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真空鍍膜裝載裝置的製作方法

2023-05-11 04:56:56

專利名稱:真空鍍膜裝載裝置的製作方法
技術領域:
本實用新型涉及一種真空鍍膜輔助設備技術領域,尤其是一種真空鍍膜裝載裝置。
背景技術:
Parylene真空鍍膜的基本工藝為白色顆粒或粉末狀parylene (聚對二甲苯基)材料在蒸發室被加熱到攝氏150-180度,直接升華為無色二聚體分子,進入裂解室被加熱到攝氏650-700度後產生裂解反應生成單分子狀態的對二甲基苯,然後高溫氣態的對二甲基苯在壓差作用下進入沉積室,在室溫條件下,對二甲苯基開始重新鍵結成為高分子形態的聚對二甲苯並附著與被塗產品及腔體的全部裸露表面上。塗覆產品時,其沉積腔室多採用立式結構,將某些產品(PCB板等)利用掛鈎懸吊在腔室內的支撐架上,塗覆後,除吊點外的其他部分因充分暴露於充滿parylene(聚對二甲苯基)單體分子的空間中而形成完整均勻的鍍膜;吊點處成為鍍膜盲點,但因該盲點多位於沒有保護必要的產品邊緣處,所以此種方式尚能滿足產品的鍍膜保護需求。但針對另一類環狀、管狀產品,比如環形線圈、鐵氧體環形磁芯等成同心圓結構的器件,因無特殊的抓點、吊點,故無法用鉤掛的方式實現無盲點的吊裝塗覆。

實用新型內容本實用新型的目的是提供一種真空鍍膜裝載裝置,解決了現有技術的上述不足。為了達到上述設計目的,本實用新型採用的技術方案如下—種真空鍍膜裝載裝置,包括調速電機、底盤、懸吊梁、頂盤和支承軸,所述底盤一側軸心處連接調速電機輸出軸端,所述底盤另一側設有頂盤,頂盤與底盤相對設置,底盤和頂盤上分別設有一一對應的孔,底盤和頂盤上對應的孔內設有懸吊梁;所述頂盤與底盤之間設有支承軸。所述支承軸兩端分別固定在頂盤與底盤軸心處。所述調速電機輸出軸端穿套在底盤的軸心處,且固定支承軸一端。所述懸吊梁兩端分別插入底盤和頂盤上對應的孔內。所述懸吊梁一端螺紋固定在頂盤的孔內。本實用新型所述的真空鍍膜裝載裝置的有益效果是環狀物內徑內各點暴露時間一致,即內壁各點塗覆厚度均勻一致,與外壁差別可忽略不計;調速電機可控制轉盤緩慢旋轉,使懸吊梁在產品內壁相對移動時,無滑動摩擦產生,不損害產品內壁,使各點塗覆均勻。

圖1為本實用新型實施例所述的真空鍍膜裝載裝置的示意圖;圖2為本實用新型實施例所述的真空鍍膜裝載裝置的側視圖;圖3為本實用新型實施例所述的真空鍍膜裝載裝置的局部示意圖。
具體實施方式

