電子元器件傳送臺、特性測定裝置、分選裝置以及編帶裝置的製作方法

2024-03-03 21:32:15 2

本發明涉及將電子元器件收納於形成在外緣部的凹部且圓周狀地傳送電子元器件的圓盤狀的電子元器件傳送臺，更詳細地涉及外緣部的溫度偏差較小並且旋轉軸的周向的慣性矩(轉動慣量)較小的電子元器件傳送臺。此外，在本申請文件中，關於慣性矩以及轉動慣量的術語全部是指電子元器件傳送臺的旋轉軸的周向的慣性矩以及轉動慣量。

此外，本發明還涉及使用上述本發明的電子元器件傳送臺的電子元器件的特性測定裝置、分選裝置以及編帶裝置。

背景技術：

在電子元器件的特性測定裝置、電子元器件的分選裝置、電子元器件的編帶裝置等中，使用圓周狀地傳送電子元器件的圓盤狀的電子元器件傳送臺(以下，有時僅省略為「傳送臺」來記載)。

例如，在專利文獻1(日本專利特開2003－300616號公報)中，公開了這樣的傳送臺。

在圖16以及圖17中示出在專利文獻1中公開的傳送臺1000。其中，圖16是傳送臺1000的俯視圖。圖17是示出傳送臺1000安裝在傳送臺驅動裝置110上的狀態的主要部分剖視圖。

傳送臺1000呈圓盤狀。

在傳送臺1000的中央部102，形成在兩個主面間貫通的1個中心孔103和4個置位孔104作為安裝機構。

在傳送臺1000的外緣部105，形成用於收納電子元器件的多個凹部(工件收納用凹部)106。

傳送臺1000例如如圖17所示，安裝在傳送臺驅動機構110上使用。

傳送臺驅動機構110具有圓盤狀的傳送臺安裝部(傳送臺緊固部)111和軸(凸部)112。

傳送臺1000配置在傳送臺安裝部111上，軸112插通中心孔103。而且，經由圓盤墊圈113，螺栓114插通置位孔104，進而螺栓114緊固在傳送臺安裝部111上。

如上所述地安裝在傳送臺驅動機構110上的傳送臺1000反覆進行高速旋轉和停止，將電子元器件(工件)圓周狀地傳送。

即，在傳送臺驅動機構110的軸112上連接有例如步進電機(未圖示)等的驅動源，通過控制驅動源，傳送臺100反覆進行高速旋轉和停止。

傳送臺驅動裝置110構成例如電子元器件的特性測定裝置的一部分。

上述的特性測定裝置已在例如專利文獻2(日本專利特開2007－240158號公報)中被公開。

專利文獻2的特性測定裝置用於測定熱敏電阻的電阻值。

在專利文獻2的特性測定裝置中，傳送臺反覆進行高速旋轉和停止。即，在將電子元器件收納於凹部時、以及在測定區域測定電子元器件的電氣特性時，傳送臺需要完全停止。而在完成電子元器件的收納以及電氣特性的測定時，為了收納下一個電子元件以及測定下一個電子元器件的電氣特性，傳送臺需要立即旋轉再接著停止。

在特性測定裝置中，為了使傳送臺高速地旋轉、停止，減輕傳送臺的重量從而減小傳送臺的旋轉軸的周向的慣性矩(轉動慣量)是有效的。

以往，為了減輕傳送臺重量，在傳送臺的中央部和外緣部之間的中間部設置貫通兩個主面的鏤空部。

在圖18～圖20中示出三種現有的傳送臺1100～1300。

圖18是示出沒有形成鏤空部的現有例1所涉及的傳送臺1100的俯視圖。

圖19是示出形成了鏤空部108的現有例2所涉及的傳送臺1200的俯視圖。

圖20是示出形成了鏤空部118的現有例3所涉及的傳送臺1300的俯視圖。

現有例1所涉及的傳送臺1100如圖18所示，在中央部102形成1個中心孔103和4個置位孔104。

傳送臺1100在外緣部105形成多個用於收納電子元器件的凹部。但是，在圖18中，為了方便觀察，省略凹部的圖示(在以下的附圖中也相同)。

在傳送臺1100中，中間部107沒有形成鏤空部。

其結果，傳送臺1100與後文說明的形成了鏤空部的傳送臺1200、1300相比，重量較大，轉動慣量較大。傳送臺1100的轉動慣量為5.10E-06(kg·m2)。

傳送臺1100由於轉動慣量較大，因此從步進電機停止到完全停止為止的時間較長。因此，需要從步進電機停止到在測定區域開始測定電子元器件的電氣特性為止的等待時間。因而，使用傳送臺1100的特性測定裝置的測定效率變差。此外，在傳送臺完全停止前，即在傳送臺還在振動等期間，若開始測定電子元器件的電氣特性，則會產生電子元器件的電極被測定端子劃傷、或者測定誤差變大等問題。

