一種差壓傳感器裝置及其封裝方法與流程
2023-12-02 08:36:26 1
本發明涉及一種檢測工具，尤其涉及一種差壓傳感器裝置及其封裝方法。
背景技術：
傳感器是一種電子元器件，用來測量液體或氣體的壓力差值的常用工具，具有體積小、重量輕、精度高、靈敏度高、成本低的特點，已經成為微電子機械系統領域不可或缺的一種電子元件。隨著微電子技術的快速發展，目前差壓傳感器作為檢測系統已廣泛用於汽車與機車裝備、火力發電、醫療衛生、化工、石油冶煉、工業電子、物聯網等各行各業，例如，汽車電子領域的用於測量汽車發動機尾氣顆粒捕集器(dpf)前後通道的尾氣壓力差的差壓傳感器、用於汽車制動主缸氣密性能檢測的差壓傳感器、控制負荷差壓傳感器液壓的差壓傳感器、用於汽車剎車系統的差壓傳感器、用於氣囊壓力測量的差壓傳感器、用於汽車底盤電子控制系統的差壓傳感器；醫療領域的血壓計、胎壓計；工業電子領域的數字流量表、數字壓力表等，並且隨著技術不斷進步創新以及經濟水平的不斷提高，智能差壓傳感器在微流量測量、洩漏測試、潔淨間監測、氣體流量測量、液位高低測量等許多高精度測量場合都有著廣泛的應用，已成為微電子行業不可或缺的一種電子元器件。
目前，主流的差壓傳感器工作原理是，差壓傳感器本體設有感壓面，通常與感壓膜片配合來測量某一設備或部件前後兩端的壓差。具體地說，當差壓傳感器的兩側感壓膜片受力不一致時，感壓膜片受到外界的壓力後產生位移。通過充油管道向傳感器本體內部注入矽油，使得傳感器本體內的各個導壓孔內充滿用於傳導壓力的矽油，當感壓膜面與感壓面之間的距離發生變化時，對差壓傳感器內部矽油(即導壓介質)產生一個作用力，通過矽油進行壓力的無損傳遞，從導壓孔分別打壓在差壓傳感器內的晶片(例如德爾森md晶片)的正反兩面，從而導致晶片內部的橋路電阻的阻值發生變化，通過振蕩和解調環節，轉換成與壓力成正比的信號，經過放大等處理變為標準電信號輸出，進而得以測量外界壓力的變化。
在應用差壓傳感器的感壓面時需要考慮比較多的一個問題是其的感壓性能，對於差壓傳感器的靈敏使用尤其要考慮這樣的問題，差壓傳感器感壓面是專門按照差壓傳感器晶片的特性設計的，因此感壓面的紋路深度、紋路距離都影響感壓面的工作性能。在傳統的結構中，差壓傳感器的感壓面外形紋路選五個或六個紋路數量的正弦曲線，但隨著微電子技術的快速發展，目前常用的感壓面的缺陷也逐漸暴露出來，主要表現為感壓性能不夠好不能適應更多的應用場合，在某些場合，由於某些限制，表現為由於溫飄比較大，差壓傳感器內的油量平衡也不夠好，導致測量數據不夠精確。隨著應用場合越來越複雜，為了提高差壓傳感器的靈敏度，簡單的增大感壓面的厚度或者增加紋路數量都會影響差壓傳感器內的矽油量平衡，油量的不平衡會導致差壓傳感器在不同的環境工作溫度下，矽油發生膨脹，對晶片的打壓力度也會不一樣，這樣就會造成差壓傳感器精度的偏差，和差壓傳感器裝置檢測的不穩定性。因此，傳感器的好壞與傳感器內部的油量平衡十分有關，通過研究人員反覆的實驗測試和實驗數據結果來設計和加工感壓面來實現差壓傳感器內的油量平衡，而油量平衡越好，差壓傳感器的感壓性能也越好，從而改善差壓傳感器裝置的測量精度和響應靈敏度。
