晶片轉盤式拾取裝置的製作方法

2023-10-07 08:42:44

專利名稱：晶片轉盤式拾取裝置的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及晶片拾取裝置，尤其涉及一種夾持半導體晶片進行 高速轉移的晶片轉盤式拾取裝置。
背景技術：
半導體晶片體積微小，並且容易損壞，在測試分選過程中，晶片的 拾取和轉移是整個測試分選的基礎，能否準確的轉移晶片和保護晶片不 致受損是非常重要的。各種晶片轉移拾取裝置被用來將晶片從晶片盒轉
移到測試的平臺上，再從測試平臺上轉移到分BIN臺上，但是目前市場
上的晶片轉移裝置的轉移速度較慢，工作效率也不高，使得晶片在拾取
轉移的過程中受損比較嚴重。
實用新型內容
本實用新型要解決的技術問題是提供一種能迅速準確地將半導體
晶片在晶片供料臺與晶片測試臺、晶片測試臺與晶片分BIN臺之間轉移
的晶片轉盤式拾取裝置。
本實用新型解決其技術問題所採用的技術方案是 一種晶片轉盤式 拾取裝置，所述的晶片轉盤式拾取裝置具有拾取晶片的機械手組件，所 述的機械手組件轉動連接有連杆驅動裝置，機械手組件升降連接有凸輪 升降裝置。
本實用新型進一步包括所述的機械手組件具有機械手安裝座和機械 手，所述的機械手通過板簧和第一螺釘安裝在機械手安裝座上，機械手 安裝座上還設置有調節擋塊，調節擋塊上安裝有第二螺釘，機械手上安裝有第三螺釘，第三螺釘配有螺母，調節擋塊與螺母之間設置有彈簧， 機械手前端還設置有吸嘴，吸嘴連接有氣管。
本實用新型的有益效果是，解決了背景技術中存在的缺陷，能準確 的調定晶片拾取力的大小，有效地避免晶片在拾取轉運過程中造成的損 壞，降低了產品的不良率。以下結合附圖和實施例對本實用新型進一步說明。


圖1是本實用新型的結構示意其中8、機械手安裝座；12、機械手；19、板簧；15、調節擋塊；9、 第二螺釘；18、第三螺釘；17、螺母；16、彈簧；10、第四螺釘；13、
吸嘴；14、氣管。
具體實施方式
現在結合附圖和優選實施例對本實用新型作進一步詳細的說明。這 些附圖均為簡化的示意圖，僅以示意方式說明本實用新型的基本結構， 因此其僅顯示與本實用新型有關的構成。
如圖1所示， 一種晶片轉盤式拾取裝置，其特徵在於所述的晶片
轉盤式拾取裝置具有拾取晶片的機械手組件，機械手組件具有機械手安
裝座8和機械手12，所述的機械手12通過板簧19和第一螺釘安裝在 機械手安裝座8上，機械手安裝座8上還設置有調節擋塊15，調節擋 塊15上安裝有第二螺釘9,機械手12上安裝有第三螺釘18，第三螺釘 18配有螺母17，調節擋塊15與螺母17之間設置有彈簧16，機械手12 前端還設置有吸嘴13，吸嘴13連接有氣管14。所述的機械手組件轉動 連接有連杆驅動裝置，機械手組件升降連接有凸輪升降裝置。本實用新型工作時，連杆驅動裝置驅動機械手12旋轉到晶片拾取 點的上方，凸輪升降裝置驅動機械手12下降到拾取位置。吸嘴13通過 外部接入的真空吸取晶片。然後凸輪升降裝置驅動機械手12離開拾取 位置上升，連杆驅動裝置驅動機械手12旋轉到晶片放置點的上方，凸 輪升降裝置驅動機械手12下降到放置位置。吸嘴13通過外部接入的壓 縮空氣與晶片脫離。然後凸輪升降裝置驅動機械手12離開拾取位置上 升。
本實用新型能準確調定晶片拾取力的大小，有效避免了晶片在拾取 轉運過程中造成的損壞，降低了產品的不良率。
以上述依據本實用新型的理想實施例為啟示，通過上述的說明內 容，相關工作人員完全可以在不偏離本項實用新型技術思想的範圍內， 進行多樣的變更以及修改。
權利要求1、一種晶片轉盤式拾取裝置，其特徵在於所述的晶片轉盤式拾取裝置具有拾取晶片的機械手組件，所述的機械手組件轉動連接有連杆驅動裝置，機械手組件升降連接有凸輪升降裝置。
2、 如權利要求1所述的晶片轉盤式拾取裝置，其特徵在於所述的機械手組件具有機械手安裝座(8)和機械手(12)，所述的機械手(12)通過板簧(19)和第一螺釘安裝在機械手安裝座(8)上，機械手安裝座(8)上還設置有調節擋塊(15)，調節擋塊(15)上安裝有第二螺釘(9)，機械手(12)上安裝有第三螺釘(18)，第三螺釘(18)配有螺母(17)，調節擋塊(15)與螺母(17)之間設置有彈簧(16)，機械手(12)前端還設置有吸嘴(13)，吸嘴(13)連接有氣管(14)。
專利摘要本實用新型涉及一種晶片轉盤式拾取裝置，所述的晶片轉盤式拾取裝置具有拾取晶片的機械手組件，所述的機械手組件轉動連接有連杆驅動裝置，機械手組件升降連接有凸輪升降裝置。採用本實用新型能準確的調定晶片拾取力的大小，有效地避免晶片在拾取轉運過程中造成的損壞，降低了產品的不良率。
文檔編號H01L21/677GK201369320SQ20092003543
公開日2009年12月23日 申請日期2009年3月23日 優先權日2009年3月23日
發明者唐國強, 沈國平, 琳 王, 雲 陳, 顧方成 申請人:常州新區愛立德電子有限公司