石英坩堝噴淋清洗機的製作方法

2023-06-24 09:23:26

專利名稱：石英坩堝噴淋清洗機的製作方法
技術領域：
本發明涉及一種石英坩堝噴淋清洗的設備，具體涉及一種石英坩堝噴淋清洗機。
背景技術：
作為拉制單晶矽時，石英坩堝的內表面上如有雜質的話將會影響拉晶效率，在熔制，搬運的過程中難免會不讓粉塵，灰塵等雜質落入石英坩堝內壁，這就影響到拉晶工序的效果，另外在檢測過程中也會有一定的汙染，所以在石英坩堝熔制好後到真空包裝前會有很多的因素對坩堝進行二次汙染，這樣就需要在進入真空包裝前加入清洗工序，本設備材質化學成分穩固在清洗過程中不對坩堝產生任何汙染，既節省了人工也提升了產品的質量
發明內容

本發明的目的是為了克服現有技術的不足，提供一種石英坩堝噴淋清洗機。本發明採用的技術方案是一種石英坩堝噴淋清洗機，包括風淋傳送間、噴酸房、純水清洗房、烘乾房、傳動系統和輥筒，所述風淋傳送間、噴酸房、純水清洗房和烘乾房依次連接，石英坩堝放置在由傳動系統伺服電機驅動的輥筒上，所述風淋傳送間內設置有風淋噴嘴，風淋噴嘴與風機連接，所述噴酸房內的噴酸池內設有攪拌器、濃度儀和加熱器，所述純水清洗房內設有噴淋管和恆溫加熱器。作為優選，所述輥筒為設有透明塑鋼護罩的PVC輥筒。作為優選，所述風淋傳送間入口處設有相同間隙的排序光電感應器控制電機。作為優選，所述噴酸房內設置有酸霧分離器，酸霧分離器與安裝在噴酸房上的回流管連接。作為優選，所述噴酸房安裝有透明複式密封結構的密封觀察門。有益效果本發明石英坩堝噴淋清洗機可以有效的對石英坩堝進行清洗去雜，大大節省了人工，提高工作效率。


附圖為本發明的結構示意圖。
具體實施例方式下面結合附圖和具體實施方式
對本發明作進一步說明
如附圖所示一種石英坩堝噴淋清洗機，包括風淋傳送間I、噴酸房2、純水清洗房3、烘乾房4、傳動系統和輥筒，所述風淋傳送間I、噴酸房2、純水清洗房3和烘乾房4依次連接，石英坩堝放置在由傳動系統伺服電機驅動的輥筒上，所述風淋傳送間I內設置有風淋噴嘴，風淋噴嘴與風機連接，所述噴酸房2內的噴酸池內設有攪拌器、濃度儀和加熱器，所述純水清洗房3內設有噴淋管和恆溫加熱器。
石英坩堝在進入風淋傳送間I時由風機通過風淋噴嘴噴出經過高效過濾的潔淨強風吹除石英坩堝表面附著的塵埃，在坩堝通過傳送帶到達風淋間入口時通過相同間隙的排序光電感應器控制電機將i甘禍排序為間隙一定的列隊輸送形式，PVC棍筒的輸送形式為斜齒圓柱齒輪傳動。噴酸房2為整體PVC防酸板整體熱封焊接而成，透明PVC材質觀察門採用複式密封結構，並帶有漏酸保護功能即使酸水溢出第一道密封門，也會從兩道密封門之間的積酸槽內通過回酸管回到噴酸管中二次利用，配有漏酸保護系統，噴酸循環管路對噴完的廢酸二次利用，酸液自動配比，智能化程度高，傳送過程中光電感應開關精確定位，酸液加溫系統提高化學藥劑反應活性。噴酸房噴酸池內，含有攪拌器，並配有濃度儀，在濃度過低時通過濃酸池向噴酸池內注入濃酸進行配比，在噴酸池內還配有加熱器使噴出的HF濃液為溫熱狀態，這樣去除雜質的效果將更好。流量計精確控制總管流量。Pvc管道接入噴淋房側壁上端，通過酸霧分離器將噴房內的酸霧及時抽離噴淋房內，並通過分離器將液化的酸液通過回流管在回到酸液池中。純水清洗房3通過噴淋管對坩堝進行噴洗，水箱配有恆溫加熱器溫水清洗第一道噴房噴完風水經處理後在PH值達7時排入汙水管道內，二道噴房裡的廢水回收過濾後回流至水槽內進入加壓管道提供給一道噴房對坩堝進行噴洗。烘乾 房4通過循環風機將加熱箱內熱風抽至烘乾室內烘乾坩堝同時迴風管道在將烘乾室內的冷卻空氣在抽至加熱箱進行加熱。
權利要求
1.一種石英坩堝噴淋清洗機，其特徵在於包括風淋傳送間(I)、噴酸房(2)、純水清洗房(3)、烘乾房(4)、傳動系統和輥筒，所述風淋傳送間(I)、噴酸房(2)、純水清洗房(3)和烘乾房(4)依次連接，石英坩堝放置在由傳動系統伺服電機驅動的輥筒上，所述風淋傳送間(I)內設置有風淋噴嘴，風淋噴嘴與風機連接，所述噴酸房(2)內的噴酸池內設有攪拌器、濃度儀和加熱器，所述純水清洗房(3 )內設有噴淋管和恆溫加熱器。
2.根據權利要求I所述的石英坩堝噴淋清洗機，其特徵在於所述輥筒為設有透明塑鋼護罩的PVC輥筒。
3.根據權利要求I所述的石英坩堝噴淋清洗機，其特徵在於所述風淋傳送間(I)入口處設有相同間隙的排序光電感應器控制電機。
4.根據權利要求I所述的石英坩堝噴淋清洗機，其特徵在於所述噴酸房(2)內設置有 酸霧分離器，酸霧分離器與安裝在噴酸房上的回流管連接。
5.根據權利要求I所述的石英坩堝噴淋清洗機，其特徵在於所述噴酸房(2)安裝有透明複式密封結構的密封觀察門。
全文摘要
本發明公開了一種石英坩堝噴淋清洗機，包括風淋傳送間、噴酸房、純水清洗房、烘乾房、傳動系統和輥筒，所述風淋傳送間、噴酸房、純水清洗房和烘乾房依次連接，石英坩堝放置在由傳動系統伺服電機驅動的輥筒上，所述風淋傳送間內設置有風淋噴嘴，風淋噴嘴與風機連接，所述噴酸房內的噴酸池內設有攪拌器、濃度儀和加熱器，所述純水清洗房內設有噴淋管和恆溫加熱器。本發明石英坩堝噴淋清洗機可以有效的對石英坩堝進行清洗去雜，大大節省了人工，提高工作效率。
文檔編號B08B7/04GK102784767SQ20111012444
公開日2012年11月21日 申請日期2011年5月16日 優先權日2011年5月16日
發明者邵天聰, 金軍 申請人:江蘇華爾光電材料股份有限公司