一種線切割機的製作方法

2023-05-04 06:08:31

專利名稱：一種線切割機的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種晶體矽切片設備，具體的說是一種線切割機。
背景技術：
目前，隨著光伏產業的蓬勃發展，佔光伏產品市場90%以上份額的主要材料晶體 矽的需求量，近些年幾乎以每年翻1 2番的速度增長。因此，矽片切割設備也成為了該領 域市場需求的重點。目前市場銷售和使用的矽片線切割機主要從國外進口，其工作原理是 以高強度冷拔鋼絲為切割載體，單根鋼絲一頭牽出纏繞於刻有螺旋槽的兩滾輪上，經收線 輪旋轉牽拉，同時，噴以經切割液充分分散的碳化矽磨粒；通過兩輪間帶有一定壓力鋼線的 直線運動，以及其運動過程所黏附、夾帶的磨粒的磨削作用，把用高強膠粘劑固定在機體的 晶體矽棒、錠切割成片。其切縫150 200iim，切片厚度約200iim(誤差正負20iim)。上述 線切割機還存在如下不足其一生產效率低，由於鋼線是以單線往復纏繞於兩滾輪螺旋槽 內並受力牽出，其破斷力僅為4KN;因此其設計線速度較低；該機雖一次可同時切數百片， 但一個切片周期在不斷線的條件下至少需8個小時。其二單位重量晶體矽的切片數量、切 片質量、矽損耗率等與光伏業、電子業期望的理想值仍有較大差距，由於切片過程碳化矽磨 粒是在完全自由態下被鋼線夾帶利用，從而使切縫寬度有一定範圍的不確定性，從而影響 和減少了單位重量晶體矽的切片數量，是導致矽總體損耗率仍約為50%和切片表面光潔度 較差的主要因素。其三物料消耗高，切片過程所用鋼線一次性通過矽棒、錠後即行報廢；炭 化矽磨料和切割液是在自由狀態下由鋼絲夾帶進入切縫而起磨礪作用，但由於切縫狹窄， 90%以上未參與磨礪而直接排放報廢，固定矽棒、錠的膠粘劑也為一次性消耗。因此，一臺 小型機每月僅物料消耗就在30萬元以上。以上矽片切片設備的不足之處，是造成光伏發電 行業建設費用和發電成本居高不下的主要原因之一。

實用新型內容本實用新型要解決的技術問題是提供一種線切割機，它不僅在生產過程環保、 能耗低，而且使得產品質量和精度均得到提升，生產效率提高了 200%，生產成本降低了 60%。本實用新型為解決上述技術問題的不足而採用的技術方案是一種線切割機，包 括機架、支撐平臺、升降裝置、液壓系統、抽真空系統、冷卻系統和電機，在支撐平臺上設有 切割總成、夾緊裝置和張緊機構，切割總成由一個主動輥輪和兩個從動輥輪及兩端的固定 端板構成，主動輥輪與兩個從動輥輪呈三角形設置，在主動輥輪和從動輥輪上均布設有獨 立的線槽，每一個線槽繞輥輪圓周面一周，並垂直於輥輪的軸線，且主動輥輪與從動輥輪設 置的線槽相對應，切割線環繞在主動輥輪和從動輥輪的線槽內，張緊機構設置在切割線的 一個側面上，所述的夾緊機構主要由驅動機構和夾緊平臺構成，其夾緊平臺呈中空結構，在 夾緊平臺的上板面上，均勻設有多個細孔，在夾緊平臺的側板上，設有與真空泵連接管路。所述的升降裝置，主要由固定框架、導軌和電機吊籃構成，固定框架設置在導軌之間，在固定框架下端設有液壓油缸，電機吊籃與固定框架連接。所述的固定端板，由連接杆固定連接，主動輥輪和從動輥輪設在兩個固定端板之 間。所述的切割總成上還設有主動輥輪導軌和從動輥輪導軌。所述的固定框架上設有導向槽，其導向槽的凹陷面與導軌的凸起面相貼合。所述的張緊機構，由張緊輥軸、支撐架和張緊彈簧組成，所述的張緊輥軸，為一個 金屬輥，其金屬輥的基體表面設有橡膠覆層。所述的電機，設在電機吊籃上。所述的電機通過傳動帶與主動輥輪連接。