矽熔煉提純拉錠一體爐的製作方法
2023-12-08 08:41:16 3
專利名稱：矽熔煉提純拉錠一體爐的製作方法
技術領域：
本發明涉及一種真空鍋爐，尤其是提純矽用的真空鍋爐。
背景技術：
目前的煉矽主要有三個過程熔煉、提煉和拉錠；用的真空鍋爐各自相互獨立，由於生產過程中不是採用真空作業，容易產生過多的氧化物而成為雜質無法去除，降低了產品的品質。由於不是連續作業，生產功效低，耗能大。
發明內容
本發明的任務是提供一種節能的、連續的提純矽用的真空鍋爐。
為實現上述目的，所採用的方案是一種提純矽用的真空鍋爐，包括電源、真空室、輸送車，其特徵在於將熔煉部分、提純部分和拉錠機構的三個真空鍋爐腔上下連接一體化，都在真空狀態下進行。
這樣解決了矽在真空狀態下的連續熔煉、提純和拉錠成型一體化，提高了品質和生產效益。
具體實施例方式
生產過程中最低真空度將保證4×10-1Pa，壓升率保證0.67Pa/h。熔煉爐在真空狀態下可加入添加劑和原料。熔煉後的原料可在真空狀態下直接流入提純爐內進行提純。提純爐由中頻加熱和電子束加熱提純。爐的底部裝有磁碟和排除雜質的機構。提純後的原料通過閥門直接進入拉錠機構進行拉錠，並有自動排除雜質裝置。拉錠機構實現自動控制，出爐管路內矽的溫度來決定拉錠機構的下降速度和自轉的速度。
熔煉部分設有真空加料裝置和傳遞倉，既可加入添加劑又可作為原材料的補充。其結構主要由中頻熔煉加熱電源、雙壁水冷爐殼、閘扳閥、傳遞倉、高溫閥門、真空機組和高溫鉗鍋等組成。
提純部分由中頻熔煉加溫、離子束加溫提純、雙壁水冷爐殼、充氣機構、強磁碟和閥門、高溫鉗鍋、真空機組等組成。
拉錠機構由管路冷卻自動控制器、拉錠模、旋轉圓料臺、可調速拉錠升降機構等組成，所有的控制通過PLC程序基本實現自動化。
權利要求
1.一種提純矽用的真空鍋爐，包括電源、真空室、輸送車，其特徵在於將熔煉部分、提純部分和拉錠機構的三個真空鍋爐腔上下連接一體化，都在真空狀態下進行。
2.如權利要求1所述，其特徵是熔煉部分設有真空加料裝置和傳遞倉，主要由中頻熔煉加熱電源、雙壁水冷爐殼、閘扳閥、傳遞倉、高溫閥門、真空機組和高溫鉗鍋等組成。
3.如權利要求1所述，其特徵是提純部分由中頻熔煉加溫、離子束加溫提純、雙壁水冷爐殼、充氣機構、強磁碟和閥門、高溫鉗鍋、真空機組等組成。
4.如權利要求1所述，其特徵是拉錠機構由管路冷卻自動控制器、拉錠模、旋轉圓料臺、可調速拉錠升降機構等組成。
全文摘要
本發明提供一種提純矽用的真空鍋爐，包括電源、真空室、輸送車，將熔煉部分、提純部分和拉錠機構的三個真空鍋爐腔上下連接一體化，都在真空狀態下進行。這樣解決了矽在真空狀態下的連續熔煉、提純和拉錠成型一體化，提高了品質和生產效益。
文檔編號C30B13/00GK101058422SQ20071006867
公開日2007年10月24日 申請日期2007年5月21日 優先權日2007年5月21日
發明者李榮華 申請人:吳江市天地人真空爐業有限公司