
[0004]採用的技術方案是:
[0005]單晶臥式反打定向儀，包括機架、蓋板、工作檯、減速機、X射線發生器、光閘、閃爍探測器、轉接板、旋轉手輪、調整手輪。所述的減速機外設主動帶輪和調整手輪，調整手輪與主動帶輪同軸，減速機的輸入軸裝有從動帶輪，主動帶輪通過齒形帶連接從動帶輪，轉動調整手輪，主動帶輪帶動從動帶輪使減速機輸入軸旋轉，輸入軸旋轉使減速機輸出軸減速旋轉。所述轉接板與減速機輸出軸固定連接，X射線發生器及光閘固裝在轉接板上，位置可通過旋轉手輪改變。所述閃爍探測器連接支板可繞減速機輸出軸手動調整位置。所述工作檯安裝在機架及蓋板上，工作檯可通過旋轉手輪360 °旋轉。工作檯的下方設置有變壓器和穩壓器向X射線發生器供電。
[0006]上述的工作檯上裝設有數顯裝置，減速機的輸出軸後端安裝有編碼器，由機架內部安裝電器控制。
[0007]本實用新型具有結構簡單、使用方便、測量精度高等優點。
[0008]本實用新型與現有技術相比具有以下優點:
[0009]1、結構簡單、使用方便、加工精度高等優點，解決了單晶晶錠只能定向一個角度的難題。
[0010]2、編碼器與主軸(減速機輸出軸)直聯，消除了其它傳動系統傳動角度間隙誤差，定向測量精度高。
[0011]3、可增加二維球面夾具體裝置，採用四方位球面墊、螺杆調節，使夾具體的調節方便鎖緊可靠。
[0012]4、工作檯是將放在夾具體的待測單晶晶錠用夾具體在X光下進行四方位反覆定向測量，工作檯360°旋轉，晶體的峰值都能達到測量精度，提高了晶體的測量定向精度。
[0013]5、本儀器電氣控制裝置為設定X光管電流大小，通過微安表確定晶體峰值精度，角度儀編碼器和迴轉工作檯聯接的編碼器與數顯表X軸、Y軸直接聯線，旋轉手輪精確的測量定向角度和迴轉工作檯旋轉360°每個位置的峰值精度。據用戶的需要即能定向正晶向，又能定向偏晶向。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0014]圖1是本實用新型的結構示意圖。
【具體實施方式】
[0015]單晶臥式反打定向儀，包括機架1、蓋板2、工作檯15、減速機8、X射線發生器3、光閘4、閃爍探測器17、轉接板5、旋轉手輪6、調整手輪14。所述的減速機8外設主動帶輪13和調整手輪14，調整手輪14與主動帶輪13同軸，減速機8的輸入軸10裝有從動帶輪11，主動帶輪13通過齒形帶12連接從動帶輪11，轉動調整手輪14，主動帶輪13帶動從動帶輪11使減速機輸入軸10旋轉，輸入軸旋轉使減速機輸出軸7減速旋轉。所述轉接板5與減速機輸出軸7固定連接，X射線發生器3及光閘4固裝在轉接板5上，位置可通過旋轉手輪6改變，X射線發生器3發生的X射線經光閘4照射到工作檯上放置的單晶工件9上，經單晶工件9將按布拉格方程反射的X射線被閃爍探測器17接收。所述閃爍探測器17連接支板16可繞減速機輸出軸手動調整位置。所述工作檯15安裝在機架I及蓋板2上，工作檯15可通過旋轉手輪360°旋轉，精確的測量定向角度和單晶工件9旋轉360°的每個位置的峰值精度，據用戶的需要即能定向單晶工件9的正晶向，又能定向偏晶向。工作檯上裝設有數顯裝置，減速機的輸出軸後端安裝有編碼器，由機架內部安裝電器控制。工作檯15的下方設置有變壓器和穩壓器向X射線發生器供電，構成單晶臥式反打定向儀。
【權利要求】
1.單晶臥式反打定向儀，包括機架(I)、蓋板(2)、工作檯(15 )、減速機(8 )、X射線發生器(3)、光閘(4)、閃爍探測器(17)、轉接板(5)、旋轉手輪(6)、調整手輪(14)，其特徵在於所述的減速機(8)外設主動帶輪(13)和調整手輪(14)，調整手輪(14)與主動帶輪(13)同軸，減速機(8 )的輸入軸(10 )裝有從動帶輪(11)，主動帶輪(13 )通過齒形帶(12 )連接從動帶輪(11)，轉動調整手輪(14)，主動帶輪(13)帶動從動帶輪(11)使減速機輸入軸(10)旋轉，輸入軸旋轉使減速機輸出軸(7)減速旋轉，所述轉接板(5)與減速機輸出軸(7)固定連接，X射線發生器(3)及光閘(4)固裝在轉接板(5)上，位置可通過旋轉手輪(6)改變，所述閃爍探測器(17)連接支板(16)可繞減速機輸出軸手動調整位置，所述工作檯(15)安裝在機架(I)及蓋板(2 )上，工作檯(15 )可通過旋轉手輪360 °旋轉，工作檯的下方設置有變壓器和穩壓器向X射線發生器供電。
2.根據權利要求1所述的單晶臥式反打定向儀，其特徵在於所述的工作檯(15)上裝設有數顯裝置，減速機的輸出軸後端安裝有編碼器，由機架內部安裝電器控制。
【文檔編號】G01N23/207GK203798749SQ201420191911
【公開日】2014年8月27日 申請日期:2014年4月21日 優先權日:2014年4月21日
【發明者】甄偉, 趙松彬 申請人:丹東新東方晶體儀器有限公司