圖19所示的現有例2所涉及的傳送臺1200在中間部107形成8個扇形的鏤空部108。

其結果，傳送臺1200與傳送臺1100相比，重量較小，轉動慣量較小。傳送臺1200的鏤空量(利用鏤空部減少的重量/沒有鏤空部減少重量時的重量)為48％。此外，傳送臺1200的轉動慣量為3.39E-06(kg·m2)。

傳送臺1200的轉動慣量較小，從步進電機停止到完全停止為止的時間較短。因此，步進電機停止後，短時間內就能在測定區域開始測定電子元器件的電氣特性。因而，使用傳送臺1200的特性測定裝置的測定效率較高。

此外，圖20所示的現有例3所涉及的傳送臺1300在中間部107形成8個圓形的鏤空部118。

其結果，傳送臺1300也與傳送臺1200相同，與傳送臺1100相比，重量較小，轉動慣量較小。傳送臺1300的鏤空量為18％。此外，傳送臺1300的轉動慣量為4.36E-06(kg·m2)。

傳送臺1300的轉動慣量較小，從步進電機停止到完全停止為止的時間較短。因此，步進電機停止，短時間內就能在測定區域開始測定電子元器件的電氣特性。因而，使用傳送臺1200的特性測定裝置的測定效率較高。

現有技術文獻專利文獻

專利文獻1

日本專利特開2003-300616號公報

專利文獻2

日本專利特開2007-240158號公報

技術實現要素：

發明所要解決的技術問題

如上所述，為了減小傳送臺的旋轉軸的周向的慣性矩(轉動慣量)，在傳送臺上形成鏤空部來減輕傳送臺的重量是有效的。

然而，若在傳送臺上形成鏤空部，則會產生如下新的問題：傳送臺的外緣部的溫度會產生偏差。

即，安裝傳送臺的驅動機構具備會產生熱量的步進電機等驅動源，從驅動源經由軸傳遞熱量至傳送臺的中央部，從而傳送臺的中央部變得溫度特別高。

雖然傳送臺的中央部溫度變高也是個問題，但更大的問題是傳送臺的外緣部的溫度產生偏差。

例如，在特性測定裝置中，測定NTC熱敏電阻或PTC熱敏電阻等熱敏電阻的電阻值。然而，熱敏電阻是以電阻值會隨溫度變化作為特徵之一的電子元器件，若在形成有收納熱敏電阻的凹部的傳送臺的外緣部的溫度產生偏差，則不 能正確地測定熱敏電阻的電阻值。即，被傳送臺傳送至測定區域的熱敏電阻由於傳送臺的外緣部的溫度偏差，每一個個體的溫度都不相同，從而不能正確地測定熱敏電阻的電阻值。

圖18所示的現有例1所涉及的沒有形成鏤空部的傳送臺1100中，例如中央部102的溫度最高的部分的溫度為50℃時，外緣部105的溫度統一是31.4℃，沒有產生溫度偏差。

而在現有例2所涉及的形成鏤空部108的傳送臺1200中，如圖21所示，中央部102的溫度最高的部分的溫度為50℃時，外緣部105的溫度的最大溫度MAX為28.248℃，最小溫度MIN為27.057℃，產生1.191℃的溫度差。

此外，在現有例3所涉及的形成鏤空部118的傳送臺1300中，如圖22所示，中央部102的溫度最高的部分的溫度為50℃時，外緣部105的溫度的最大溫度MAX為29.315℃，最小溫度MIN為28.806℃，產生0.509℃的溫度差。

如上所述，為了減小傳送臺的轉動慣量，在傳送臺上形成鏤空部來減小傳送臺的重量是有效的，然而存在以下問題：若形成鏤空部，則傳送臺的外緣部的溫度會產生偏差，因此在用於特性測定裝置時，不能正確地測定電氣特性。

解決技術問題的技術方案

本發明是用於解決上述的現有問題而完成的，本發明的電子元器件傳送臺(權利要求1中記載的電子元器件傳送臺)呈圓盤狀，包括形成安裝機構的中央部、形成多個凹部的外緣部、以及在中央部和外緣部之間的中間部，在各凹部分別收納一個電子元器件，並且通過旋轉來傳送電子元器件，在中間部形成貫通表面主面和背面主面的多個鏤空部，在俯視時，多個鏤空部分開配置在多個不同直徑的同心圓上。

