一種改進的平面靶材的製作方法

2023-05-24 06:47:56

專利名稱：一種改進的平面靶材的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種用於鍍膜的平面靶材。
背景技術：
現有的靶材綁定方法是將銅質的靶材背板放置於加熱爐上加熱至260°，然後按 規定尺寸塗上錫金屬層，將靶材加熱，最後將靶材按規定尺寸放置於靶材背板上，冷卻後， 一塊符合使用要求的平面靶材就綁定成功了。錫金屬層的作用就是靶材和靶材背板的粘接 劑。這類平面靶材有一個特點，此靶材的一面用真空蒸發鍍膜的方法蒸鍍一層錫金屬層作 為粘接層，另一面才是鍍膜使用層。該真空鍍膜用平面金屬靶材的價格昂貴，這導致國內企 業的生產成本居高不下。

實用新型內容針對上述問題，本實用新型旨在提供一種能降低成本的改進的平面靶材。為實現該技術目的，本實用新型的方案是一種改進的平面靶材，包括銅質的靶材 背板和正方形靶材，其特徵在於，所述靶材的表面有通過顆粒間含有錫金屬的拋光片軟拋 磨粘附上的錫金屬層，靶材通過所述錫金屬層粘接在靶材背板上。進口的ITO靶材不帶錫層的採購價格為628. 8美元/KG，而帶錫金屬層的採購價 格為674美元/KG。之間的差價為45. 2美元/KG，按照年產量為350萬片規模的生產線所 使用的靶材數量為1920KG，那麼，使用本方法，每年將可節省成本將達到86784美元(59萬 RMB),大大降低了採購成本。

圖1為本實用新型的爆炸圖。
具體實施方式
如圖1所示，本實用新型的一種改進的平面靶材，包括銅質的靶材背板1和正方形 靶材2，所述靶材的表面有通過顆粒間含有錫金屬的拋光片軟拋磨粘附上的錫金屬層3，靶 材2通過所述錫金屬層粘接在靶材背板1上。因而，在採購的時候訂購不經過真空蒸鍍錫金屬層的金屬靶材。採購回來後的靶 材在綁定之前要經過軟拋磨處理。用角磨機帶拋光片，高速旋轉中在錫塊上使拋光片的顆 粒間帶有一定的錫金屬，然後在堅硬的靶材表面進行軟拋磨，這樣就會在拋磨過的靶材表 面粘附一層錫金屬層，此金屬層滿足了綁定靶材時的附著力的需要，完全可以代替真空蒸 發鍍膜所蒸鍍的錫金屬層的作用。此種拋磨方法並不會破壞原有金屬靶材的各種尺寸參 數，並不影響靶材的使用壽命。
權利要求1. 一種改進的平面靶材，包括銅質的靶材背板和正方形靶材，其特徵在於，所述靶材的 表面有通過顆粒間含有錫金屬的拋光片軟拋磨粘附上的錫金屬層，靶材通過所述錫金屬層 粘接在靶材背板上。
專利摘要本實用新型公開了一種能降低成本的改進的平面靶材，包括銅質的靶材背板和正方形靶材，所述靶材的表面有通過顆粒間含有錫金屬的拋光片軟拋磨粘附上的錫金屬層，靶材通過所述錫金屬層粘接在靶材背板上。該方案使得在採購時訂購不經過真空蒸鍍錫金屬層的金屬靶材，自行將靶材在綁定之前要經過軟拋磨處理，這大大降低採購成本。
文檔編號C23C14/34GK201785479SQ20102010516
公開日2011年4月6日 申請日期2010年1月27日 優先權日2010年1月27日
發明者吳細標, 唐貴民, 王克斌, 田曉智, 胡偉華 申請人:深圳新南亞技術開發有限公司