擴散石英舟的改進裝置的製作方法

2023-05-31 02:21:51 3

專利名稱：擴散石英舟的改進裝置的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種太陽能光伏矽體矽電池製造領域中的製備晶體矽PN結的擴散崗位，特別是擴散石英舟的改進裝置。
背景技術：
太陽能電池晶體矽製造工藝已經成熟，主要生產流程步驟為1、去除損傷層；2、制絨；3、擴散製備PN結；4、刻蝕、去PSG ;5、沉積減反射層；6、絲網印刷；7、快速燒結。而其中擴散製備PN結的擴散的目的在於形成PN結，這是太陽能電池製造的「心臟」工序，太陽能電池片電性能的優劣，在此道工序即可體現，所以對擴散崗位的潔淨度、工藝衛生、工夾具的使用都有比其他崗位更加嚴格的要求。目前擴散製備PN結在國內的主流設備為鏈式擴散爐和管式擴散爐。鏈式擴散爐是配合液態磷源進行擴散，雖說產量大、成本低廉但是擴散效果有待進一步提高。隨著國產設備生產能力的提高，管式擴散爐設備基本實現國產化，國內太陽能製造企業大量使用。擴散製備PN結是太陽能電池製造的核心工序，所以對工藝衛生、潔淨度、擴散PN結均勻度、表面濃度等要求都很高，隨著設備控制精度的進一步提高，一些生產中的細節環節更顯得尤為重要。在生產中製備PN結，會使用到石英舟來承載清洗制絨後的矽片進行擴散，由於擴散工序潔淨度要求極高以及管式擴散爐爐管溫度在850°以上，因此必須用舟叉將石英舟放置在SIC槳之上，但目前的石英舟與舟叉之間的設計，會導致石英舟與舟叉撞擊損壞石英舟，更為嚴重的是石英舟斷裂，石英舟之上承載矽片掉落，使得降低了生產的安全性、提高了成本。
發明內容本實用新型的目的是為了解決上述現有技術的不足而提供一種提高生產的安全性、降低成本的擴散石英舟的改進裝置。為了實現上述目的，本實用新型所設計的擴散石英舟的改進裝置，包括石英舟本體和舟叉，所述石英舟本體兩側設有與舟叉相配合的叉把，所述舟叉上設有螺母，其特徵是所述螺母前端設有墊片。通過上述的結構增加墊片，來阻止石英舟與舟叉的碰撞，避免了石英舟的損壞而使得擴散矽片的掉落，提高了生產的安全性，降低了生產成本，讓使用更加安全。本實用新型得到的擴散石英舟的改進裝置，通過上述的結構設計，來阻止石英舟與舟叉的碰撞，避免了石英舟的損壞而使得擴散矽片的掉落，提高了生產的安全性，降低了生產成本，讓使用更加安全。

圖I是實施例的整體結構安裝示意圖；圖2是圖I中舟叉3的結構示意圖。、[0010]圖中墊片I、螺母2、舟叉3、石英舟本體4、叉把41。
具體實施方式
以下結合附圖和實施例對本實用新型進一步說明。實施例，如圖I、圖2所示，本實施例提供的擴散石英舟的改進裝置，包括石英舟本體4和舟叉3，石英舟本體4兩側設置有與舟叉3相配合的叉把41，舟叉3上設置有螺母2，螺母2前端安裝有墊片1，而該墊片I需要採用耐高溫性的材料，具體 的材料可以根據具體實施例的要求而定。具體工作時，將舟叉3插入叉把41，然後利用舟叉3將石英舟本體4放置在SIC槳之上進行作業，石英舟與舟叉撞擊通過墊片I緩衝，就不會使石英舟本體4損壞。
權利要求1.一種擴散石英舟的改進裝置，包括石英舟本體(4)和舟叉(3)，其特徵是所述石英舟本體(4)兩側設有與舟叉(3)相配合的叉把(41)，所述舟叉(3)上設有螺母(2)，所述螺母(2)前端設有墊片(I)。
專利摘要本實用新型公開了一種擴散石英舟的改進裝置，包括石英舟本體和舟叉，所述石英舟本體兩側設有與舟叉相配合的叉把，所述舟叉上設有螺母，其特徵是所述螺母前端設有墊片。本實用新型得到的擴散石英舟的改進裝置，通過上述的結構設計，來阻止石英舟與舟叉的碰撞，避免了石英舟的損壞而使得擴散矽片的掉落，提高了生產的安全性，降低了生產成本，讓使用更加安全。
文檔編號C30B31/00GK202487548SQ201220135168
公開日2012年10月10日 申請日期2012年4月1日 優先權日2012年4月1日
發明者丁巍, 袁前程, 韓波, 高常輝 申請人:寧波升科太陽能股份有限公司