更多地，往差壓傳感器本體內孔中安放相配套的差壓傳感器管座時，差壓傳感器的本體內孔底部的平面與差壓傳感器管座的底部平面可以相接觸連接，但是當往油管內灌矽油時，由於差壓傳感器是精密儀器，內壁平面不光潔或者連接處的縫隙會造成內部介質相連通，導致矽油流動於正腔和負腔中。因此，對傳統的差壓傳感器封裝要進行至少四次焊接，不但要將感壓膜片與差壓傳感器本體進行焊接密封，對差壓傳感器本體內孔底部與差壓傳感器管座底部連接處進行焊接密封，還要對差壓傳感器本體內孔頂部與差壓傳感器管座頂部進行封頂焊接，還要對差壓傳感器套管與差壓傳感器本體的連接處進行焊接封裝，但是由於差壓傳感器通常是金屬或合金的材質，在高溫焊接差壓傳感器內孔底部與差壓傳感器管座底部時，產生熱反應，導致溫度過高，由於金屬材質的差壓傳感器散熱性不好，會造成差壓傳感器管座內的晶片被焊接時燒壞，造成差壓傳感器的不能使用。另外，如果焊接不牢，正負壓腔內的油通過縫隙相流動，導致差壓傳感器裝置不合格而報廢，則會造成更多地資源浪費，給企業增加成本。況且傳統的封裝方法焊接工序多了，加工件也多了，焊接精度越高，企業的製造成本也隨之加重。
此外，傳統的差壓傳感器裝置存在的問題和缺陷限制了其應用範圍，隨著科學技術的不斷發展，對差壓傳感器裝置的需求不斷加大，因此，解決現有技術中存在的問題並進一步研究精度更高的差壓傳感器裝置勢在必行。本發明針對差壓傳感器裝置傳統結構的問題和缺陷，提出針對性的改進，以提高差壓傳感器裝置的測量精度和穩定性。
技術實現要素：
本發明的一個目的在於提供一種差壓傳感器裝置及其封裝方法，通過對傳統差壓傳感器裝置的感壓面進行修正，使所述差壓傳感器具有更好的感壓性能，能更好的抵抗外界溫度和應力變化對其造成的輸出變化，以提高所述差壓傳感器的靈敏度，擴大所述差壓差壓傳感器的應用範圍。
本發明的另一個目的在於提供一種差壓傳感器裝置及其封裝方法，通過機械加工在傳統感壓面上增加波形槽的數量，同時增加波形槽的深度，使得波形槽內的導壓介質存量比傳統感壓面增多，以保證正負壓腔內的導壓介質體積相等，進而提高差壓傳感器內部的導壓介質的平衡性，解決傳統差壓傳感器裝置感壓性能差的問題，以確保差壓傳感器裝置測量結果的可靠性。
本發明的另一個目的在於提供一種差壓傳感器裝置及其封裝方法，通過在差壓傳感器本體內孔操作空間與差壓傳感器管座的連接處設置一隔離件，來保證差壓傳感器管座固定於所述差壓傳感器本體內孔操作空間。
本發明的另一個目的在於提供一種差壓傳感器裝置及其封裝方法，有利於在所述差壓傳感器管座安裝不當時，可拆所述卸差壓傳感器管座重新安裝，進而方便更換使用。
本發明的另一個目的在於提供一種差壓傳感器裝置及其封裝方法，通過用所述隔離件來封閉差壓傳感器管座與所述差壓傳感器本體的連接處縫隙，以隔離正負壓腔，防止正負壓腔內的導壓介質相連接，對所述晶片的正常測量產生影響，進而影響所述差壓傳感器的正常使用。
本發明的另一個目的在於提供一種差壓傳感器裝置及其封裝方法，通過改變封裝方法，以解決傳統採取焊接工序時產生能量過高、溫度過高的問題，更不用擔心傳感器裝置的散熱影響到所述差壓傳感器晶片的正常使用，以提高良品率。
本發明的另一個目的在於提供一種差壓傳感器裝置及其封裝方法，通過用所述隔離件使得所述差壓傳感器管座沉入所述差壓傳感器本體內孔底部的結構操作使步驟簡化，能更好的提高安裝效率，以提高所述差壓傳感器的生產效率。
本發明的另一個目的在於提供一種差壓傳感器裝置及其封裝方法，減少材料浪費，與常規差壓傳感器製造工藝流程兼容，應用領域廣泛。