此外，本發明的另一個實施方式所涉及的電子元器件傳送臺(權利要求2中記載的電子元器件傳送臺)呈圓盤狀，包括形成安裝機構的中央部、形成多個凹部的外緣部、以及在中央部和外緣部之間的中間部，在各凹部分別收納一個電子元器件，並且通過旋轉來傳送電子元器件，在中間部形成貫通表面主面和背面主面的多個鏤空部，鏤空部分別呈槽狀，在俯視時，多個槽狀的鏤空部分別從電子元器件傳送臺的中心向外緣呈輻射狀地配置。

在上述的第一個本發明(權利要求1中記載的電子元器件傳送臺)的電子元器件傳送臺中，優選為配置在至少一個同心圓上的多個鏤空部和配置在其他的至少一個同心圓上的多個鏤空部以電子元器件傳送臺的中心作為中心沿圓周方向錯開配置，在從電子元器件傳送臺的中心觀察電子元器件傳送臺的外緣時，在電子元器件傳送臺的整個外緣形成至少1個鏤空部。這是因為，在該情況下，能使外緣部的溫度的偏差更小。

此外，鏤空部可以為槽狀，該槽狀的鏤空部沿著同心圓配置，並且在中間部的各同心圓形成連接梁。在該情況下，形成在各同心圓上的連接梁的個數優選為從電子元器件傳送臺的中心側的同心圓向電子元器件傳送臺的外緣側的同心圓依次變多。這是因為，在該情況下，能使電子元器件傳送臺的中心部的熱量逐漸向電子元器件傳送臺的外緣部細細地分散，從而使外緣部的溫度的偏差更小。此外，形成在各同心圓上的連接梁優選為隔開均等的間隔來形成。這是因為，在該情況下，能使電子元器件傳送臺的中心部的熱量逐漸向電子元器件傳送臺的外緣部均勻地分散，從而使外緣部的溫度的偏差更小。而且，在中間部形成的連接梁優選為形成為分形的形狀。因為在該情況下，能使外緣部的溫度的偏差極小。

此外，在從電子元器件傳送臺的中心觀察電子元器件傳送臺的外緣的情況下，優選為在看著外緣上的至少一個點時，連接梁形成為左右對稱。這是因為，在該情況下，也能使電子元器件傳送臺的中心部的熱量逐漸向電子元器件傳送臺的外緣部均勻地分散，從而使外緣部的溫度的偏差更小。

此外，鏤空部可以是圓形或多邊形。在該情況下，為了使熱量均勻地分散，在從電子元器件傳送臺的中心觀察電子元器件傳送臺的外緣的情況下看著外緣上的至少一個點時，通過形成圓形或者多邊形的鏤空部而形成的連接梁也優選為形成為左右對稱。

此外，在上述的第二個本發明(在權利要求2中記載的電子元器件傳送臺)的電子元器件傳送臺中，形成在中間部的連接梁優選為寬度從電子元器件傳送臺的中心向外緣變寬。因為在該情況下，能使外緣部的溫度的偏差更小。

此外，從中心向外緣呈輻射狀地配置的鏤空部優選為形成為曲線形。這是因為，在該情況下，從中央部向外緣部的散熱路徑(連接梁)變長，容易使外緣部的溫度更均勻。

此外，本發明的電子元器件傳送臺中，鏤空部可以用比構成中間部的材質密度更低的材質來填充。在該情況下，在抑制電子元器件傳送臺的強度降低的同時，能減小慣性矩(轉動慣量)。此外，例如，用於填充的材質的熱傳導性與構成中間部的材質的熱傳導性相等時，容易使外緣部的溫度更均勻。或者，用於填充的材質的熱傳導性比構成中間部的材質的熱傳導性更高時，能將中心部的熱量高效地向外緣部發散。或者，用於填充的材質的熱傳導性比構成中間部的材質的熱傳導性更低時，能抑制中心部的熱量對外緣部造成影響，並且能提高強度。

此外，可以在本發明的電子元器件傳送臺的上下主面中的至少一個主面上粘貼薄膜。在該情況下，能經由薄膜使熱量發散，其結果,外緣部的溫度也變得更均勻。更具體而言，例如薄膜的熱傳導性比構成中間部的材質的熱傳導性更高時，能將中心部的熱量高效地向外緣部發散。或者，薄膜的熱傳導性比構成中間部的材質的熱傳導性更低時，能抑制中心部的熱量對外緣部造成影響，並且能使熱量發散。

