一種複合分子泵的整體轉子的製作方法

2023-05-03 21:33:56 1

專利名稱：一種複合分子泵的整體轉子的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種複合分子泵的整體轉子。
背景技術：
分子泵一般有牽引分子泵、渦輪分子泵和複合分子泵等。牽引分子泵靠高速運動 的剛體表面來攜帶氣體分子實現抽氣，渦輪分子泵是以高速旋轉的動葉片和靜止的定葉片 相互配合來實現抽氣，複合分子泵是由渦輪級和牽引級組成的，兼具前兩種泵的優點。分子 泵的核心是轉子，不同的泵配備不同形式的轉子。渦輪分子泵的抽氣性能和使用壽命都與 轉子有很大關係。當轉子的工作頻率需要越過其固有頻率時，就會發生劇烈的動片共振，極 易損害設備。當泵口壓力突然升高(如大氣衝入)時，如果轉子的葉片很薄很長，在大氣壓 力作用下，會使動片與定片相接觸，使轉子葉片被打得七零八落，損壞嚴重。組合葉片雖然 加工容易，但是組裝過程中帶來的誤差，降低了轉子的迴轉精度，增加了平衡校正的難度， 進而影響泵的整體性能。鑑於上述原因，本實用新型所述的整體轉子有針對性的解決了上 述問題。
發明內容本實用新型所要解決的技術問題是，針對已有的複合分子泵的轉子的運轉不穩定 的問題，提供一種複合分子泵的整體轉子，其抽速大，壓縮比高，迴轉精度高，葉片強度高。本實用新型通過下列技術方案解決上述技術問題一種複合分子泵的整體轉子，包括渦輪葉片級和溝槽拖動級，所述的渦輪葉片級 和溝槽拖動級為一整體結構。所述的渦輪葉片級和溝槽拖動級採用鋁合金材料。所述的渦輪葉片級的葉片厚度從根部向外逐漸減小。所述的渦輪葉片級的葉片傾角在40度至12度之間，且呈逐漸變化的關係。本實用新型的優點是，複合分子泵的整體轉子使用一整塊材料加工而成，渦輪葉 片級和溝槽拖動級為一整體材料，渦輪葉片厚度自根部到邊緣厚度逐漸減小，抽氣溝槽自 頂向下深度逐漸減小，轉子固有頻率遠高於工作頻率，使用高強度鋁合金。

圖1為本實用新型的整體結構示意圖。圖中標記說明1——渦輪葉片級2——溝槽拖動級具體實施方式
圖1所示，一種複合分子泵的整體轉子，包括渦輪葉片級1和溝槽拖動級2，所述的 渦輪葉片級1和溝槽拖動級2為一整體結構。[0014]所述的渦輪葉片級1和溝槽拖動級2採用鋁合金材料。所述的渦輪葉片級1的葉片厚度從根部向外逐漸減小。所述的渦輪葉片級1的葉片傾角在40度至12度之間，渦輪葉片抽氣級1由8級 葉片組成，且呈逐漸變化的關係，前幾級具有大的抽速，後幾級具有大的壓縮比。溝槽拖動 級2由六條深度漸淺的螺旋溝槽組成。葉片和溝槽由高速四軸聯動數控銑床加工而成。
權利要求一種複合分子泵的整體轉子，包括渦輪葉片級和溝槽拖動級，其特徵在於所述的渦輪葉片級和溝槽拖動級為一整體結構。
2.根據權利要求1所述的一種複合分子泵的整體轉子，其特徵在於所述的渦輪葉片 級和溝槽拖動級採用鋁合金材料。
3.根據權利要求1所述的一種複合分子泵的整體轉子，其特徵在於所述的渦輪葉片 級的葉片厚度從根部向外逐漸減小。
4.根據權利要求1所述的一種複合分子泵的整體轉子，其特徵在於所述的渦輪葉片 級的葉片傾角在40度至12度之間，且呈逐漸變化的關係。
專利摘要本實用新型公開一種複合分子泵的整體轉子，包括渦輪葉片級和溝槽拖動級，渦輪葉片級和溝槽拖動級為一整體結構。其優點是渦輪葉片級和溝槽拖動級為一整體材料，渦輪葉片厚度自根部到邊緣厚度逐漸減小，抽氣溝槽自頂向下深度逐漸減小，轉子固有頻率遠高於工作頻率，使用高強度鋁合金。
文檔編號F04D29/02GK201615070SQ20102003274
公開日2010年10月27日 申請日期2010年1月5日 優先權日2010年1月5日
發明者郭盤林 申請人:上海三井真空設備有限公司