本發明的另一個目的在於提供一種差壓傳感器裝置及其封裝方法，不需要改變傳統差壓傳感器裝置和晶片的結構即可實現所述隔離件的安裝，以形成本發明提供的所述差壓傳感器，通過這樣的方式能夠減少所述差壓傳感器的普及成本，同時有利於所述差壓傳感器的大規模推廣和使用。
本發明的另一個目的在於提供一種差壓傳感器裝置及其封裝方法，和傳統的差壓傳感器相比，在成本較低的基礎上實現了高精度的輸出和輸出的穩定性，同時不需要增加成本就能批量化製造生產。
為了滿足本發明的以上目的以及本發明的其他目的及優勢，本發明提供一差壓傳感器裝置，包括：
一差壓傳感器本體，其具有兩個感壓面；
一差壓傳感器管座；
一差壓傳感器套管；
兩個感壓膜片，所述感壓膜片與所述感壓面相連接；和
一隔離件，其被設置於所述差壓傳感器本體內孔操作空間的一支撐部，所述隔離件具有一插接孔，所述插接孔對應於所述差壓傳感器管座的限位部，當所述差壓傳感器管座通過所述隔離件沉入差壓傳感器本體內孔操作空間時，所述隔離件受所述差壓傳感器管座壓入力而導致形變，以固定所述差壓傳感器管座於差壓傳感器本體內孔操作空間，同時密封所述限位部與所述支撐部的連接處縫隙。
根據本發明的一個優選的實施例，所述感壓膜片與所述感壓面相連接並形成一容納空間，以容納所述導壓介質。
優選地，所述差壓傳感器本體進一步包括兩個導壓孔，所述容納空間連接與一導壓孔，使得所述差壓傳感器具有一正壓腔和一負壓腔。
優選地，所述感壓面通過機械加工形成8個波形槽的紋路結構，比傳統差壓傳感器的感壓面波形槽在數量上增加了，同時增加波形槽的深度，使得容納空間內的導壓介質存量增多，以解決傳統差壓傳感器裝置感壓性能差的問題，以確保差壓傳感器裝置測量結果的可靠性。
值得一提地是，由於傳感器內的導壓介質體積是一定的，導壓介質在容納空間內的量越多，佔整個所述傳感器裝置中的導壓介質體積佔比也增大，差壓傳感器裝置的正負壓腔不平衡的比例就越小，正負壓腔的導壓介質的平衡性越好，使得差壓傳感器裝置感壓性能越好。
進一步地，不同尺寸大小的差壓傳感器裝置，其感壓面的直徑大小也不一致，其範圍在29.9mm～36mm，所述波形槽的等間距範圍為1.50mm～1.60mm，所述波形槽下沉幅度為0.25mm～0.30mm。
優選地，所述感壓面設有連續8個等間距排布的波形槽，設置8個所述波形槽的相等間距為1.60mm，且所述波形槽下沉幅度為0.25mm時，導壓介質在容納空間內的量越多，以保證所述正負壓腔中的導壓介質體積相等，所述容納空間的導壓介質佔整個所述傳感器裝置中的導壓介質體積佔比也最大，使得所述差壓傳感器內部的導壓介質的平衡性達到最優，解決傳統差壓傳感器裝置感壓性能差的問題，以確保所述差壓傳感器裝置測量結果的可靠性。
所述差壓傳感器管座可以是傳統的差壓傳感器管座結構，包括一限位部、一晶片、一充油管道和一電性接口。所述差壓傳感器管座與上述優選實施例的差壓傳感器本體相配套，能將所述差壓傳感器管座設置於上述差壓傳感器本體的內孔操作空間，所述差壓傳感器管座的直徑≤所述內孔操作空間的直徑。