此外，本發明的電子元器件傳送臺優選為通過設置鏤空部將慣性矩減少20％以上。這是因為，在該情況下，從驅動用的例如步進電機停止到電子元器件傳送臺完全地停止為止的時間變得足夠小。

本發明的電子元器件傳送臺能用於例如電子元器件的特性測定裝置。在該情況下，能正確地對電子元器件的電氣特性進行測定。此外，本發明的電子元器件傳送臺也能用於電子元器件的分選裝置和編帶裝置。

發明效果

本發明的電子元器件傳送臺的外緣部的溫度偏差較小，並且慣性矩(轉動慣量)較小。

附圖說明

圖1是示出實施方式1所涉及的電子元器件傳送臺100的俯視圖。

圖2是示出電子元器件傳送臺100的溫度分布的俯視圖。

圖3是示出實施方式2所涉及的電子元器件傳送臺200的俯視圖。

圖4是示出電子元器件傳送臺200的溫度分布的俯視圖。

圖5是示出實施方式3所涉及的電子元器件傳送臺300的俯視圖。

圖6是示出電子元器件傳送臺300的溫度分布的俯視圖。

圖7是示出實施方式4所涉及的電子元器件傳送臺400的俯視圖。

圖8是示出電子元器件傳送臺400的溫度分布的俯視圖。

圖9是示出實施方式5所涉及的電子元器件傳送臺500的俯視圖。

圖10是示出電子元器件傳送臺500的溫度分布的俯視圖。

圖11是示出電子元器件傳送臺的鏤空量和外緣部的溫度差的關係的圖表。

圖12是示出電子元器件傳送臺的慣性矩(轉動慣量)和外緣部的溫度差的關係的圖表。

圖13是示出實施方式6所涉及的電子元器件傳送臺600的俯視圖。

圖14是示出實施方式7所涉及的電子元器件傳送臺700的俯視圖。

圖15是示出實施方式8所涉及的電子元器件傳送臺800的俯視圖。

圖16是示出專利文獻1公開的電子元器件傳送臺1000的俯視圖。

圖17是示出安裝在電子元器件傳送臺驅動裝置上的電子元器件傳送臺1000的主要部分剖視圖。

圖18是示出現有例1所涉及的電子元器件傳送臺1100的俯視圖。

圖19是示出現有例2所涉及的電子元器件傳送臺1200的俯視圖。

圖20是示出現有例3所涉及的電子元器件傳送臺1300的俯視圖。

圖21是示出電子元器件傳送臺1200的溫度分布的俯視圖。

圖22是示出電子元器件傳送臺1300的溫度分布的俯視圖。

具體實施方式

以下，對於用於實施本發明的實施方式與附圖一起進行說明。

此外，各實施方式是示例性地示出本發明的實施方式，本發明並不限定於實施方式的內容。此外，可以將記載在不同的實施方式中的內容組合來實施，這種情況的實施內容也包含在本發明中。此外，附圖僅是為了方便理解實施方式，有時並非嚴密地描繪。例如，描繪的結構要素以及結構要素間的尺寸比例有時與說明書中記載的它們的尺寸比例不一致。此外，存在記載在說明書中的結構要素在附圖中省略的情況、省略個數來進行繪製的情況等。

[實施方式1]

在圖1中，示出實施方式1所涉及的電子元器件傳送臺100(如上所述有時省略為「傳送臺100」來記載；在以下的實施方式中也相同)。

傳送臺100由例如陶瓷構成，呈圓盤狀。但是，傳送臺100的材質不限定於陶瓷，也可以是用玻璃纖維強化後的環氧玻璃材料。

在傳送臺100的中央部2形成有在兩個主面之間貫通的1個中心孔3和4個置位孔4作為安裝機構。中心孔3用於供傳送臺驅動機構(未圖示)的軸插通。置位孔4用於供螺栓等插通，並將傳送臺100緊固在傳送臺驅動機構的傳送臺安裝部上。但是，安裝機構不限定於中心孔3以及置位孔4，也可以是其他方法。

在傳送臺100的外緣部5形成有用於收納電子元器件的多個凹部。但是，在圖1中，如上所述，為了方便觀察，省略凹部的圖示(在以下的附圖中也相同)。

凹部的大小當然比收納的電子元器件的大小要大。收納在凹部的電子元器件的形狀和大小是任意的。但是，在電子元器件是長方體的情況下，可以是例如縱向尺寸為0.05mm～10mm左右，橫向尺寸為0.05mm～10mm左右，高度尺寸為0.05mm～10mm左右。此外，在電子元器件是圓盤狀的情況下，可以是例如直徑為0.05mm～10mm左右，厚度尺寸為0.05mm～10mm左右。