所述的電機與電機吊籃底板之間還設有減震板，減震板由一個支撐杆支撐，其減 震板的一個端面與電機吊籃的底板連接，減震板的另一端懸空，在電機吊籃底板外端的支 撐杆上還設有彈簧組件。所述的切割線，其基體為冷拔鋼線，在基體上鍍有金剛石層。本實用新型的有益效果是1、單位重量晶體矽切片數量多。以斷面lOOXlOOmm的矽錠為例晶體矽比重 2. 33，每mm矽錠可切3片，1kg的矽錠長度約為43mm，可切出129片合格矽片，所切片數是 目前所用(光)線切割機的200%。2、切割效率高。在切割機構上的主動輥輪和從動輥輪上分別對應設置多個 環形槽，如有效切割長度為333. 3mm的輥輪，可設置環形槽999個，環形槽的深、寬為 0.2X1. 33mm，兩個環形槽之間間隔為0. 2mm。此輥輪可掛切割線999根，一次可同時切1000 片，需時僅為10 15分鐘；切割效率是目前主流機型的數十倍。3、運轉過程穩定，切片質量高。本一種線切割機採用多項技術措施以保證切割設 備的平穩運行，如固定框架上設置的個導軌保證了切割機構在可控範圍只能上下移動；半 圓形主動和從動輥輪導軌的使用，可有效防止輥輪軸向位移和徑向跳動；電機底板軸和電 機吊籃與固定框架連接處均採用橡膠減震模塊和彈簧結構固定連接，最大程度限制和防止 電機運轉產生的震動、噪聲對設備平穩運行和切片質量的影響。同時，由於金剛石線是在具 有高表面光潔度模具的夾持下電鍍而成，其亦有很高的表面光潔度。在高穩定性和高質量 機、線的共同作用下，切出的矽片薄厚誤差不大於正負5 u m,切片質量相當於拋光片；對於 電子業用矽片而言，完全可以省卻切片拋光工序。4、物料消耗低。由於所用磨料金剛石是通過電沉積法固定在鋼線上，幾乎100%參 與摩檫切割，同時，僅用可循環使用的無離子水作切割冷卻液，而不用目前主流機型所使用 的、價格昂貴的切割液和固定矽材料所用的膠粘劑；另外，因採用封閉切割，其過程產生的 未經任何汙染的純淨矽晶體磨屑，經沉澱回收亦是一筆不菲的收入，總體算下來，該機每片 切割物料消耗(或成本)平均不到目前主流機型的30%。5、生產過程潔淨環保能耗低。該機在切片過程未使用任何對環境有害的化學品和 價格較貴的碳化矽磨料，除金剛石和部分鍍層是一次性消耗外，餘均可回收再循環利用；即 使磨耗的金剛石(成分為C)和鍍層(成分為金屬Ni、Co)以及磨屑(Si)均為冶煉優質鋼 不可或缺的添加劑。因此可說其產生過程是零排放。同時，該機電耗按片計算亦不到目前 主流機型的5%。[0020]6、夾緊裝置採用真空夾緊和機械夾緊兩種手段相結合，下端面採用真空夾緊，原 有設備中通常使用高強膠粘劑固定的方法，使用後的膠粘劑要麼隨廢料拋灑在車間外，汙 染嚴重；或者進入收集程序，從而使得企業內回收碳化矽磨粒時處理工藝複雜，回收難度 大。該技術創新不僅為企業省去購買高強膠粘劑的資金，又減少了汙染，還為後序的回收處 理提供了方便。

圖1是本實用新型的結構示意圖。圖2是圖1的A-A向剖視圖。圖3是本實用新型中升降裝置的結構示意圖。圖4是本實用新型中切割總成的結構示意圖。圖5是本實用新型中固定框架與切割總成得連接示意圖。圖6是本實用新型中夾緊裝置的結構示意圖。圖中標記1、支撐平臺，2、夾緊裝置，3、升降裝置，4、切割總成，5、固定框架，6、導 軌，7、電機吊籃，8、電機，9、機座，10、固定端板，11、主動輥輪，12、從動輥輪，13、切割線，14、 連接杆，15、主動輥輪導軌，16、從動輥輪導軌，17、彈簧組件，18、張緊輥軸，19、夾緊平臺， 20、手輪，21、冷卻水泵，22、真空泵，23、油泵，24、液壓油缸，25、活塞杆，26、緊固螺釘，27、水 箱，28、洩水面板，29、集水槽，30、齒輪傳動副，31、頂緊板，32、手柄，33、鎖緊裝置，34、張緊 機構，35、減震板，36、支撐杆。