所述差壓傳感器工作原理跟傳統差壓傳感器的工作原理一樣，通過所述差壓傳感器管座的所述充油管道向傳感器本體內部注入導壓介質，使得所述傳感器本體內的各個所述導壓孔內充滿用於傳導壓力的導壓介質，當所述差壓傳感器的兩側所述感壓膜片受力不一致時，所述感壓膜片受到外界的壓力後產生位移，所述感壓膜面與所述感壓面之間的距離發生變化時，對所述容納空間內的導壓介質產生一個作用力，通過導壓介質進行壓力的無損傳遞，從所述導壓孔分別打壓在所述差壓傳感器管座內晶片的正反兩面，從而導致晶片內部的橋路電阻的阻值發生變化，通過振蕩和解調環節，轉換成與壓力成正比的信號，經過放大等處理變為標準電信號輸出，進而得以測量外界壓力的變化。
根據本發明的另一個方面，本發明還提供一種差壓傳感器裝置的封裝方法，對一差壓傳感器進行封裝，其中所述差壓傳感器裝置包括一差壓傳感器本體、一差壓傳感器管座、一差壓傳感器套管、兩個一感壓膜片和一隔離件，其特徵在於，包括以下步驟：
(a)將所述感壓膜片焊接於所述差壓傳感器本體的所述感壓面；
(b)在所述差壓傳感器本體內孔操作空間的支撐部設置一隔離件，通過所述隔離件封閉所述差壓傳感器管座的限位部與所述差壓傳感器本體內孔操作空間連接處的縫隙；
(c)將所述差壓傳感器管座頂部與差壓傳感器本體內孔操作空間的頂部連接處進行焊接封頂；和
(d)將所述差壓傳感器套管與所述差壓傳感器本體的頂部限位槽相連接，並對連接處進行焊接封裝。
根據本發明一實施例，在所述步驟(a)中，其中所述感壓膜片與所述感壓面相連接並形成一容納空間，以容納所述導壓介質。
優選地，所述差壓傳感器本體進一步包括兩個導壓孔，所述容納空間連接與一導壓孔，使得所述差壓傳感器具有一正壓腔和一負壓腔。
根據本發明一實施例，在所述步驟(b)中，其中所述隔離件具有一插接孔，所述插接孔對應於所述差壓傳感器管座的限位部，以隔離正負壓腔，阻止正負壓腔內的導壓介質相連通。
優選地，所述隔離件為彈性材質，當所述隔離件受到來自所述差壓傳感器管座沉入所產生的壓力，使隔離件被擠壓後產生形變，從而固定所述差壓傳感器管座的限位部的位置，並封閉密封所述限位部與所述支撐部的連接處縫隙。
優選地，在所述步驟(b)、(d)、(e)中，所述焊接方式為氬弧焊接。
附圖說明
圖1是根據本發明的一個優選實施例的一種差壓傳感器裝置連接方式的立體分解示意圖。
圖2是根據本發明的上述優選實施例的一種感壓面的剖面示意圖。
圖3是根據本發明的上述優選實施例的一種差壓傳感器本體的剖面示意圖。
圖4是根據本發明的上述優選實施例的一種差壓傳感器管座的剖面示意圖。
圖5a是根據本發明的另一個優選實施例的一種差壓傳感器管座通過隔離件插入差壓傳感器本體內孔操作空間時的內部結構剖面示意圖。
圖5b是根據本發明的上述優選實施例的一種差壓傳感器管座通過隔離件插入差壓傳感器本體內孔操作空間時的局部結構剖面2:1放大圖。
圖6是根據本發明的另一個優選實施例的一種差壓傳感器裝置封裝方式的剖面示意圖。
具體實施方式
下面將通過結合附圖和實施例對本發明作進一步說明，以使任何所屬領域的技術人員能夠製造和使用本發明。在下面的描述中的實施例僅作為例子和修改物對該領域熟練的技術人員將是顯而易見的。在下面的描述中定義的一般原理將適用於其它實施例，替代物，修改物，等效實施和應用中，而不脫離本發明的精神和範圍。
圖1是本發明提供的一個優選實施例的一種差壓傳感器裝置連接方式的立體分解示意圖。如圖1所示，一種差壓傳感器裝置，其包括一差壓傳感器本體10、一隔離件20、一差壓傳感器管座30、一套管40和至少一感壓膜片50，其中所述隔離件20連接於所述差壓傳感器差壓傳感器管座30，均安裝於所述差壓傳感器本體10內部，以檢測外界環境壓力的變化。本發明的差壓傳感器裝置在一個具體實施例中能夠被實施為一個檢測終端，其適用於石化、電力、汽車、船舶、工業自動化儀器儀表等領域。