凹部的個數是任意的，例如可以設為50個～500個。

在本實施方式中，傳送臺100的直徑設為68mm。此外，關於傳送臺100的厚度，中央部2的形成安裝機構的部分的厚度設為0.78mm，外緣部5的形成凹部的部分的厚度設為0.18mm，其他部分的厚度設為0.48mm。

雖然在本發明中傳送臺100的直徑是任意的，但是例如可以設為50mm～500mm左右。此外，雖然傳送臺100的厚度也是任意的，但是可以將中央部2的厚的部位設為0.5mm～30mm左右，將外緣部5的薄的部位設為0.05mm～10mm左右。

在傳送臺100的中央部2和外緣部5之間的中間部7，形成多個鏤空部8。通過形成鏤空部8，在中間部7形成連接梁9。

雖然梁9的寬度尺寸是任意的，但是為了維持強度，例如希望是0.25mm以上。

在本實施方式的傳送臺100中，鏤空部8形成為槽狀。而且，多個鏤空部8以傳送臺100的中心作為中心，配置成5個直徑不同的同心圓狀。槽狀的各鏤空部8以沿著同心圓的方式進行配置。

由圖1可知，越是配置在傳送臺100的中心部2側的同心圓上的鏤空部8，槽的長度越長，越是配置在傳送臺100的外緣部5側的同心圓上的鏤空部8，槽的長度越短。

其結果，從中心部2側起的第一個同心圓上配置3個鏤空部8。在第二個同心圓上配置6個鏤空部8。在第三個同心圓上配置12個鏤空部8。在第四個同心圓上配置24個鏤空部8。在第五個同心圓上配置48個鏤空部8。

此外，對於每個直徑不同的同心圓，鏤空部8在圓周方向上錯開配置，因此從傳送臺100的中心觀察傳送臺100的外緣時，在傳送臺100的整個外緣至少形成1個鏤空部8。

在傳送臺100上如上所述那樣形成鏤空部8，因此在中間部7形成的連接梁9形成所謂分形的形狀。分形是指相同的形狀(分支)改變比例尺重複出現的形狀。

本實施方式所涉及的傳送臺100中，連接梁9形成分形的形狀，因此即使中心部2的溫度因為傳送臺驅動機構的步進電機等導致變成高溫，其熱量也會 均勻地分散，同時傳導至外緣部5，因此在外緣部5不產生溫度偏差。或者，即使產生溫度偏差，也極小。

此外，本實施方式所涉及的傳送臺100在從另一個角度看時，從傳送臺的中心向外緣觀察的情況下看著外緣上的至少一個點(例如在連接中心和配置於最靠中心部2側的同心圓上的鏤空部8上所設置的連接梁9的線的延長線上的外緣上的點)時，連接梁9也能形成為左右對稱。其結果，傳送臺100中，即使中心部2的溫度由傳送臺驅動機構的步進電機等導致變成高溫，其熱量也均勻地分散，同時傳導至外緣部5，因此在外緣部5不產生溫度偏差。或者，即使產生溫度偏差，也極小。

對於中央部2的溫度最高的部分的溫度為50℃時的傳送臺100的溫度分布進行測定。此外，傳送臺100的溫度分布的測定可以使用例如紅外線熱成像等來進行。

在圖2示出傳送臺100的溫度分布。

在傳送臺100中，中央部2的溫度最高的部分的溫度為50℃時，外緣部5的溫度統一為25.039℃，沒有產生溫度偏差。

此外，傳送臺100如上所述形成鏤空部，因此重量較小，轉動慣量較小。傳送臺100的減輕量(利用鏤空部減少的重量/沒有利用鏤空部減少重量時的重量)為53％，重量大大地減少。。此外，傳送臺100的轉動慣量為2.32E-06(kg·m2)，足夠小。

如上所述，本實施方式所涉及的傳送臺100外緣部的溫度偏差較小，並且慣性矩(轉動慣量)較小。若將傳送臺100使用於專利文獻2(日本專利特開2007－240158號公報)公開的特性測定裝置，則能對電子元器件(例如熱敏電阻)的電氣特性(例如電阻值)正確地並且高效地進行測定。

傳送臺100可以用以往製造傳送臺時使用的一般的製造方法來製造。即，鏤空部8可以以與中心孔3和置位孔4相同的方法來形成。

[實施方式2]

