一種改進的使用空氣軸承的工作檯主軸的製作方法
2023-10-04 13:58:04
專利名稱：一種改進的使用空氣軸承的工作檯主軸的製作方法
技術領域：
本發明涉及半導體晶片製造設備領域，具體為一種改進的使用空氣軸承的工作檯主軸。
(二)
背景技術：
國內現有電主軸主要通過機械軸承支承，高速旋轉振動、噪聲大，同時其精度要求 不能達到晶圓磨床砂輪主軸的使用要求。
(三)
發明內容
針對上述問題，本發明提供了一種改進的使用空氣軸承的工作檯主軸，可大大提 高精度、同時可以降低振動和噪聲。 其技術方案是這樣的其包括前蓋、主軸組件、主軸法蘭、殼體、下端蓋、旋變器，所 述主軸組件的軸心部分為通孔，其特徵在於所述主軸法蘭上圓端面裝有上止推軸承、下圓 端面裝有軸承套，所述上止推軸承與所述前蓋間安裝有止推軸承氣蓋，所述上止推軸承、軸 承套內部均布有上下位置對稱的軸向節流孔，所述軸承套、上止推軸承內部的氣路分別連 通其內部的各個所述軸向節流孔，所述軸承套、上止推軸承內部的氣路互相連通，所述軸承 套內部的氣路連通所述殼體內部的氣路，所述殼體的進氣口、出氣口連通所述殼體內部的 氣路； 其進一步特徵在於所述主軸法蘭外圓面端套裝有止推軸承間隙調整環，所述上 止推軸承內部的氣路通過所述止推軸承間隙調整環內部的氣路連通所述軸承套內部的氣 路； 所述軸承套的內圓周面均布有徑向節流孔，所述徑向節流孔連通所述軸承套內部 的氣路；所述軸向節流孔、徑向節流孔內均安裝有節流器； 所述通孔底部連接有旋轉接頭，三通中的一個通路連接所述旋轉接頭，所述另兩 個通路分別連接抽真空閥和下級三通的一個通路，所述下級三通的另兩個通路分別連接進 水閥和進氣閥； 所述主軸組件下端套裝有旋變器。 本發明的上述結構中，由於所述主軸法蘭上圓端面裝有上止推軸承、下圓端面裝 有軸承套，所述上止推軸承與所述前蓋間安裝有止推軸承氣蓋，所述上止推軸承、軸承套內 部均布有上下位置對稱的軸向節流孔，所述軸向節流孔內的氣壓力作用於所述主軸法蘭， 其通過上下對稱位置的壓力差使所述主軸法蘭浮起，最終使得所述主軸組件浮起，此時由 於氣體與所述主軸法蘭接觸，不存在機械接觸，故其振動和噪音大大降低，同時由於均化作 用大大提高了電主軸的加工精度。
(四)
圖1是本發明的主視圖的結構示意圖。
具體實施例方式
見圖1，本發明包括前蓋1、主軸組件2、主軸法蘭3、殼體4、下端蓋5、旋變器25，主軸組件5的軸心部分為通孔6，主軸法蘭3上圓端面裝有上止推軸承7、下圓端面裝有軸承套8，上止推軸承7與前蓋1間安裝有止推軸承氣蓋9，上止推軸承7、軸承套8內部均布有上下位置對稱的軸向節流孔IO，軸承套8內部的氣路11、上止推軸承7內部的氣路12分別連通其內部的各個軸向節流孔IO，主軸法蘭3外圓面端套裝有止推軸承間隙調整環13，上止推軸承7內部的氣路12通過止推軸承間隙調整環13內部的氣路14連通軸承套8內部的氣路ll ;軸承套8內部的氣路11連通殼體4內部的氣路15，殼體4的進氣口 16、出氣口17連通殼體4內部的氣路15 ;軸承套8的內圓周面均布有徑向節流孔23，徑向節流孔23連通軸承套8內部的氣路11 ;軸向節流孔10、徑向節流孔23內均安裝有節流器24 ;通孔6底部連接有旋轉接頭26，三通18中的一個通路連接旋轉接頭26，另兩個通路分別連接抽真空閥19和下級三通20的一個通路，下級三通20的另兩個通路分別連接進水閥21和進氣閥22。主軸組件5下端套裝有旋變器25。
權利要求
一種改進的使用空氣軸承的工作檯主軸，其特徵在於其包括前蓋、主軸組件、主軸法蘭、殼體、下端蓋、旋變器，所述主軸組件的軸心部分為通孔，其特徵在於所述主軸法蘭上圓端面裝有上止推軸承、下圓端面裝有軸承套，所述上止推軸承與所述前蓋間安裝有止推軸承氣蓋，所述上止推軸承、軸承套內部均布有上下位置對稱的軸向節流孔，所述軸承套、上止推軸承內部的氣路分別連通其內部的各個所述軸向節流孔，所述軸承套、上止推軸承內部的氣路互相連通，所述軸承套內部的氣路連通所述殼體內部的氣路，所述殼體的進氣口、出氣口連通所述殼體內部的氣路。
2. 根據權利要求1所述一種改進的使用空氣軸承的工作檯主軸，其特徵在於所述主 軸法蘭外圓面端套裝有止推軸承間隙調整環，所述上止推軸承內部的氣路通過所述止推軸 承間隙調整環內部的氣路連通所述軸承套內部的氣路。
3. 根據權利要求2所述一種改進的使用空氣軸承的工作檯主軸，其特徵在於所述軸 承套的內圓周面均布有徑向節流孔，所述徑向節流孔連通所述軸承套內部的氣路；所述軸 向節流孔、徑向節流孔內均安裝有節流器。
4. 根據權利要求3所述一種改進的使用空氣軸承的工作檯主軸，其特徵在於所述通 孔底部連接有旋轉接頭，三通中的一個通路連接所述旋轉接頭，所述另兩個通路分別連接 抽真空閥和下級三通的一個通路，所述下級三通的另兩個通路分別連接進水閥和進氣閥。
5. 根據權利要求4所述一種改進的使用空氣軸承的工作檯主軸，其特徵在於所述主 軸組件下端套裝有旋變器。
全文摘要
本發明提供了一種改進的使用空氣軸承的工作檯主軸，可大大提高精度、同時可以降低振動和噪聲。其包括前蓋、主軸組件、主軸法蘭、殼體、下端蓋、旋變器，所述主軸組件的軸心部分為通孔，其特徵在於所述主軸法蘭上圓端面裝有上止推軸承、下圓端面裝有軸承套，所述上止推軸承與所述前蓋間安裝有止推軸承氣蓋，所述上止推軸承、軸承套內部均布有上下位置對稱的軸向節流孔，所述軸承套、上止推軸承內部的氣路分別連通其內部的各個所述軸向節流孔，所述軸承套、上止推軸承內部的氣路互相連通，所述軸承套內部的氣路連通所述殼體內部的氣路，所述殼體的進氣口、出氣口連通所述殼體內部的氣路。
文檔編號B24B41/04GK101786261SQ200910221579
公開日2010年7月28日 申請日期2009年11月20日 優先權日2009年11月20日
發明者朱凱旋, 蔣書運, 蔡英 申請人:無錫工具機股份有限公司