進一步地，所述感壓膜片50通過膜片成型得到與所述感壓面11相同的波形槽紋路。所述感壓膜片50還用於阻止所述差壓傳感器裝置的外部環境的水、水汽、灰塵等異物進入所述差壓傳感器本體10的內部空間而造成被設置於差壓傳感器本體10的內部空間的機構損壞。
所述差壓傳感器本體10兩側分別設置一感壓面11，其中所述感壓面11與所述感壓膜片50相連接，所述差壓傳感器裝置得以通過所述感壓膜片50來感壓、處理、傳遞壓力及其變化。
值得一提的是，儘管在本發明的說明書附圖之圖1中描述了本發明的所述一種可能的實施方式，但其僅為舉例性的描述，並不作為對本發明的內容和範圍的限制。
如圖2所示，是根據本發明的上述優選實施例的一種感壓面的剖面示意圖。其中所述感壓面11機械加工形成多個波形槽111。
值得一提地是，所述感壓面11為適應於機械加工，其中心位置具有一平臺112。
經研究人員選取標準的0.03mm厚度的感壓膜片50，反覆地實驗測試不同波形槽111數量的感壓面11，在相同溫度下測試3個溫度點數、測試9個壓力點數所得出如下幾組數據，從實驗結果可知，當所述感壓面11波形槽111排布方式以連續8個等間距排布的波形槽111時，比所述感壓面11排布以連續為6個等間距的波形槽111有更平衡的存油量。而當排布9個所述波形槽111數量時，由於所述感壓面拉伸的彈性形變達到極致而發生斷裂，因而優選地，所述感壓面11波形槽111數量是8個時，正負壓腔油量達到最平衡的效果，使所述差壓傳感器裝置具有更好的感壓性能，得以擴大所述差壓傳感器的應用場合。
表一不同波形槽數量在溫度為-20℃時所表現的誤差值變化
表二不同紋路數量在溫度為60℃時所表現的誤差值變化
表三不同紋路數量在溫度為20℃時所表現的誤差值變化
經研究人員另一組實驗反覆測試感壓面11數量為8個等間距排布的波形槽111時，在相同溫度下測試3個溫度點數、測試9個壓力點數所得出如下幾組數據。從研究結果可知，當所述波形槽111下沉幅度為0.25mm時，使差壓傳感器裝置在充油後正負壓腔內的油量達到最平衡的要求，感壓效果最好。而紋路深度超過0.25mm後，所述感壓膜片50超過最大伸縮應力而損壞，進而影響差壓傳感器裝置的正常使用。
表四在溫度為-20℃時不同紋路深度所表現的誤差值的變化情況
表五在溫度為60℃時不同紋路深度所表現的誤差值的變化情況
表六在溫度為20℃時不同紋路深度所表現的誤差值的變化情況
值得一提地是，在具體實施方式中，所述感壓膜片50可以為金屬、合金以及其他材料製成，並不限制本發明。
優選地，所述感壓面11採用的是高精度316l不鏽鋼膜片。
如圖3所示，其中所述差壓傳感器本體10包括一導壓孔13、一內孔操作空間14、一支撐部15、一定位銷16、一頂部限位槽17和兩個一感壓面11。所述感壓面11設置於所述傳感器本體10的側面。
其中所述感壓面11與所述感壓膜片50連接在一起並形成一容納空間60，得以容納所述導壓介質。
值得一提的是，所述導壓介質可以是矽油、氟油、植物油以及其他介質，並不限制本發明。
優選地，所述容納空間60通過連接與所述導壓孔13，形成一壓腔，當外界壓力作用於所述感壓膜片50而推動擠壓存在於所述容納空間60處的導壓介質時，所述導壓介質在壓腔中無損地傳遞壓力。