在圖3中，示出實施方式2所涉及的傳送臺200。

傳送臺200除了鏤空部18以及連接梁19的形狀、個數以及配置以外，由與圖1、圖2所示的實施方式1所涉及的傳送臺100相同的結構來構成。

在傳送臺200的中間部7形成120個圓形的鏤空部18。

鏤空部18是以傳送臺200的中心作為中心配置成5個直徑不同的同心圓狀。即，在各同心圓上分別配置24個鏤空部18。

此外，在傳送臺200中，對於每個直徑不同的同心圓，鏤空部18在圓周方向上錯開配置，因此從傳送臺200的中心觀察傳送臺200的外緣時，在傳送臺200的整個外緣至少形成1個鏤空部18。

此外，傳送臺200在從另一個角度看時，通過形成圓形的鏤空部18而在中間部7的同心圓上形成連接梁19，在從傳送臺的中心觀察外緣的情況下看著外緣上的至少一個點時，形成的連接梁19也能形成左右對稱。

本實施方式所涉及的傳送臺200中，鏤空部18和連接梁19的形狀、個數以及配置如上所述，即使中心部2的溫度由傳送臺驅動機構的步進電機等導致變成高溫，其熱量也均勻地分散，同時傳導至外緣部5，因此在外緣部5的溫度偏差減少。

在圖4中，示出中央部2的溫度最高的部分的溫度為50℃時的傳送臺200的溫度分布。在傳送臺200中，中央部2的溫度最高的部分的溫度為50℃時，外緣部5的溫度的最大溫度MAX為28.663℃，最小溫度MIN為28.629℃,溫度偏差僅為0.034℃。傳送臺200中，外緣部5的溫度的偏差減小。

傳送臺200的鏤空量為24％。傳送臺200的轉動慣量為3.86E-06(kg·m2)，是足夠小的值。

[實施方式3]

在圖5中，示出實施方式3所涉及的傳送臺300。

傳送臺300對圖3、圖4所示的實施方式2所涉及的傳送臺200進行了變更。

具體而言，傳送臺300相對於傳送臺200，對鏤空部28以及連接梁29的配置進行了變更。此外，傳送臺300的鏤空部28的形狀以及個數與傳送臺200相同。

在傳送臺300的中間部7形成120個圓形的鏤空部28。

鏤空部28是以傳送臺300的中心作為中心配置成5個直徑不同的同心圓狀。即，在各同心圓上分別配置24個鏤空部28。

在傳送臺300中，如圖5所示，配置在直徑不同的同心圓上的鏤空部28每5個為單位，從傳送臺300的中心向外緣部配置成直線狀。在實施方式2所涉及的傳送臺200中，對於每個直徑不同的同心圓，鏤空部18在圓周方向上錯開配置，從傳送臺200的中心觀察傳送臺200的外緣時，在傳送臺200的整個外緣至少形成1個鏤空部18。與此相對，傳送臺300的鏤空部28的配置是 在從傳送臺300的中心觀察傳送臺300的外緣時，形成了5個鏤空部28的區域和鏤空部28一個也沒有形成的區域交替地設置。

在圖6，示出中央部2的溫度最高的部分的溫度為50℃時的傳送臺300的溫度分布。在傳送臺300中，中央部2的溫度最高的部分的溫度為50℃時，外緣部5的溫度的最大溫度MAX為29.167℃，最小溫度MIN為29.128℃,溫度偏差為0.039℃。該溫度差與現有例相比是得到充分改善的較小的值。

然而，將傳送臺300的溫度分布與傳送臺200的溫度分布相比較的情況下，傳送臺200中外緣部5的溫度更低，並且外緣部5的最大溫度MAX和最小溫度MIN的溫度差更小。在傳送臺中，為了抑制外緣部的溫度偏差，可知傳送臺200那樣更為優選，即，將鏤空部18配置成多個直徑不同的同心圓狀，而且，對於每個直徑不同的同心圓，將鏤空部18在圓周方向上錯開配置，在從傳送臺的中心觀察外緣時，在整個外緣至少形成1個鏤空部18。

本實施方式所涉及的傳送臺300的鏤空量為24％，與傳送臺200相同。此外，傳送臺200的轉動慣量也為3.86E-06(kg·m2)，與傳送臺200相同。

[實施方式4]