具體實施方式
如圖1和圖2所示，一種線切割機主要由支撐平臺1、夾緊裝置2、升降裝置3、切割 總成4、冷卻系統和液壓系統構成，在支撐平臺1下部設有機座9，夾緊裝置2設置在支撐平 臺1上，在夾緊裝置2上方設有切割總成4，切割總成4設置在升降裝置3上，並通過升降 裝置3下端設置的液壓系統帶動，所述的液壓系統主要由油泵23、液壓油缸24和活塞杆25 構成。如圖3所示，所述升降裝置3主要由固定框架5、導軌6和電機吊籃7構成，固定框 架5設置在導軌之間，在固定框架5下端設有液壓油缸24和活塞杆25，電機吊籃7與固定 框架5連接，在切割過程中升降裝置3依靠其自身的重力下落壓在物料上，不需要另外提高 動力，降低了能耗。且其固定框架5上設有V形導向槽，其獨特形狀可以保證導軌6的凸出 面與導向槽的凹陷面相貼合，兩者之間不會發生晃動，使升降裝置3平穩下降，保證切片精 度和質量，切出的矽片表面薄厚誤差僅為5 u m。如圖4所示，所述的切割總成4主要由固定端板10、主動輥輪11、從動輥輪12、切 割線13和連接杆14構成，所述的主動輥輪11和從動輥輪12上對應設置多個環形槽，切割 線13環繞在主動輥輪11和從動輥輪12的環形槽內，固定端板10為一個三角形的整板，由 四個連接杆14將獨立的左右端板固定於主動輥輪11和從動輥輪12的兩端，並使左右端板 與輥輪連接為一個整體，其中的兩個連接杆14為中空結構，冷卻水泵21通過冷卻管與兩個 連接杆14連接，主要用於儲存冷卻液，在切割過程中用於冷卻切割線13和衝洗粉末狀顆 粒。
5[0031]如圖5所示，固定框架5與切割總成4的連接示意圖，所述的固定框架5上設有梯 形槽，其形狀、角度與固定端板10相匹配，便於迅速對位裝配和固定，將切割總成4的固定 端板10設置在固定框架5的梯形槽內，並通過緊固螺釘26固定即可，進一步說明其連接方 法固定框架5為兩個框架，同時將左固定端板和右固定端板分別設置在固定框架5的梯形 槽內，並通過緊固螺釘26固定，從而使得固定框架5與切割總成4呈一個整體，在固定框架 5上還設有張緊機構34。本實用新型，所述的切割總成4上還設有主動輥輪導軌15和從動輥輪導軌16，主 動輥輪導軌15設置在主動輥輪11的一端，因此，主動輥輪11在電機8帶動下，沿主動輥輪 導軌15運動，有效防止主動輥輪11的軸向位移和徑向跳動，為切片的精度提供了保證，從 動輥輪導軌16設置在從動輥輪12的一端，防止從動輥輪12的軸向位移和徑向跳動，同樣 保證了切片的質量，所述的主動輥輪導軌15和從動輥輪導軌16均與固定端板10連接。本實用新型，所述的的主動輥輪11，在其外表面沿軸向等距離設置多個環形槽，每 個環形槽尺寸、間隔相等，與其對應的從動輥輪12亦設置相同數量的環形槽，所述的環形 槽，深、寬度與電鍍金剛石線相匹配，兩個環形槽之間的間隔與期望切割的片厚一致。舉例 說明所述的的主動輥輪11，在其外表面沿軸向等距離設置999個環形槽，每個環形槽相互 平行且繞主動輥輪11 一周，在從動輥輪12上對應設置999個環形槽，每個環形槽相互平行 且繞從動輥輪12 —周，所述的環形槽，其深度為0. 2mm，環形槽的寬度可以剛好放進切割線 為最好，兩個環形槽之間的間隙為0. 2mm。本實用新型，所述的從動輥輪12可以設置兩個，主動輥輪11和從動輥輪12呈等 邊三角形布置，而且兩個從動輥輪呈水平方向設置在固定端板10之間。