臺面型固體放電管管芯的製作方法

2023-05-25 20:26:41 1

專利名稱：臺面型固體放電管管芯的製作方法
技術領域：
臺面型固體放電管管芯技術領域實用新型涉及一種用於過電壓保護的固體放電管，尤其涉及固體放電 管管芯的改進。 背承扶術現有臺面型固體放電管芯，結構如

圖1所示，在矽片基底3兩面，採 用平面工藝選擇性鏡像對稱擴散基區2和發射區1。這種面型固體放電管管 芯，由於基區2和發射區1交界面，承受較高反向電壓，雖然兩者結合表 面存在二氧化矽層作為鈍化保護，但受二氧化矽層鈍化最高電壓限制，加 上製作工藝限制，單個PN結的耐壓， 一般不超過400V，最優良製作工藝 也不會超過1000V:其次，交界面高溫性能不好，容易造成漏電，尤其是 使用時間長後，穩定性會下降。上述存在問題，雖然為行業技術人員所知 曉，但長期以來沒有得到有效解決，不足依然客觀存在。 實用新型內容實用新型的目的在於克服上述己有技術的不足，提供一種耐壓高，高 溫性能好的臺面型固體放電管芯。實用新型目的實現，主要改進是在平面型固體放電管管芯，表面的基 區和襯底區PN結交界面(4)處開有縱向槽，並在槽內填充鈍化玻璃粉， 經熔結定型形成電子鈍化玻璃體，從而克服現有技術的不足，實現實用新 型目的。具體說，實用新型臺面型固體放電管管芯，包括矽片基底兩面、 鏡像對稱擴散基區和發射區，其特徵在於管芯二表面的基區和襯底區PN結 交界面(4)開有縱向槽，槽內填充鈍化玻璃粉，經熔結定型形成電子鈍化 玻璃體。實用新型由於在平面型固體放電管管芯，表面的基區和襯底區PN結交 界面(4)處開有縱向槽，開槽施加玻璃粉，經熔結定型形成電子鈍化玻璃 體，玻璃體中的硼離子、磷離子形成了帶負電的離子團，對正電荷粘汙的 固定作用，以及玻璃體鈍化層厚度較平面工藝二氧化矽層厚數千倍，較二 氧化矽層具有更高的強度，使得鈍化保護效果大大提高，較現有技術大大
提高了 PN結的擊穿電壓和高溫性能，可以承受1600V以上電壓，以及在 高溫(例如80'C及以上)環境下工作，性能穩定，長期使用性能不下降， 高溫穩定性好。以下結合一個具體實施方式
，進一步說明實用新型。 關翻圖1為現有技術臺面型固體放電管管芯結構示意圖。 圖2為實用新型臺面型固體放電管管芯結構示意圖。實施例參見圖2，實用新型臺面型固體放電管管芯，在基底矽片3兩 面鏡像對稱擴散基區2和發射區1 ，再在管芯二表面的基區和襯底區PN結 交界面(4)，採用化學腐蝕方法腐蝕出縱向槽4.1和4.2，槽內填充鈍化玻 璃粉，經熔結定型形成電子鈍化玻璃體。
權利要求1、臺面型固體放電管管芯，包括矽片基底兩面、鏡像對稱擴散基區和發射區，其特徵在於管芯二表面的基區和襯底區PN結交界面(4)開有縱向槽，槽內填充鈍化玻璃粉，經熔結定型形成電子鈍化玻璃體。
專利摘要實用新型是關於對臺面型固體放電管管芯的改進，其特徵是管芯二表面的基區和襯底區PN結交界面(4)開有縱向槽，槽內填充鈍化玻璃粉，經熔結定型形成電子鈍化玻璃體。玻璃體中的硼離子、磷離子形成了帶負電的離子團，對正電荷粘汙的固定作用，以及玻璃體鈍化層厚度較平面工藝二氧化矽層厚數千倍，較二氧化矽層具有更高的強度，使得鈍化保護效果大大提高，較現有技術大大提高了PN結的擊穿電壓和高溫性能，可以承受1600V以上電壓，以及在高溫(例如80℃及以上)環境下工作，性能穩定，長期使用性能不下降，高溫穩定性好。
文檔編號H01L29/73GK201017887SQ20072003479
公開日2008年2月6日 申請日期2007年2月15日 優先權日2007年2月15日
發明者許志峰, 陳俊標, 陳夕寧 申請人:江蘇東光微電子股份有限公司