高反射率凹面錐形反射鏡的面形檢測方法

2023-09-14 20:47:10 1

專利名稱：高反射率凹面錐形反射鏡的面形檢測方法
技術領域：
本發明涉及光學檢測領域，特別是一種利用移相干涉儀對高反射率凹面錐形反射鏡的面形檢測方法。
背景技術：
雷射打孔技術廣泛應用於航空航天領域，用來實現小孔徑冷卻洞的鑽孔過程，而環形雷射束為雷射打孔技術提供了一個新的途徑。同時，環形雷射束也應用於光學捕獲和誘導，雷射加工等方面。這就為環形雷射束的實現提出了要求，而高反射率凹面錐形反射鏡經常被用來產生環形照明光束，這種凹面錐形反射鏡為實現不同徑向寬度的環形光束提供了很大的方便，所以精確測量這種高反射率凹面錐形反射鏡的面形是很有必要的。公知技術[I]利用接觸式Taylor Hobson表面輪廓測量儀來測量凹面錐形反射鏡的表面粗糙度。它是一種接觸式的測量方法，會對測量件造成損傷，從而影響測量結果。公知技術[2]利用零位光學元件-CGH實現對凹面錐形反射鏡的測量。此方法首先需要製作一個補償件CGH，其次，在測量中需要對CGH和被測件進行嚴格的對準才能實現比較準確的測量
發明內容
本發明的目的在於提供一種高反射率凹面錐形反射鏡的面形檢測方法。該方法具有操作簡單，易於測量，對測量件無損傷等優點。本發明的技術解決方案如下:—種高反射率凹面錐形反射鏡的面形檢測方法，特點在於該方法包括以下步驟:①製作一個部分透光平板:在部分透光平板前表面的下半部分塗上黑漆，使得入射到其上的光束被吸收；在部分透光平板後表面的下半部分鍍反射膜；②在移相干涉儀輸出的平行光束方向依次設置所述的部分透光平板和待測高反射率凹面錐形反射鏡，所述的待測高反射率凹面錐形反射鏡的錐面朝向移相干涉儀的出光方向；③調整光路:調整所述的部分透光平板的前平面與所述的平行光束垂直，且保證所述部分透光平板的中軸與所述的移相干涉儀出射光束的中軸重合；調整所述的高反射率凹面錐形反射鏡，使所述的高反射率凹面錐形反射鏡的中軸與所述的移相干涉儀出射光束的中軸重合，所述的部分透光平板與待測高反射率凹面錐形反射鏡之間的距離應滿足以下關係:
權利要求
1.一種高反射率凹面錐形反射鏡的面形檢測方法，特徵在於該方法包括以下步驟: ①製作一個部分透光平板(2):在部分透光平板(2)前表面的下半部分塗上黑漆，使得入射到其上的光束被吸收；在部分透光平板(2)後表面的下半部分鍍反射膜； ②在移相干涉儀(I)輸出的平行光束方向依次設置所述的部分透光平板(2)和待測高反射率凹面錐形反射鏡(3)，所述的待測高反射率凹面錐形反射鏡(3)的錐面朝向移相干涉儀(I)的出光方向； ③調整光路:調整所述的部分透光平板(2)的前平面與所述的平行光束垂直，且保證所述部分透光平板(2)的中軸與所述的移相干涉儀(I)出射光束的中軸重合；調整所述的高反射率凹面錐形反射鏡(3)，使所述的高反射率凹面錐形反射鏡(3)的中軸與所述的移相干涉儀(I)出射光束的中軸重合，所述的部分透光平板(2)與待測高反射率凹面錐形反射鏡(3)之間的距離應滿足以下關係:
全文摘要
一種高反射率凹面錐形反射鏡的面形檢測方法，包括以下步驟製作部分透光平板；在移相干涉儀輸出的平行光束方向依次設置所述的部分透光平板和待測高反射率凹面錐形反射鏡，所述的待測高反射率凹面錐形反射鏡的錐面朝向移相干涉儀的出光方向；調整光路；利用移相干涉儀檢測幹涉條紋，得到所述的高反射率凹面錐形反射鏡的面形信息。本發明具有操作簡單，易於測量，對測量件無損傷等優點。
文檔編號G01B11/24GK103075975SQ20121057325
公開日2013年5月1日 申請日期2012年12月26日 優先權日2012年12月26日
發明者袁喬, 曾愛軍, 張善華, 黃惠傑 申請人:中國科學院上海光學精密機械研究所