本實用新型，所述的切割線13為閉合的環狀線，其環繞在由主動輥輪11和從動輥 輪12構成等邊三角形的框架上，並設置在主動輥輪11和從動輥輪12上的環形槽內，且切 割線13的數量和主動輥輪11上的環形槽數量相等，因此在從動輥輪的下邊緣帶構成切割 線群，在該切割總成上如設置999根切割線，則每次切割可同時切出1000片，生產效率是目 前主流機型切割效率的數十倍。本實用新型，所述的切割線13，其基體為高強度冷拔鋼線，在基體上鍍有金剛石 層，所述的金剛石鍍層通過電沉積法將金剛石固定在鋼線上。本實用新型，所述的升降裝置3由下端設置的液壓系統帶動，由油泵23提供動力， 通過液壓油缸24帶動活塞杆25動作，因為活塞杆25上端球頭部設置在固定框架5下端的 球形槽內，因此可提升升降裝置3，並通過升降裝置3帶動切割總成4，提升穩定，切割過程 中，依靠升降裝置3和切割總成4的自身重力下落，實施對矽棒、錠的切割。本實用新型，所述的切割總成4，可選用電機8通過皮帶輪帶動主動輥輪11高速轉 動，利用旋轉運動產生的摩擦力帶動切割線群作圓周運動，並利用其底面群線對晶體矽棒、 錠進行切割，且在主動輥輪11的一端設有主動輥輪導軌15，在從動輥輪12的一端設有從動 輥輪導軌16，從而在運轉過程中可有效防止其軸向位移和徑向跳動，保證切片的質量。本實用新型，所述的張緊機構34由支撐架、張緊輥軸18、棘輪軸和扭簧構成，棘輪 軸設置在支撐架上，張緊輥軸18通過扭簧與棘輪軸連接，在切割線群的一側設有張緊輥軸 18，由於切割線是在鬆弛狀態下裝配入槽的，而切割時各切割線需要一定的張緊度才能工 作，因此，在切割線的一側設有張緊輥軸18，為了防止切割線和輥輪槽製造誤差造成各線張
6緊度鬆緊不一，所述的張緊輥軸18金屬基體上敷有橡膠層，利用橡膠的物理特性消除上述 製造誤差使各切割線均有基本一致的張緊度，因此，張緊輥軸18壓緊切割線時，橡膠層與 切割線接觸，張緊輥輪對切割群線的張緊力的鬆緊的調節，是通過安裝在固定框架棘輪軸 上的扭簧實現的，扭簧一端壓在張緊輥軸兩端的軸柄上，一端卡在棘輪齒上，轉動棘輪就可 實現對張緊力的調節。本實用新型，所述的電機8設置在電機吊籃7上，電機吊籃7通過連接杆與升降裝 置3的固定框架5連接，電機吊籃7與固定框架5連接處均採用橡膠減震模塊，電機吊籃7 隨升降裝置3上下移動，在電機8轉動過程中，電機自身的所發出的運轉震動和噪聲易通過 電機底板、電機吊籃和傳動帶傳導到固定框架和主動輥輪，引起切割機構發生顫動，進而影 響矽片切割精度和質量。因此，在電機8的底板下端設有減震板35，減震板35的一端與電 機吊籃7的底板以銷軸連接，減震板35的另一端為自由端，在其自由端的下端面設有支撐 杆36和彈簧組件17，藉此最大限度減輕電機震動、噪聲對切割機平穩運轉的影響，提高了 切片的綜合質量。如圖6所示，本實用新型中的夾緊裝置2，所述的夾緊裝置2採用機械夾持摩擦力 和真空吸附力兩種複合力，該機構主要由手輪20、齒輪傳動副30、頂緊板31、夾緊平臺19 和真空泵22構成，通過轉動手輪帶動齒輪傳動副旋轉將頂緊板進至所需位置，與夾緊平臺 19另一端的豎板將物料兩端夾緊，利用兩板平面與物料兩端面形成的摩擦力對物料進行固 定，並拉動手柄32利用鎖緊裝置33對齒輪傳動副進行鎖緊，防止頂緊板31受震動而鬆動， 所述的鎖緊裝置33由鎖緊偏心軸和鎖緊環構成；物料底面緊貼夾緊平臺19的上平面，夾緊 平臺為中空結構，上平面有數百個66mm的通孔，通過側面管嘴、管線與真空泵22連接，真 空泵22動作，夾緊平臺19內部形成負壓，利用此負壓力將物料下平面緊緊吸附在夾緊平臺 上。