在圖7中，示出實施方式4所涉及的傳送臺400。

傳送臺400中，在中間部7的整個面配置多個六邊形的鏤空部38。

傳送臺400中，連接梁39形成得比較細。

在圖8，示出中央部2的溫度最高的部分的溫度為50℃時的傳送臺400的溫度分布。在傳送臺400中，中央部2的溫度最高的部分的溫度為50℃時，外緣部5的溫度的最大溫度MAX為27.083℃，最小溫度MIN為26.707℃,溫度偏差為0.376℃。該溫度差與實施方式1～3所涉及的傳送臺100～300相比，雖 然是較大的值，但是若與現有例相比，則是明顯地改善後的較小的值。認為在傳送臺400中，將多個六邊形的鏤空部38統一形成在中間部7的整個面，因此由從傳送臺400的中心到外緣的連接梁39形成的路徑具有不均勻的長度、位置，最大溫度MAX和最小溫度MIN的溫度差比較大。

傳送臺400的鏤空量為52％，與其他實施方式相比，重量的減少量較大。其結果，轉動慣量也極小，為1.99E-06(kg·m2)。

[実施形態5]

在圖9中，示出實施方式5所涉及的傳送臺500。

在傳送臺500中，在中間部7形成24個槽狀的鏤空部49。各鏤空部49從傳送臺500的中心向外緣配置成輻射狀。

在傳送臺500中，連接梁49的寬度從傳送臺500的中心向外緣逐漸變寬。

連接梁49的寬度從傳送臺500的中心向外緣逐漸變寬，因此外緣部的溫度變得更均勻。連接梁49的寬度優選為外緣側的寬度最寬的部位是最靠近中心側的寬度最小的部位的例如1.1倍以上。

在圖10，示出中央部2的溫度最高的部分的溫度為50℃時的傳送臺500的溫度分布。在傳送臺500中，中央部2的溫度最高的部分的溫度為50℃時，外緣部5的溫度的最大溫度MAX為29.514℃，最小溫度MIN為29.472℃,溫度偏差較小為0.42℃。認為在傳送臺500中，外緣部5的溫度偏差較小是依賴於連接梁49的寬度從傳送臺500的中心向外緣逐漸變寬。

傳送臺500的鏤空量為37％。傳送臺500的轉動慣量為3.32E-06(kg·m2)。

[實施方式與現有例的比較]

在表1中，對於實施方式1～5所涉及的傳送臺100～500、以及現有例1～3所涉及的傳送臺1100～1300，將各自的鏤空量和轉動慣量和外緣部的溫度差進行比較並示出。

【表1】

此外，在圖11中，對於實施方式1～5所涉及的傳送臺100～500、以及現有例1～3所涉及的傳送臺1100～1300，示出傳送臺的鏤空量和外緣部的溫度差的關係。

而且，在圖12中，對於實施方式1～5所涉及的傳送臺100～500、以及現有例1～3所涉及的傳送臺1100～1300，示出慣性矩(轉動慣量)和外緣部的溫度差的關係。

通過研究表1、圖11、圖12，從而可知以下事項。

可以看出鏤空量的大小與轉動慣量的大小有關。即，鏤空量越大，轉動慣量有變得越小的趨勢。然而，轉動慣量不僅受到鏤空量的影響，還受到鏤空部的形狀、個數、配置的影響。其結果，儘管實施方式1所涉及的傳送臺100比實施方式4所涉及的傳送臺400的鏤空量大，但轉動慣量更大。

為了減小外緣部的溫度差，如實施方式1所涉及的傳送臺100那樣，將連接梁9形成為分形的形狀是極為有效的。在傳送臺100中，外緣部沒有溫度差，整個外緣都是均勻的溫度。

將實施方式2所涉及的傳送臺200和實施方式3所涉及的傳送臺300進行比較可知，為了減小外緣部的溫度差，如傳送臺300那樣，對於每個直徑不同的同心圓，將鏤空部在圓周方向上錯開配置，在從傳送臺的中心觀察外緣時，在傳送臺的整個外緣必須至少形成1個鏤空部18是有效的。

如實施方式4所涉及的傳送臺400那樣，在中間部7的整個面配置多個鏤空部38在減小轉動慣量上是有效的。然而，傳送臺400與其他的實施方式所涉及的傳送臺相比，減少外周部的溫度偏差的效果更小。

為了保持減小轉動慣量，同時使外周部的溫度偏差減小，如實施方式5所涉及的傳送臺500那樣，將槽狀的鏤空部49從傳送臺的中心向外緣配置成輻射狀是有效的。

此外，實施方式1～5所涉及的傳送臺100～500與沒有設置鏤空部的現有例1相比，轉動慣量(慣性矩)都減少20％以上，是非常優選的結果。例如，實施方式4所涉及的傳送臺400與沒有設置鏤空部的現有例1相比，轉動慣量為其的39.0％，減少60％以上。本發明的電子元器件傳送臺從驅動用的例如步進電機停止到自身完全地停止為止的時間足夠小。

