一種刻蝕矽片用夾具的墊板的製作方法
2023-09-11 17:43:05
專利名稱:一種刻蝕矽片用夾具的墊板的製作方法
技術領域:
本實用新型涉及一種刻蝕矽片用夾具的墊板。
背景技術:
目前,在太陽能矽片的生產中,刻蝕矽片用夾具中的墊板呈正方形,夾具是通過設立在墊板某角兩邊的兩個方形的定位柱對矽片進行定位,對於公差偏差較大的矽片,因其並不成正方形,矽片兩邊無法與刻蝕的墊板相吻合,導致矽片上下表面外露被腐蝕,會出現刻蝕過度,刻蝕邊很寬的現象,最終造成矽片色差和暗電流高,降低了太陽能矽片的生產合格率或是轉換效率。
發明內容本實用新型的目的是提供能防止出現太陽能矽片刻蝕過度,刻蝕邊很寬現象的一種刻蝕矽片用夾具的墊板。本實用新型採取的技術方案是一種刻蝕矽片用夾具的墊板,該墊板呈方形,其特徵在於在墊板的某角的兩條邊上設有向內凹的定位槽口。採用本實用新型,將定位柱設立在定位槽口處,對於公差偏差較大的矽片,可以防止矽片在夾具中外露並超出墊板,從而防止出現矽片刻蝕過度,刻蝕邊很寬現象。
圖1是本實用新型的示意圖。圖2是本實用新型的使用狀態參考圖。圖中序號表示墊板1、定位槽口 2、定位柱3和矽片具體實施方式
下面對本實用新型作進一步說明。參照圖1,該刻蝕矽片用夾具的墊板1呈方形,在墊板1的某角的兩條邊上設有向內凹的定位槽口 2。使用時,將定位柱3設立在定位槽口 2處,對於公差偏差較大的矽片4, 可以防止矽片4在夾具中外露並超出墊板1,從而防止出現矽片4刻蝕過度,刻蝕邊很寬的現象。
權利要求1. 一種刻蝕矽片用夾具的墊板,該墊板呈方形,其特徵在於在墊板的某角的兩條邊上設有向內凹的定位槽口。
專利摘要本實用新型涉及一種刻蝕矽片用夾具的墊板,該墊板呈方形,在墊板的某角的兩條邊上設有向內凹的定位槽口。採用本實用新型,將定位柱設立在定位槽口處,對於公差偏差較大的矽片,可以防止矽片在夾具中外露並超出墊板,從而防止出現矽片刻蝕過度,刻蝕邊很寬現象。
文檔編號H01L31/18GK202259387SQ201120349068
公開日2012年5月30日 申請日期2011年9月9日 優先權日2011年9月9日
發明者餘俊滸, 徐新毅, 李德雲, 李振, 段慰, 童鵬飛 申請人:浙江嘉毅能源科技有限公司