藍寶石晶棒晶軸定位架的製作方法

2023-05-10 13:06:36 3

本技術屬於藍寶石晶片加工設備技術領域，具體涉及一種藍寶石晶棒晶軸定位架。

背景技術：

人造藍寶石晶體在結晶加工形成晶棒後，晶棒的軸向與組成晶棒的晶體的晶軸方向會略有偏差，這個偏差會導致後續加工出來的晶片晶軸不正，光線穿過晶片後散射光的量增大；為配套後續加工工序，對剛成形的晶棒首先要進行粗加工，將晶棒的側面打磨成圓柱面，將晶棒的兩端切出端面；經過粗磨加工的晶棒，為糾正晶棒圓柱的幾何軸向與晶軸方向的偏差，確保後續的晶棒切片加工中晶棒的晶軸方向與切出的晶片表面垂直，要對晶棒圓柱面進行精細地打磨，校正晶棒的圓柱軸向，使圓柱形晶棒的軸線與晶棒的晶體軸向一致。

現有技術中，本公司申請的專利《晶棒軸線定位裝置》，專利申請號201420299150.2，公開了一種晶棒軸線定位裝置，該裝置由底座和安裝在底座上的活動座兩部分組成，活動座底面中部的左右兩側用轉軸螺釘活動固定在底座上，活動座底面中部的前後兩端安裝有晶棒的傾斜調節螺釘，活動座的上部設計有晶棒的弧形固定槽，弧形固定槽的內側面的兩端軸線方向上，對稱安裝有晶棒的擺動調節條，固定螺釘上套裝有張緊彈簧，其前端穿過活動座的上邊固定在調節條的內側，擺動調節螺釘前端穿過活動座的上邊頂在調節條的內側前後兩端。使用時，將經過粗加工的晶棒固定在晶棒軸線定位裝置的弧形固定槽上，將該裝置放在晶軸檢測裝置下，通過觀察檢測數據，調節傾斜調節螺釘和擺動調節螺釘，使晶棒的晶軸方向與底座的軸線方向重合，之後保持晶棒位置不動，將底座裝到晶棒粘接架上，在晶棒的一端端面固定粘接固定座，使晶軸方向與固定座的端面垂直。

使用上述晶棒軸線定位裝置，只能用傾斜調節螺釘和擺動調節螺釘在兩個相互垂直的固定方向調節晶棒位置，操作人員進行調節時需要單手使用內六角工具，不斷調節多個不同的螺釘，調節點較多、晶棒定位困難。

技術實現要素：

本實用新型的目的是提供一種藍寶石晶棒晶軸定位架，解決現有技術中，晶棒軸向定位裝置存在調節點較多、定位困難、晶軸定位不準的問題。

實現本實用新型目的的技術方案是：一種藍寶石晶棒晶軸定位架，該定位架的圓形支架的底面呈圓形，底面上安裝有四根支柱，支柱上端固定安裝有固定環，在固定環內側，用兩顆在一條直線上的橫向螺釘安裝縱向擺動套，縱向擺動套內側，用兩顆在一條直線上的縱向螺釘安裝橫向擺動筒；晶棒安裝在兩塊弧形夾塊中，兩塊弧形夾塊的側邊用側螺釘連接，弧形夾塊的上折邊用頂螺釘固定在橫向擺動筒上口，圓形支架的四根支柱下段，分別安裝有晶棒軸線的調節螺釘，調節螺釘的尖端頂在橫向擺動筒下部。

採用本實用新型的技術方案，將晶棒固定在兩塊弧形夾塊中，再把夾塊安裝在晶棒定位裝置的圓形支架的橫向擺動筒中，即可將本裝置安裝到檢測裝置上調節晶棒的晶軸方向。由於在圓形支架上口，用兩顆在一條直線上的橫向螺釘安裝縱向擺動套，在縱向擺動套內，用兩顆在一條直線上的縱向螺釘安裝橫向擺動筒，在圓形支架下段四個方向用相互垂直的調節螺釘頂在橫向擺動筒下部，調節任意一條直線上的兩顆調節螺釘，縱向擺動套和橫向擺動筒可以分別在不同方向輕鬆擺動，使調節定位工作快速、輕巧、準確。

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖。

圖2為本實用新型的俯視結構示意圖。

具體實施方式

實施例，如圖1和圖2所示：一種藍寶石晶棒晶軸定位架，該定位架的圓形支架的底面1呈圓形，底面1上安裝有四根支柱4，支柱4上端固定安裝有固定環6，在固定環6內側，用兩顆在一條直線上的橫向螺釘12安裝縱向擺動套5，縱向擺動套5內側，用兩顆在一條直線上的縱向螺釘9安裝橫向擺動筒7；晶棒3安裝在兩塊弧形夾塊11中，兩塊弧形夾塊11的側邊用側螺釘10連接，弧形夾塊11的上折邊用頂螺釘8固定在橫向擺動筒7上口，圓形支架的四根支柱4下段，分別安裝有晶棒軸線的調節螺釘2，調節螺釘2的尖端頂在橫向擺動筒7下部。