值得一提的是，所述容納空間60a與所述導壓孔13a形成正壓腔，所述容納空間60b與所述導壓孔13b形成負壓腔。
所述隔離件20具有一插接孔21，以連接所述差壓傳感器管座30與所述差壓傳感器本體10的內孔操作空間14。
優選地，所述隔離件20為一彈性材質元件，能受到所述差壓傳感器管座30沉入時帶來的壓力擠壓產生形變，以密封所述隔離件20與所述差壓傳感器管座30的連接處。
優選地，所述隔離件20為一採用矽氟材質的密封圈，矽氟密封圈比其他材質密封圈具有更好的耐油性。
進一步地，所述感壓面11a對應地連接與所述導壓孔13a，所述感壓面11b對應地連接與所述導壓孔13b。
所述差壓傳感器本體10的內孔操作空間14分別連通與所述差壓傳感器本體10的外部環境和置於內部空間的導壓孔13。當充入導壓介質時，導壓介質可以通過內孔操作空間14進入導壓孔13。
應當理解，儘管在說明書附圖中描述了所述差壓傳感器本體10被實施為傳統的差壓傳感器的圓柱形外觀結構，但是所述差壓傳感器本體還可以被實施為其他的形狀，例如球形、橢圓形等，因此，所述差壓傳感器10的類型和尺寸並不應被視為對本發明的內容和範圍的限制。
如圖4所示，一差壓傳感器管座30，所述差壓傳感器管座30包括一限位部31、一晶片32、一充油管道33和一電性接口34。基於所述差壓傳感器管座30與上述優選實施例的差壓傳感器本體10相配套，能將所述差壓傳感器管座30設置於上述差壓傳感器本體10的內孔操作空間14，所述差壓傳感器管座30的直徑≤所述內孔操作空間14的直徑。
其中所述差壓傳感器裝置允許所述感壓膜片50能感受到被測量的信息，並能將感受到的信息通過導壓介質傳遞給所述差壓傳感器管座內的晶片32，晶片32被設計以按一定規律將生物信號變換成為電信號或其他所需形式的信息輸出，以滿足信息的傳輸、處理、存儲、顯示、記錄和控制等要求。
當所述差壓傳感器管座30工作時，通過充油管道33向所述傳感器內孔操作空間14注入矽油，使得所述傳感器內孔操作空間14的各個導壓孔13內充滿用於傳導壓力的矽油；在實際測量過程中，通過將所述傳感器裝置浸入被測介質內，以使得被測介質對傳感器正壓腔形成正壓力，並對所述傳感器負壓腔形成負壓力；正壓力通過所述導壓孔13a內的矽油無損傳遞至晶片的下端面，負壓力通過所述導壓孔13b內的矽油無損傳遞至所述晶片的上端面，所述晶片在正負壓力的作用下會發生微小的形變，從而導致所述晶片內部的橋路電阻的阻值發生變化，通過振蕩和解調環節，轉換成與壓力成正比的信號。通過連接電源裝置以對晶片提供穩定電壓，又可將所述晶片的輸出電流傳遞至相應的儀器儀表之中，得以測量出傳感器兩端的壓力差。
進一步地，所述差壓傳感器管座30的晶片32優選德爾森md晶片。
圖5a至圖5b是本發明提供的一種差壓傳感器裝置一個優選實施例的隔離件密封所述差壓傳感器本體內孔操作空間與所述差壓傳感器管座底部連接處時的內部結構示意圖。具體地說，基於在上述具體實施例中，所述隔離件20設置於所述差壓傳感器本體10的支撐部15，當所述差壓傳感器管座30的限位部31通過所述隔離件20的插接孔21進入所述內孔操作空間14之後，所述隔離件20受到所述差壓傳感器管座30帶入的壓力而產生形變並固定所述限位部31，同時密封所述支撐部15，隔離出正負壓腔，進而替代傳統的差壓傳感器裝置對於支撐部15的焊接密封方式，減少成本，提高製造所述差壓傳感器裝置的良品率。