以下結合附圖對本實用新型的最佳實施方案作進一步的詳細的描述。如圖1-3所示,本實用新型實施例所述的真空鍍膜裝載裝置,包括調速電機1、底盤2、懸吊梁3、頂盤4和支承軸6,所述底盤2以不鏽鋼、合金或高強非金屬材料製成的具有一定厚度、直徑的圓盤,豎直使用,底盤2 —側軸心連接調速電機1輸出軸端,所述底盤2另一側設有頂盤4,頂盤4與底盤2相對設置,底盤2和頂盤4上分別設有一一對應的孔5,底盤2和頂盤4上對應的孔5內設有懸吊梁3 ;所述頂盤4與底盤2之間設有支承軸6,支承軸6兩端分別固定在頂盤4與底盤2軸心處。所述調速電機1輸出軸端穿套在底盤2的軸心處,且固定支承軸6 —端。所述懸吊梁3兩端分別插入底盤2和頂盤4上對應的孔5內;所述懸吊梁3 —端螺紋固定在頂盤4的孔5內,懸吊梁3另一端插套在與所述頂盤4的孔5對應底盤2上的孔5內。所述懸吊梁3以不鏽鋼、合金或高強非金屬材料製成的截面為標準圓形的細長圓杆,懸吊梁有各種尺寸直徑,但長度均與支撐軸6等長。所述頂盤4與底盤2材質相同,鑽有與底盤2相同的孔5 ;與底盤2相配裝於懸吊梁3組兩端,將其支撐、固定成為一個整體。使其在電機帶動下流暢旋轉。原理利用被塗產品的重力作用與環內懸吊梁3的向心公轉運動相結合,使懸吊梁3與環狀物內壁產生相對運動,形成環狀物在懸吊梁上勻速滾動的效果。所述的Parylene (聚對二甲苯基)真空鍍膜裝載裝置使用時1選擇懸吊梁3,為實現相對移動效應,使用時要求懸吊梁3外徑均小於圓環內徑, 故依每次所塗圓環不同,所選擇的的懸吊梁3也可能不同。2在底盤2上對應的孔5中插入或旋入懸吊梁3,組成懸吊梁組(各懸吊梁外徑不一定相同)。3將所塗產品(線圈、磁環等)陸續串入懸吊梁3,然後在頂端裝上與底盤2結構一致的頂盤4,用於固定各懸吊梁3。4試驗前,將該裝載機構橫置,即底盤2、頂盤4呈豎直狀態,盤上套有產品的各懸吊梁3呈水平狀態,裝入臥式沉積室內,底盤2固定於電機轉盤上。5試驗時,可調速電機1帶動底盤2,從而帶動整個裝載機構緩慢勻速旋轉,使圓環在懸吊梁3上相對滾動,產品各點均勻暴露在塗覆環境中,實現了鍍膜的一致性。本具體實施方式
只本實用新型的優選實施例,並不能對本實用新型進行限定,具體各項權利保護範圍由權利要求書限定。
權利要求1.一種真空鍍膜裝載裝置,其特徵在於包括調速電機、底盤、懸吊梁、頂盤和支承軸, 所述底盤一側軸心處連接調速電機輸出軸端,所述底盤另一側設有頂盤,頂盤與底盤相對設置,底盤和頂盤上分別設有一一對應的孔,底盤和頂盤上對應的孔內設有懸吊梁;所述頂盤與底盤之間設有支承軸。
2.根據權利要求1所述的真空鍍膜裝載裝置,其特徵在於所述支承軸兩端分別固定在頂盤與底盤軸心處。
3.根據權利要求1所述的真空鍍膜裝載裝置,其特徵在於所述調速電機輸出軸端穿套在底盤的軸心處,且固定支承軸一端。
4.根據權利要求1或2或3所述的真空鍍膜裝載裝置,其特徵在於所述懸吊梁兩端分別插入底盤和頂盤上對應的孔內。
5.根據權利要求1或2或3所述的真空鍍膜裝載裝置,其特徵在於所述懸吊梁一端螺紋固定在頂盤的孔內。
專利摘要本實用新型公開了一種真空鍍膜裝載裝置,包括調速電機、底盤、懸吊梁、頂盤和支承軸,所述底盤一側軸心處連接調速電機輸出軸端,所述底盤另一側設有頂盤,頂盤與底盤相對設置,底盤和頂盤上分別設有一一對應的孔,底盤和頂盤上對應的孔內設有懸吊梁;所述頂盤與底盤之間設有支承軸。
文檔編號C23C14/24GK202226909SQ20112029926
公開日2012年5月23日 申請日期2011年8月17日 優先權日2011年8月17日
發明者王春林 申請人:王春林

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