一種應用於光刻機系統中的兼容可替代型磁帶機的製作方法

2023-09-11 13:24:45 2

本實用新型涉及半導體集成電路製造領域，且特別涉及一種應用於光刻機系統中的兼容可替代型磁帶機。

背景技術：

光刻機系統中的磁帶機主要用於機臺重要數據的大量複製和備份，對設備的安裝、調試、使用和維護管理起著重要作用，而且操作使用簡便易行。但一旦光刻機使用年久，磁帶機常會故障和損壞，而備件經常停產和缺貨，維修的零件也稀缺，價高且供貨周期很長。因此使用現有兼容替代備件就是一個必須課題。

技術實現要素：

本實用新型提出一種應用於光刻機系統中的兼容可替代型磁帶機，使得特種光刻機系統或其他DEC小型機中所需的磁帶機可以兼容使用。

為了達到上述目的，本實用新型提出一種應用於光刻機系統中的兼容可替代型磁帶機，包括：

外置磁帶機；

SCSI接口、68針轉50針接頭和50針SCSI數據線，連接於所述外置磁帶機；

開關模塊，設置於所述外置磁帶機上。

進一步的，所述外置磁帶機兼容DDS2，DDS3和DDS4磁帶。

進一步的，所述外置磁帶機為兼容型DDS4外置磁帶機。

進一步的，所述50針SCSI數據線連接於光刻機主電腦。

進一步的，所述開關模塊具有多個開關，所述多個開關通過設置兼容多型號光刻機主電腦。

本實用新型提出的應用於光刻機系統中的兼容可替代型磁帶機，採用外置磁帶機並通過轉接頭連接於光刻機主電腦，可兼容DDS2，DDS3和DDS4磁帶，同時在外置磁帶機上設置開關模塊，通過不同的開關設置兼容多型號光刻機主電腦，使得特種光刻機系統或其他DEC小型機中所需的磁帶機可以兼容使用。

附圖說明

圖1所示為本實用新型較佳實施例的兼容可替代型磁帶機結構示意圖。

具體實施方式

以下結合附圖給出本實用新型的具體實施方式，但本實用新型不限於以下的實施方式。根據下面說明和權利要求書，本實用新型的優點和特徵將更清楚。需說明的是，附圖均採用非常簡化的形式且均使用非精準的比率，僅用於方便、明晰地輔助說明本實用新型實施例的目的。

請參考圖1，圖1所示為本實用新型較佳實施例的兼容可替代型磁帶機結構示意圖。本實用新型提出一種應用於光刻機系統中的兼容可替代型磁帶機，包括：外置磁帶機100；SCSI接口210、68針轉50針接頭220和50針SCSI數據線230，連接於所述外置磁帶機100；開關模塊300，設置於所述外置磁帶機100上。

根據本實用新型較佳實施例，所述外置磁帶機100兼容DDS2，DDS3和DDS4磁帶。所述外置磁帶機100為兼容型DDS4外置磁帶機。選用HP SureStore DAT 40e C5687C外置磁帶機更換原機Compaq DEC TLZ09-VA內置磁帶機。所述50針SCSI數據線230連接於光刻機主電腦。

所述開關模塊300具有多個開關，所述多個開關通過設置兼容多型號光刻機主電腦，採用新的開關設置還可以提升磁帶機存儲性能。

綜上所述，本實用新型提出的應用於光刻機系統中的兼容可替代型磁帶機，採用外置磁帶機並通過轉接頭連接於光刻機主電腦，可兼容DDS2，DDS3和DDS4磁帶，同時在外置磁帶機上設置開關模塊，通過不同的開關設置兼容多型號光刻機主電腦，使得特種光刻機系統或其他DEC小型機中所需的磁帶機可以兼容使用。

雖然本實用新型已以較佳實施例揭露如上，然其並非用以限定本實用新型。本實用新型所屬技術領域中具有通常知識者，在不脫離本實用新型的精神和範圍內，當可作各種的更動與潤飾。因此，本實用新型的保護範圍當視權利要求書所界定者為準。