圖6是根據本發明的一種差壓傳感器裝置的另一個優選實施例的封裝方式剖面示意圖。具體地說，通過一差壓傳感器套管40封閉所述內孔操作空間14，其中所述差壓傳感器套管40與所述差壓傳感器本體10的頂部限位槽17連接，防止被有害物質侵蝕進入內孔操作空間14，以延長所述傳感器裝置的使用壽命。
通過以上各實施例，對所述差壓傳感器裝置的封裝方法進行歸納，所述差壓傳感器的封裝方法包括以下步驟：
(a)將所述感壓膜片焊接於所述差壓傳感器本體的所述感壓面；
(b)在所述差壓傳感器本體內孔操作空間的支撐部設置一隔離件，通過所述隔離件封閉所述差壓傳感器管座的限位部與所述差壓傳感器本體內孔操作空間連接處的縫隙；
(c)將所述差壓傳感器管座頂部與差壓傳感器本體內孔操作空間的頂部連接處進行焊接封頂；和
(d)將所述差壓傳感器套管與所述差壓傳感器本體的頂部限位槽相連接，並對連接處進行焊接封裝。
其中所述步驟(a)、所述步驟(b)的順序只是作為舉例，並不限制本方法的步驟，本領域的技術人員根據實際工藝情況可以進行調整，例如，可以將所述步驟(b)調整到所述步驟(a)之前。
根據本發明的一實施例，在所述步驟(a)中，其中所述感壓膜片與所述感壓面相連接並形成一容納空間，一容納所述導壓介質。
優選地，所述差壓傳感器本體進一步包括兩個導壓孔，所述容納空間連接與一導壓孔，使得所述差壓傳感器具有一正壓腔和一負壓腔。
根據本發明的一實施例，在所述步驟(b)中，其中所述隔離件具有一插接孔，所述插接孔對應於所述差壓傳感器管座的限位部，以隔離正負壓腔，阻止正負壓腔內的導壓介質相連通。
優選地，所述隔離件為彈性材質，當所述隔離件受到來自所述差壓傳感器管座沉入所產生的壓力，使所述隔離件被擠壓後產生形變，從而固定所述差壓傳感器管座的限位部的位置，並封閉密封所述限位部與所述支撐部的連接處縫隙。
通過本發明的上述各個具體實施方式可知，本發明提供的所述差壓傳感器裝置通過在差壓傳感器本體兩側分別設置一感壓面，並與感壓膜片相連接形成一容納空間，容納導壓介質，當所述感壓膜片受到外界壓力而擠壓所述容納空間中的導壓介質，使得導壓介質分別通過所述與容納空間連接的導壓孔分別作用在所述晶片的正反兩面，通過晶片處理生物信號為電信號或其他所需形式的信息輸出，，得以實現感應壓力的功能，能夠應用於傳統壓力差壓傳感器裝置；通過設置所述隔離件，使得所述差壓傳感器管座的限位部與所述差壓傳感器本體的內孔操作空間的連接處不需要再進行焊接連接，既實現了隔離正負壓腔使得差壓傳感器得以正常使用，又能保護所述差壓傳感器管座內的晶片，防止被焊接時的高溫所損壞，進而延長了使用壽命。
值得一提的是，將所述具有感壓膜片的差壓傳感器本體和所述差壓傳感器管座進行連接，並與所述差壓傳感器管套進行封裝後，形成所述差壓傳感器裝置，其中所述差壓傳感器裝置可以直接安裝在各個系統中進行感測外界氣壓，例如，所述差壓傳感器裝置可以應用於物聯網、工聯網、車聯網等應用場合，例如汽車的發動機系統、懸架系統、輪胎系統、油箱系統等，以用於壓力檢測。
本領域的技術人員應理解，上述描述及附圖中所示的本發明的實施例只作為舉例而並不限制本發明。本發明的目的已經完整並有效地實現。本發明的功能及結構原理已在實施例中展示和說明，在沒有背離所述原理下，本發明的實施方式可以有任何變形或修改。