一種太陽能電池溼法刻蝕設備的排風裝置的製作方法

2023-09-11 16:43:40

專利名稱：一種太陽能電池溼法刻蝕設備的排風裝置的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種太陽能電池溼法刻蝕設備，特別是太陽能電池溼法刻蝕設備的排風系統。
技術背景 隨著太陽能電池溼法刻蝕技術的發展，漏電問題得到較好解決，同時碎片率較幹法刻蝕有較大改善，且背面刻蝕後形成拋光面，有利於電性能提升。溼法刻蝕設備廣泛應用於生產中，如SCHMID刻蝕機通過滾輪沾液的形式將刻蝕液帶到矽片背面(非擴散面)，通過化學反應將背面及邊緣的PN結去除，使正反面PN結斷開，減小漏電。但其排風方式為管式排風，即在每根沾液滾輪兩邊均有滾輪排風管，抽除揮發的酸氣，然後通過匯流連接管將酸氣匯集到槽壁排風管內抽離設備。此種排風方式加速了酸的揮發，易將大量酸氣及反應中間產物抽離，滾輪粘帶上來的酸還沒有跟矽片充分反應即被抽走，致使沾液滾輪處於較乾燥狀態，矽片背面及邊緣的PN結不能充分反應而被完全去除，漏電增大，同時酸的耗量增大,增加生產成本。

實用新型內容本實用新型的目的在於提供一種太陽能電池溼法刻蝕設備的排風系統，減緩酸氣抽離速度，減少酸氣抽離量，使沾液滾輪處於溼潤狀態，矽片與酸反應更充分，提高生產效率，節約成本。本實用新型的技術方案是一種太陽能電池溼法刻蝕設備的排風系統，包括設置在設備刻蝕槽內的沾液滾輪，設置在沾液滾輪的兩邊滾輪排風管，壁排風管，其中所述壁排風管固定在刻蝕槽內壁，其一端開口與刻蝕槽內氣體相通，另一端與設備的抽氣系統連接，所述滾輪排風管與設備的抽氣系統斷開。所述壁排風管的開口端與收集器活動連接，所述收集器呈喇叭形。本實用新型在現有的刻蝕設備上，拆除連接滾輪排風管與壁排風管的匯流連接管，使滾輪排風管失去排風的作用，只改變了排風方式，使反應中間產物能有效的達到激活溶液的作用，降低酸霧揮發，並能夠使刻蝕片腐蝕速度加快，腐蝕均勻性提高，提高刻蝕效果，降低成品電池片漏電。

圖I是本實用新型刻蝕槽內結構俯視示意圖；圖2是本實用新型的壁排風管開口端的結構示意圖；圖中1_壁排風管，2-滾輪排風管，3-沾液滾輪，4-收集器。
具體實施方式
以下結合附圖對本實用新型作進一步詳細說明。[0011]如圖1、2，本實用新型提供的一種太陽能電池溼法刻蝕設備的排風系統，包括設置在設備刻蝕槽內的沾液滾輪3，設置在沾液滾輪的兩邊滾輪排風管2，壁排風管1，其中壁排風管I固定在刻蝕槽內壁，壁排風管I 一端開口與刻蝕槽內氣體相通，另一端與設備的抽氣系統連接；所述滾輪排風管2與設備的抽氣系統斷開。所述壁排風管I的開口端與收集器4活動連接，所述收集器4呈喇叭形。這種壁式排風，減緩了酸氣抽離速度，減少了酸氣抽離量，沾液滾輪3處於溼潤狀態，酸在滾輪上的停留時間更久，矽片與酸反應更充分，腐蝕速率加快，腐蝕更均勻，提高 刻蝕效果，減小漏電，同時減少了酸耗量，節約成本。本實用新型是在現有刻蝕設備上進行改造，拆除連接滾輪排風管與壁排風管處的匯流連接管，保留原有的滾輪排風管，用其維持刻蝕槽內液位高低，保證刻蝕效果，同時調整設備的排風系統控制參數，使壁排風管的排風量在600m3/h 900m3/h之間，為了達到理想的排風效果，壁排風管I的開口端的收集器4呈喇叭形。本實用新型結構簡單、可靠，在現有刻蝕設備上，只需拆除連接滾輪排風管與壁排風管處的匯流連接管，使刻蝕槽內的酸氣由槽壁上的排風管抽離；改造簡單。使反應中間產物能有效的達到激活溶液，降低酸霧揮發，提高刻蝕效率，腐蝕更均勻，刻蝕效果更好，降低成品電池片漏電率，節約生產成本。當然，本實用新型還可有其它多種實施例，在不背離本實用新型精神及其實質的情況下，熟悉本領域的技術人員當可根據本實用新型做出各種相應的改變和變形，但這些相應的改變和變形都應屬於本實用新型所附的權利要求的保護範圍。
權利要求1.一種太陽能電池溼法刻蝕設備的排風裝置，包括設置在設備刻蝕槽內的沾液滾輪(3)，設置在沾液滾輪(3)的兩邊滾輪排風管(2)，壁排風管(I)，其特徵在於所述壁排風管(I)固定在刻蝕槽內壁，其一端開口與刻蝕槽內氣體相通，另一端與設備的抽氣系統連接，所述滾輪排風管(2)與設備的抽氣系統斷開。
2.根據權利要求I所述的太陽能電池溼法刻蝕設備的排風裝置，其特徵在於所述壁排風管(I)的開口端與收集器(4)活動連接，所述收集器(4)呈喇叭形。
專利摘要本實用新型提供一種太陽能電池溼法刻蝕設備的排風裝置，包括設置在設備刻蝕槽內的沾液滾輪,設置在沾液滾輪的兩邊滾輪排風管,壁排風管，其中所述壁排風管固定在刻蝕槽內壁，其一端開口與刻蝕槽內氣體相通，另一端與設備的抽氣系統連接，所述滾輪排風管與設備的抽氣系統斷開；所述壁排風管的開口端與收集器活動連接,所述收集器呈喇叭形。本實用新型結構簡單、可靠，在現有的刻蝕設備上，改變了排風方式，減緩酸氣抽離速度，減少酸氣抽離量，使沾液滾輪處於溼潤狀態，矽片與酸反應更充分,腐蝕速率加快，腐蝕更均勻，提高刻蝕效果，減小漏電，同時減少了酸耗量，節約成本。
文檔編號H01L31/18GK202380092SQ20112049534
公開日2012年8月15日 申請日期2011年12月2日 優先權日2011年12月2日
發明者劉凱, 匡成國, 張鳳鳴, 張恆, 徐濤, 李質磊, 盛雯婷, 羅存義 申請人:保定天威集團有限公司, 天威新能源控股有限公司