利用這兩種力的共同作用，保證了物料在切割過程中不會鬆動、脫落。採用此種手段改 進了原有設備中使用高強膠粘劑固定的方法，從而該設備省去了購買膠粘劑和資金和設置 膠粘劑的工序，不僅節約了金錢，還提高了生產速度。換句話說也就是提高了企業的競爭 力。本實用新型，所述的冷卻系統由冷卻水泵21、水箱27、洩水面板28、集水槽29、沉 澱水箱和兩根中空結構連接杆14構成。水泵進水口與水箱連接，出水口通過冷卻管與中空 結構連接杆連接，水泵開啟後，無離子水通過連接杆上的小孔均勻噴灑在切割線與矽材料 上對其進行冷卻，防止切割線高速運轉產生的摩擦熱燒損金剛石磨料和融蝕矽材料；冷卻 後的無離子水和磨屑經洩水面板和集水槽流入沉澱水箱，磨屑經重力沉澱於箱的下部，上 層清水經溢流孔流入水箱後經泵抽出，往復循環使用。因此本實用新型可循環使用的無離 子水作切割冷卻液，而不用目前主流機型所使用的、價格昂貴的切割液；另外，因是閉環切 割，其過程產生的未經任何汙染的純淨矽晶體磨屑，經沉澱回收亦是一筆不菲的收入。總體 算下來，該機每片切割物料消耗(或成本)平均不到目前主流機型的30%。由於現有設備為鋼線一頭牽出纏繞於刻有螺旋槽的兩滾輪上，經收線輪的旋轉 牽拉，同時，噴以含有大量碳化矽磨粒和一定粘度的切割液，通過兩輪間帶有一定壓力鋼線 的直線運動，以及其運動過程所黏附、夾帶的磨粒的磨削作用，把用高強膠粘劑固定的晶體 矽棒、錠切割成片。所以其使用的鋼線為一整條，當運行一段時間後，由於磨損原因，使得切 片的厚薄不一，質量不穩定，其次，當一處磨損嚴重時，將無法使用；從本實用新型可看出，在主動輥輪和從動輥輪上設有若干個環形槽，將整條鋼線斷開使用，分別將鋼線設置在若 幹個環形槽內，可以設置幾百根以上，每次切割，可同時切出幾百片，提高其生產效率，而且 使用的鋼線可以為新的鋼線，亦可以選擇現主流機一(光)線切割機使用過的廢棄鋼線， 使用時將其等長斷開後鍍上金剛石層，並將其焊接在主動輥輪和從動輥輪上，100%回收使 用，節約資源。本實用新型，所使用環狀線線徑與目前主流機型所用的線徑相同，其抗拉強度和 破斷力分別為4000N/mm2和45N，但由於是環狀結構其各強度較之單線提高了一倍，加上 電鍍後的鎳鈷鍍層所增加的至少30%的強度，就單切割線而言，其各種強度至少提高了 130% ；由於輥輪上的999根線是協同受力，其總抗拉強度和破斷力較之單線受力至少提高 1000倍。這就大大增強和保證了主機長周期連續作業的能力，避免或減少了目前主流機型 因頻繁斷線而停機的弊端。本產品主要用於多、單晶矽棒、錠切片，以及其他貴重非金屬硬脆材料，如各類寶 石、玉石、翡翠等切割成型用。本實用新型，其切割效率高，該機切割輥輪掛線999根以上，一次可同時切1000 片；每批次所需切割時間僅為10 15分鐘(含放、取料時間)，切割效率是目前主流機型 切割效率的數十倍；所切片數是目前所用(光)線切割機的200% ；以切矽片為例切割後 的矽片質量較好，傳統上使用的切割載體為無鍍層鋼線，其採用的方法是鋼線運動中夾帶 碳化矽磨粒使得物料被切割，從而使得切片光潔度較差，而且其薄度達不到要求，本實用新 型通過將升降裝置設置在滑動導軌之間，並在主動輥輪的一端設置主動輥輪導軌，使得線 切割機切出的矽片表面薄厚誤差僅為5 ym，切片質量相當於拋光片；對於電子業用矽片而 言，完全可以省卻切片拋光工序。綜上說明，證明本實用新型在技術上具有很大的先進性、可靠性和可行性；因此， 在全球可再生能源、綠色能源蓬勃發展，尤其是光伏產業高速發展的形式下，在低碳經濟快 速取代傳統經濟發展模式的大勢所趨下，該產品具有美好的大規模產業化前景。
