砷化鎵晶體定向測試儀的製作方法
2023-11-30 23:29:46 4
砷化鎵晶體定向測試儀的製作方法
【專利摘要】砷化鎵晶體定向測試儀,包括機臺、工作檯、二維調整夾具、X光發射儀、X光接收儀、測量基準板及測量基準板升降裝置。機臺上設有裝工作檯基準板的機臺滑道,工作檯固定在工作檯基準板上,機臺上固定有工作檯驅動電機,其動力輸出軸與工作檯基準板固定連接,通過工作檯基準板可在機臺滑道上前後滑動。二維調整夾具固定在工作檯上。機臺上固定裝有控制面板的機體防護罩。測量基準板升降裝置,包括升降電機,固聯在升降電機動力輸出軸上的升降導軌。升降導軌上連接有裝有X光發射儀和X光接收儀測量基準板,測量基準板的底部固定有一定位針,使測量基準板轉動的減速機主軸與編碼器連接。本實用新型結構簡單、使用方便、加工效率高。
【專利說明】砷化鎵晶體定向測試儀
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及X射線測試儀技術,特別是涉及一種砷化鎵晶體定向測試儀。
【背景技術】
[0002]砷化鎵晶錠加工時需要經過:掏棒,切端面,滾外圓等工序。傳統X射線定向儀無法滿足砷化鎵單晶錠所需掏棒方向的準確定向,使之掏棒所套出的晶棒直徑遠大於經過滾外圓等工序後實際所需晶棒直徑,造成原材料浪費及加工時間變長。
實用新型內容
[0003]本實用新型要解決的技術問題是,提供一種結構簡單、使用方便、加工效率高的砷化鎵晶體定向測試儀,解決了傳統X射線定向儀無法對砷化鎵單晶晶錠進行準確定位所造成的原材料浪費大及加工時間長的問題。
[0004]採用的技術方案是:
[0005]砷化鎵晶體定向測試儀,包括機臺、工作檯、二維調整夾具、X光發射儀、X光接收儀、測量基準板及測量基準板升降裝置。所述的機臺上設有機臺滑道,機臺滑道上設置有工作檯基準板,所述的工作檯固定在工作檯基準板上,機臺上固定有工作檯驅動電機,工作檯驅動電機的動力輸出軸與工作檯基準板固定連接,在工作檯驅動電機的驅動下,工作檯通過工作檯基準板可在機臺滑道上前後進行滑動。所述的二維調整夾具固定在工作檯上。所述機臺上固定有機體防護罩,機體防護罩上固定有控制面板。所述測量基準板升降裝置,包括升降導軌和升降電機,升降電機固定在導柱頂端,升降導軌固聯在升降電機的動力輸出軸上,升降導軌上連接有一測量基準板,所述的X光發射儀和X光接收儀固定在測量基準板上,測量基準板的底部固定有一定位針,使測量基準板轉動的減速機主軸與編碼器連接,通過傳動比顯示輸出轉動角度。
[0006]本實用新型具有結構簡單、使用方便、加工效率高等優點,解決了傳統X射線定向儀無法對砷化鎵單晶晶錠進行準確定位所造成的原材料浪費大及加工時間長的問題。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0007]圖1是本實用新型的結構示意圖。
[0008]圖2是圖1的側視圖。
[0009]圖3是圖1的C—C視圖。
【具體實施方式】
[0010]砷化鎵晶體定向測試儀,包括機臺7、工作檯9、二維調整夾具5、X光發射儀3、X光接收儀11、測量基準板2及測量基準板升降裝置。所述的機臺7上設有機臺滑道16,機臺滑道16上設置有工作檯基準板8,所述的工作檯9固定在工作檯基準板8上,機臺7上固定有工作檯驅動電機6,工作檯驅動電機6的動力輸出軸與工作檯基準板8固定連接,在工作檯驅動電機6的驅動下,工作檯9通過工作檯基準板8可在機臺滑道16上前後進行滑動。所述的二維調整夾具5固定在工作檯9上。所述機臺7上固定有機體防護罩13,機體防護罩13上固定有控制面板12。所述測量基準板升降裝置,包括升降導軌10和升降電機1,升降電機I固定在導柱頂端,升降導軌10固聯在升降電機I的動力輸出軸上,升降導軌10上連接有一測量基準板2,所述的X光發射儀3和X光接收儀11固定在測量基準板2上,測量基準板2的底部固定有一定位針4,使測量基準板轉動的減速機主軸14與編碼器15連接,通過傳動比顯示輸出轉動角度。
【權利要求】
1.砷化鎵晶體定向測試儀,包括機臺(7)、工作檯(9)、二維調整夾具(5)、X光發射儀(3)、X光接收儀(11)、測量基準板(2)及測量基準板升降裝置,其特徵在於所述的機臺(7)上設有機臺滑道(16),機臺滑道(16)上設置有工作檯基準板(8),所述的工作檯(9)固定在工作檯基準板(8 )上,機臺(7 )上固定有工作檯驅動電機(6 ),工作檯驅動電機(6 )的動力輸出軸與工作檯基準板(8)固定連接,在工作檯驅動電機(6)的驅動下,工作檯(9)通過工作檯基準板(8)可在機臺滑道(16)上前後進行滑動,所述的二維調整夾具(5)固定在工作檯(9 )上,所述機臺(7 )上固定有機體防護罩(13 ),機體防護罩(13 )上固定有控制面板(12 ),所述測量基準板升降裝置,包括升降導軌(10)和升降電機(1),升降電機(I)固定在導柱頂端,升降導軌(10)固聯在升降電機(I)的動力輸出軸上,升降導軌(10)上連接有一測量基準板(2 ),所述的X光發射儀(3 )和X光接收儀(11)固定在測量基準板(2 )上,測量基準板(2)的底部固定有一定位針(4),使測量基準板轉動的減速機主軸(14)與編碼器(15)連接,通過傳動比顯示輸出轉動角度。
【文檔編號】G01N23/00GK203798747SQ201420199079
【公開日】2014年8月27日 申請日期:2014年4月23日 優先權日:2014年4月23日
【發明者】甄偉, 趙松彬 申請人:丹東新東方晶體儀器有限公司