如上所述，可知根據本發明，能製作外緣部的溫度偏差較小並且轉動慣量較小的傳送臺。

接下來，對於其他的實施方式進行說明。

[實施方式6]

在圖13中，示出實施方式6所涉及的傳送臺600。

傳送臺600對圖9、圖10所示的實施方式5所涉及的傳送臺500進行了變更。即，在傳送臺500中，鏤空部48從中心向外緣呈直線狀，但是傳送臺600對此進行了變更，將鏤空部58形成為曲線狀。

在傳送臺600中，連接梁59也呈曲線狀，從中央部到外緣部的散熱路徑變長，外緣的溫度容易變得更均勻。

[實施方式7]

在圖14中，示出實施方式7所涉及的傳送臺700。

傳送臺700對圖3、圖4所示的實施方式2所涉及的傳送臺200進行了變更。即，傳送臺700在傳送臺200的鏤空部18中填充與構成中間部7的材質相比密度更低的材質51。例如構成中間部7的材質為氧化鋯(密度…5.7g/cm3、熱傳導率…3W/m·K)時，材質51可以使用膠木(密度…約1.2g/cm3、熱傳導率…約0.23W/m·K)等的樹脂類材料、丁腈橡膠(密度…約0.98g/cm3、熱傳導率…約0.25W/m·K)等的橡膠類材料、鋁(密度…約2.7g/cm3、熱傳導率…約230W/m·K)等的金屬類材料。

在該情況下，能抑制傳送臺700的強度降低，並且能減小慣性矩(轉動慣量)。

此外，例如，材質51的熱傳導性與構成中間部7的材質的熱傳導性相等時，容易使外緣的溫度變得更均勻。或者，材質51的熱傳導性比構成中間部7的材質的熱傳導性更高時，能將中心部的熱量高效地向外緣部發散。或者，材質51的熱傳導性比構成中間部7的材質的熱傳導性更低時，能抑制因中心部的熱量對外緣部造成的影響，並且能提高強度。

[實施方式8]

在圖15中，示出實施方式8所涉及的傳送臺800。

傳送臺800對圖3、圖4所示的實施方式2所涉及的傳送臺200進行了變更。即，傳送臺800在傳送臺200的上側的主面粘貼薄膜52。更準確地說，薄膜52粘貼在上側主面的除外緣部5的用於收納電子元器件的凹部(未圖示)的部分和中央部2的形成了中心孔3和置位孔4的部分以外的整個面上。此外，在圖15中，由於沒有繪製凹部，因此邊緣部分的薄膜52的繪製統一省略。

雖然薄膜52的材質是任意的，但是例如可以使用對即使粘貼了鋁(密度…約2.7g/cm3、熱傳導率…約230W/m·K)等其轉動慣量也不會比鏤空前大的薄的片材進行加工後得到的材質。

此外，薄膜52也可以粘著在下側的主面，代替上側的主面。或者，也可以粘著在上側和下側這兩個主面上。

薄膜52具有使熱量發散的效果，其結果能使外緣的溫度更均勻。此外，薄膜52的熱傳導性能適當選擇較高的熱傳導性、較低的熱傳導性。

以上，對於實施方式1～8所涉及的傳送臺100～800進行了說明。然而，本發明不限定於上述的內容，根據本發明的主旨，能進行各種變更。

例如，在實施方式1～3所涉及的傳送臺100～300中，分別將多個鏤空部8、18、28分開配置在直徑不同的5個同心圓上，但是同心圓的個數不限於5個，可以比5個少，也可以比5個多。

此外，在實施方式1～8所涉及的傳送臺100～800中，分別平坦地形成上側的主面，但是也可以例如在上側的主面設置散熱翅片，通過散熱翅片將熱量發散至空氣中，減小因中心部的熱量對外緣造成的影響，進而使外緣的溫度更加均勻。

此外，雖然在實施方式1所涉及的傳送臺100的說明中，說明了傳送臺100使用於例如電子元器件的特性測定裝置的情況，但是使用本發明的傳送臺的裝置不限定於電子元器件的特性測定裝置，也可以是電子元器件的分選裝置和編帶裝置等其他裝置。

標號說明

2…中心部

3…中心孔(安裝機構)

4…置位孔(安裝機構)

5…外緣部

7…中間部

8、18、28、38、48、58…鏤空部

9、19、29、39、49、59…連接梁

100、200、300、400、500、600、700、800…電子元器件傳送臺(傳送臺)