一種製備太陽電池背鋁矽合金結的工藝的製作方法

2023-09-10 20:05:55 1

專利名稱：一種製備太陽電池背鋁矽合金結的工藝的製作方法
技術領域：
本發明涉及N型單晶矽太陽電池背鋁矽合金結的製備工藝。
背景技術：
現階段，N型矽太陽電池主要是通過擴硼工藝來製備背面P+/N 發射結，工藝複雜，成本高，不易於規模化生。發明內容為了優化工藝，本發明提供一種製備太陽電池背鋁矽合金結的工藝，該工藝是在N型單晶矽片的背面全覆蓋絲網印刷鋁槳，進行 高溫一次燒結，形成背鋁矽合金結； 一次燒結形成的鋁矽合金結， 是用強酸或王水腐蝕去除鋁層後形成的，其合金層具備均勻性。 背鋁矽合金結的深淺，由矽片厚度、燒結溫度和燒結時間決定， 當矽片厚度在200 230nm，背面全覆蓋印刷鋁漿厚度則在20 25um， 燒結溫度在700 920°C;當矽片厚度低於200um時，燒結溫度會降 低一點，溫度控制在700 90(TC。本發明的優點是，只須進行一次高溫燒結，即可形成背鋁矽合金結， 合金結的合金層，均勻性好，工藝簡單，成本低，適宜於規模化生產。


附圖是本發明的層結構圖。 圖中標號說明1- 是Ag金屬柵線正電極；2- 是SiNx減反射層，厚度約為80nm;3- 是正面N"磷擴散層，厚度為0.3 0.5um;4- 是N型單晶矽片，電阻率0.2 15Q.cm;5- 是？+ Al-Si合金層；6- 是背面Al電極；7- 是背面銀鋁主柵線電極。
具體實施方式
本發明是通過絲網印刷在電池背面全覆蓋印刷鋁(Al)漿，進行一 次高溫燒結，而形成的。通過王水或者強酸去掉鋁層之後，所展現出 來的一層魚鱗狀的結構，就是P+層(鋁矽合金層)，其生產工藝完 全適合在P型單晶矽生產線上進行規模化生產。背鋁矽合金結的深淺，是根據矽片的厚度，燒結溫度的高低，燒結 時間的長短，以及全覆蓋印刷鋁漿的厚薄來決定的，當原材料矽片厚 度在200 230腦，背面全覆蓋印刷鋁漿控制在20 25um，燒結溫度在 700 920。C，這時背鋁矽合金結比較均勻。當用王水或者強酸洗掉後， 會看見很勻稱的魚鱗，魚鱗結構很明顯；當原材料低於200um時，燒 結溫度會降低一點，燒結溫度在700 900°C，溫度過低時，會導致鋁矽合金結燒結不均勻，用王水和強酸洗掉後，會發現局部沒有形成 鋁矽合金結。
權利要求
1、一種製備太陽電池背鋁矽合金結的工藝，其特徵是在N型單晶矽片的背面全覆蓋絲網印刷鋁漿，進行高溫一次燒結，形成背鋁矽合金結。
2、 按權利要求l所述的一種製備太陽電池背鋁矽合金結的工藝，其特徵是 一次燒結形成的鋁矽合金結，是用強酸或王水腐蝕去除鋁層 後形成的，其合金層具備均勻性。
3、 按權利要求1所述的一種製備太陽電池背鋁矽合金結的工藝，其 特徵是背鋁矽合金結的深淺，由矽片厚度、燒結溫度和燒結時間決定，當矽片厚度在200 230um,背面全覆蓋印刷鋁漿厚度則在20 25um，燒結溫度在7Q0 920。C。
全文摘要
本發明提供一種製備太陽電池背鋁矽合金結的工藝，該工藝是在N型單晶矽片的背面全覆蓋絲網印刷鋁漿，進行高溫一次燒結，形成背鋁矽合金結；一次燒結形成的鋁矽合金結，是用強酸或王水腐蝕去除鋁層後形成的，其合金層具備均勻性。背鋁矽合金結的深淺，由矽片厚度、燒結溫度和燒結時間決定，當矽片厚度在200～230μm，背面全覆蓋印刷鋁漿厚度則在20～25μm，燒結溫度在700～920℃；當矽片厚度低於200μm時，燒結溫度會降低一點，溫度控制在700～900℃。本發明的優點是，只須進行一次高溫燒結，即可形成背鋁矽合金結，合金結的合金層，均勻性好，工藝簡單，成本低，適宜於規模化生產。
文檔編號H01L31/18GK101217172SQ20081003253
公開日2008年7月9日 申請日期2008年1月10日 優先權日2008年1月10日
發明者唐則祁, 孫勵斌, 徐曉群, 李華維, 胡宏勳, 斌 陳, 黃嶽文 申請人:寧波杉杉尤利卡太陽能科技發展有限公司