電容式差壓變送器的製作方法
2023-10-04 13:19:34 1
專利名稱：電容式差壓變送器的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及傳感器技術，尤其涉及一種電容式差壓變送器。
技術背景 電容式差壓變送器是一種新型的差壓傳感器，常見的結構如圖1所示，其包括
金屬固定殼l、絕緣體2、隔離膜片3、兩個固定電極4以及可動電極5，絕緣體2、兩個隔
離膜片3、兩個固定電極4和可動電極5固設在金屬固定殼1上，兩個固定電極4和可動電
極5形成兩個電容C1、 C2，兩個隔離膜片3和兩個固定電極4形成感壓腔室B1、 B2，感壓
腔室Bl、 B2中設有填充液， 一般填充液採用化學結構穩定、膨脹係數和粘度的溫度係數比
較小的矽油，隔離膜片3起壓力傳遞作用。當可動電極5受到隔離膜片3傳遞的壓力不相等
時，可動電極5向壓力小的方向位移，壓力小的一邊電容變大，壓力大的一邊電容變小，兩
個電容Cl、 C2的差值就可以反映兩個方向的壓力差，起到差壓變送器的作用。但是如圖2
所示，兩個電容C1、 C2外側邊緣的電力線發生畸變，產生了非線性，使變送器的的靈敏度降低。
發明內容本實用新型目的是提供一種電容的電力線不發生畸變，電容值反映靈敏度高的 電容式差壓變送器。
本實用新型的目的可通過下述的結構來達到差壓傳感器包括金屬固定殼、兩個絕緣體、 兩個隔離膜片、兩個固定電極以及可動電極，兩個絕緣體和兩個隔離膜片對稱固設在金屬固 定殼上，兩個固定電極分別鍍在兩個絕緣體上，可動電極的兩端設在兩個絕緣體之中，兩個 固定電極與可動電極分別形成兩個電容C1、 C2，兩個隔離膜片和兩個固定電極4形成感壓腔 室B1、 B2，感壓腔室B1、 B2中設有填充液，其中分別在兩個固定電極的外圈設一圈金屬鍍 膜環。
所述的金屬鍍膜環與固定電極之間的設有絕緣間隙。 所述的金屬鍍膜環與固定電極之間均設有高輸入阻抗的放大器。
本實用新型採用以上結構，增設一圈金屬鍍膜環，使兩個固定電極和可動電極形成的兩 個電容C1、 C2外側邊緣的電力線不發生畸變，而金屬鍍膜環與可動電極之間的外側電力線 發生畸變，因此不影響電容C1、 C2的計量，電容C1、 C2的差值反映靈敏度高；金屬鍍膜 環與固定電極之間的間隙越小越好，只要二者之間是絕緣，電容Cl、 C2外側邊緣的電力線 就越不發生畸變；設高輸入阻抗的放大器的目的是確保金屬鍍膜環與固定電極等電位。
現結合附圖對本實用新型做進一步闡述
圖1是現有差壓傳感器的結構示意圖2是現有差壓傳感器中電容電力線方向的示意圖3是本實用新型差壓傳感器的結構示意圖4是本實用新型差壓傳感器中電容電力線方向的示意圖5是本實用新型金屬鍍膜環與固定電極鍍在絕緣體上的相對位置示意圖6是本實用新型金屬鍍膜環與固定電極鍍之間電路連接示意圖。
具體實施方式
如圖3所示，本實用新型差壓傳感器包括金屬固定殼1、兩個絕緣體2、兩 個隔離膜片3、兩個固定電極4以及可動電極5，兩個絕緣體2和兩個隔離膜片3對稱固設在 金屬固定殼l上，兩個固定電極4分別鍍在兩個絕緣體2上，可動電極5的兩端設在兩個絕 緣體2之中，兩個固定電極4和可動電極5分別形成兩個電容C1、 C2，分別在兩個固定電極 4的外圈設一圈金細鍍膜環6，兩個隔離膜片3和兩個固定電極4形成感壓腔室B1、 B2，感 壓腔室B1、 B2中設有填充液8，填充液8可以採用矽油。
如圖4所示，上述金屬鍍膜環6與固定電極4之間設有間隙，該間隙越小越好，並形成 絕緣。如此，兩個固定電極4和可動電極5別形成的兩個電容C1、 C2外側邊緣的電力線不 發生畸變，金屬鍍膜環6與可動電極5之間的外側電力線發生畸變。
如圖5所示，所述的金屬鍍膜環6與固定電極4分別鍍在絕緣體2上，金屬鍍膜環6僅 僅需要一個窄圈，與固定電極4之間有個絕緣間隙，即可達到確保兩個電容C1、 C2外側邊 緣的電力線不發生畸變的目的，從而使兩個電容C1、 C2的值反映靈敏度提高。
如圖6所示，所述的金屬鍍膜環6與固定電極4之間均設有高輸入阻抗的放大器7，因 為電容變換器的阻抗很高，高輸入阻抗的放大器7才能使金屬鍍膜環6與固定電極4的電位 相等，提高兩個電容C1、 C2的值反映的精確度。
本實用新型採用以上結構，如圖3所示，當兩個壓力F1、 F2分別作用在兩側隔離膜片3 時，隔離膜片3通過填充液8將力傳遞到可動電極5。當壓力F1:F2時，可動電極5不變形, 當壓力F1^F2時，可動電極5向力小的方向產生位移，造成兩個電容Cl、 C2大小發生變化， 由此產生的電容變化量的測量值即可準確反映出兩個壓力Fl、 F2的差值。
權利要求1、電容式差壓變送器，包括金屬固定殼、兩個絕緣體、兩個隔離膜片、兩個固定電極以及可動電極，兩個絕緣體和兩個隔離膜片對稱固設在金屬固定殼上，兩個固定電極分別鍍在兩個絕緣體上，可動電極的兩端設在兩個絕緣體之中，兩個固定電極與可動電極分別形成兩個電容C1、C2，兩個隔離膜片和兩個固定電極4形成感壓腔室B1、B2，感壓腔室B1、B2中設有填充液，其特徵在於分別在兩個固定電極的外圈設一圈金屬鍍膜環。
2、 根據權利要求l所述的電容式差壓變送器，其特徵在於其金屬鍍膜環與固定電極之 間的設有絕緣間隙。
3、 根據權利要求1或2所述的電容式差壓變送器，其特徵在於其金屬鍍膜環與固定電 極之間均設有高輸入阻抗的放大器。
專利摘要本實用新型涉及電容式差壓變送器，其包括金屬固定殼、絕緣體、隔離膜片、固定電極以及可動電極，絕緣體和隔離膜片對稱固設在金屬固定殼上，固定電極鍍在絕緣體上，可動電極的兩端設在絕緣體之中，固定電極與可動電極分別形成兩個電容C1、C2，其中分別在兩個固定電極的外圈設一圈金屬鍍膜環，採用以上結構，使兩個固定電極和可動電極形成的兩個電容C1、C2外側邊緣的電力線不發生畸變，而金屬鍍膜環與可動電極之間的外側電力線發生畸變，因此不影響電容C1、C2的計量，電容C1、C2的差值反映靈敏度高。
文檔編號G01L13/06GK201072369SQ20072000816
公開日2008年6月11日 申請日期2007年9月7日 優先權日2007年9月7日
發明者黃訓松 申請人:福建上潤精密儀器有限公司