直拉法生產單晶矽用整塊邊皮復拉料加料裝置的製作方法

2023-05-31 05:01:26

本實用新型屬於單晶矽生產設備技術領域，具體涉及一種直拉法生產單晶矽用整塊邊皮復拉料加料裝置。

背景技術：

為了節約直拉法生產單晶矽成本，單晶矽生產領域一般採用多次加料拉制多根的方式，現大多使用長度為1米、直徑為200毫米的加料器，將單晶棒切方後產生的邊皮料進行破碎、清洗後裝入加料器中，通過直拉法單晶爐副室隔離、副室淨化的方式加入石英坩堝內。而在對單晶棒切方後產生的邊皮料破碎清洗及裝入加料器過程中會造成邊皮復拉料多次汙染，而且在將復拉料加入坩堝內的過程中容易造成濺矽，影響成晶及單晶品質。

技術實現要素：

本實用新型的目的在於提供一種直拉法生產單晶矽用整塊邊皮復拉料加料裝置，克服了現有的加料過程中存在的原料汙染及容易濺矽的缺點。

本實用新型所採用的技術方案是：直拉法生產單晶矽用整塊邊皮復拉料加料裝置，包括掛件、連接杆上部開孔的邊皮復拉料A，掛件的上部通過穿過掛件的銷釘與單晶爐上軸鋼絲繩相連，連接杆穿過邊皮復拉料A的孔將其懸掛於掛件。

本實用新型的特點還在於，

還包括連接矽棒和至少一塊邊皮復拉料B，邊皮復拉料A的下部也開有孔，至少一塊邊皮復拉料B的上部和下部都開有孔，連接矽棒穿過孔將所述邊皮復拉料A和至少一塊邊皮復拉料B首尾相連懸掛。

銷釘為鉬銷釘，掛件為不鏽鋼掛件，連接杆為鉬連接杆，連接矽棒為單晶矽棒。

本實用新型的有益效果是：本實用新型的直拉法生產單晶矽用整塊邊皮復拉料加料裝置克服了現有的加料過程中存在的原料汙染及容易濺矽的缺點。本實用新型的直拉法生產單晶矽用整塊邊皮復拉料加料裝置將單晶棒切片後產生的多塊邊皮復拉料收尾不經過破碎、清洗工序，而且將其收尾相連懸掛連接後，利用單晶爐上軸鋼絲繩和掛件將上述邊皮復拉料緩慢投入石英坩堝的熔矽中，不但避免了拉晶原料的二次汙染，而且投料過程輕柔緩慢，避免了濺矽，從而提高了成晶率和單晶品質。

附圖說明

圖1是本實用新型的直拉法生產單晶矽用整塊邊皮復拉料加料裝置的立體結構示意圖；

圖2是本實用新型的直拉法生產單晶矽用整塊邊皮復拉料加料裝置的結構剖視圖；

圖3是本實用新型的直拉法生產單晶矽用整塊邊皮復拉料加料裝置連接邊皮復拉料的狀態剖視圖；

圖4是本實用新型的直拉法生產單晶矽用整塊邊皮復拉料加料裝置安裝於單晶爐中的使用狀態圖。

圖中，1.銷釘，2.掛件，3.連接杆，4.邊皮復拉料A，5.邊皮復拉料B，6.連接矽棒，7.單晶爐上軸鋼絲繩，8.單晶爐，9.石英坩堝，10.加熱器。

具體實施方式

下面結合附圖和具體實施方式對本實用新型進行詳細說明。

本實用新型提供的直拉法生產單晶矽用整塊邊皮復拉料加料裝置如圖1和圖2所示，包括掛件2、連接杆3上部開孔的邊皮復拉料A4，掛件2 的上部通過穿過掛件2的銷釘1與單晶爐上軸鋼絲繩7相連，連接杆3穿過邊皮復拉料A4的孔將其懸掛於掛件2。

如圖3所示，本實用新型的直拉法生產單晶矽用整塊邊皮復拉料加料裝置還包括連接矽棒6和至少一塊邊皮復拉料B5，邊皮復拉料A4的下部也開有孔，至少一塊邊皮復拉料B5的上部和下部都開有孔，連接矽棒6穿過孔將邊皮復拉料A4和至少一塊邊皮復拉料B5首尾相連懸掛。

事例性的，銷釘1為鉬銷釘，其作用為連接掛件2和單晶爐上軸鋼絲繩7；掛件2為不鏽鋼掛件，其上端連接單晶矽爐上軸鋼絲繩7，下端連接懸掛單晶棒切方後產生的多塊邊皮復拉料；連接杆3為鉬連接杆，其作用為連接單晶棒切方後產生的邊皮復拉料A和掛件2，連接矽棒6為單晶矽棒，其作用為單晶棒切方後產生的多塊邊皮復拉料首尾之間的連接。顯而易見，邊皮復拉料A和邊皮復拉料B的結構相同，只是邊皮復拉料A通過連接杆3懸掛於掛件，邊皮復拉料A的下部開孔和邊皮復拉料B的上部開孔通過連接矽棒6相連，多塊邊皮復拉料B上的開孔也通過連接矽棒6首尾相連懸掛。

本實用新型的直拉法生產單晶矽用整塊邊皮復拉料加料裝置安裝於單晶爐中的使用狀態如圖4所示，實際組裝時，將銷釘1連接單晶爐上軸鋼絲繩7，然後將兩塊邊皮復拉料A通過連接杆3並排掛在掛件2中間，進一步將兩塊邊皮復拉料B5通過連接矽棒6與邊皮復拉料A下端的孔並排連接，進一步將四塊邊皮復拉料B5通過連接矽棒6與上述兩塊邊皮復拉料B5下端的孔連接，具體地，位於上方的每塊邊皮復拉料B5的下部兩側各連接一塊下方的邊皮復拉料B5上部；單晶爐8包括設置於其內的加熱器10和石英坩堝9，將組裝好的直拉法生產單晶矽用整塊邊皮復拉料加料裝置緩慢下降，將多塊整體的邊皮復拉料加入到石英坩堝9的熔矽中，直至 掛件2接近熔矽液面則拔掉連接杆2使最後剩餘的邊皮復拉料A也滑入熔矽則完成加料工作。