權利要求一種線切割機，包括機架(9)、支撐平臺(1)、升降裝置(3)、液壓系統、抽真空系統、冷卻系統和電機(8)，其特徵是在支撐平臺(1)上設有切割總成(4)、夾緊裝置(2)和張緊機構(34)，切割總成(4)由一個主動輥輪(11)和兩個從動輥輪(12)及兩端的固定端板(10)構成，主動輥輪(11)與兩個從動輥輪(12)呈三角形設置，在主動輥輪(11)和從動輥輪(12)上均布設有獨立的線槽，每一個線槽繞輥輪圓周面一周，並垂直於輥輪的軸線，且主動輥輪(11)與從動輥輪(12)設置的線槽相對應，切割線(13)環繞在主動輥輪(11)和從動輥輪(12)的線槽內，張緊機構(34)設置在切割線(13)的一個側面上，所述的夾緊機構(2)主要由驅動機構和夾緊平臺(19)構成，其夾緊平臺(19)呈中空結構，在夾緊平臺(19)的上板面上，均勻設有多個細孔，在夾緊平臺(19)的側板上，設有與真空泵(22)連接管路。
2.根據權利要求1所述的一種線切割機，其特徵在於所述的升降裝置(3)，主要由固 定框架(5)、導軌(6)和電機吊籃(7)構成，固定框架(5)設置在導軌(6)之間，在固定框架 (5)下端設有液壓油缸，電機吊籃(7)與固定框架(5)連接。
3.根據權利要求1所述的一種線切割機，其特徵在於所述的固定端板(10)，由連接杆 (14)固定連接，主動輥輪(11)和從動輥輪(12)設在兩個固定端板(10)之間。
4.根據權利要求1所述的一種線切割機，其特徵在於所述的切割總成(4)上還設有 主動輥輪導軌(15)和從動輥輪導軌(16)。
5.根據權利要求2所述的一種線切割機，其特徵在於所述的固定框架(5)上設有導 向槽，其導向槽的凹陷面與導軌(6)的凸起面相貼合。
6.根據權利要求1所述的一種線切割機，其特徵在於所述的張緊機構(34)，由張緊輥 軸(18)、支撐架和張緊彈簧組成，所述的張緊輥軸(18)，為一個金屬輥，其金屬輥的基體表 面設有橡膠覆層。
7.根據權利要求1所述的一種線切割機，其特徵在於所述的電機(8)，設在電機吊籃 (7)上。
8.根據權利要求1所述的一種線切割機，其特徵在於所述的電機(8)通過傳動帶與 主動輥輪(11)連接。
9.根據權利要求1所述的一種線切割機，其特徵在於所述的電機(8)與電機吊籃(7) 底板之間還設有減震板(35)，減震板(35) —個端面與電機吊籃(7)的底板連接，減震板 (35)的另一端懸空，在減震板(35)下端還設有支撐杆(36和彈簧組件(17)。
10.根據權利要求1所述的一種線切割機，其特徵在於所述的切割線(13)，其基體為 鋼線，在基體上鍍有金剛石層。
專利摘要一種線切割機，涉及一種矽片切割設備，包括支撐平臺、夾緊裝置、升降裝置、切割總成和冷卻系統構成，夾緊裝置設置在支撐平臺上，在夾緊裝置上方設有切割總成，切割總成設置在升降裝置上，所述的升降裝置通過下端設置的液壓油缸驅動，本實用新型其切割效率高，該機切割輥輪掛線999根以上，一次可同時切1000片；每批次所需切割時間僅為10～15分鐘(含放、取料時間)，切割效率是目前主流機型切割效率的數十倍；所切片數是目前所用(光)線切割機的200％；切割後的矽片質量較好，而且在生產過程環保、能耗低，而且使得產品質量和精度均得到提升。
文檔編號H01L21/304GK201565845SQ200920353210
公開日2010年9月1日 申請日期2009年12月29日 優先權日2009年12月29日
發明者尚春祥 申請人:洛陽神合電子科技有限責任公司