一種用於離子注入機的高壓自動放電裝置的製作方法

2023-06-26 04:38:16 2

專利名稱：一種用於離子注入機的高壓自動放電裝置的製作方法
技術領域：
本實用新型是一種用於快速釋放殘餘高壓和靜電的裝置，用於離子注入機中高壓倉或高壓區機房架殘餘高壓和靜電釋放，屬於半導體設備領域。
技術背景離子注入機屬於粒子加速器的一種，有部分設備處在一高電位工作區，其電位基本與加速能量相關，需要從高壓區中快速釋放殘餘高壓以及由於高壓而產生的靜電，殘餘高壓未釋放可能會擊傷工作人員。現在國內大多數離子注入機都是採用手持式接地放電棒，在高電位區工作的同時，必須手握接地放電棒以釋放殘餘高壓和靜電。
實用新型內容本實用新型是針對手持放電棒操作使用不方便，安全可靠性不太高的缺點。設計能安全自動放電的開門自動連鎖的氣動放電裝置。提高注入機的安全性和可靠性。
本實用新型通過以下技術方案實現一種高壓自動放電裝置，包括底板1，壓塊2，推塊3，固定座4，放電桿5，盤頭螺釘6，盤頭螺釘7，內六角圓柱頭螺釘8，氣缸9，如圖1所示。
所述的底板1是將整個放電裝置固定在機房上，同時將壓塊2和固定座4固定在底板1上。
所述的壓塊2通過盤頭螺釘6連接到底板1上，將放電桿5限制在底板1與壓塊2貼合面的孔內。
所述的固定座4通過盤頭螺釘7連接在底板1上，固定座4做成剖分式，通過內六角圓柱頭螺釘8將固定座4的上剖分塊和下剖分塊連接，中間留有圓孔，將氣缸9固定在圓孔內。
所述的推塊3通過螺紋與氣缸9相連，當氣缸9伸長時，推動放電桿5轉動。


圖1是本實用新型一種離子注入機的高壓自動放電裝置俯視圖；圖2是本實用新型一種離子注入機的高壓自動放電裝置主視圖。
圖中個部件介紹如下底板1，壓塊2，推塊3，固定座4，放電桿5，盤頭螺釘6，盤頭螺釘7，內六角圓柱頭螺釘8，氣缸9。
具體實施方式
以下結合附圖對本實用新型作進一步說明，但不作為對本實用新型的限定。
當離子注入機高壓區處於工作狀態時，高壓區門關閉，放電裝置的氣缸9伸出，通過推塊3推動放電桿5轉動，離開放電位置。當高壓區門打開時，在氣動連鎖條件下氣缸9放氣，推塊3退回，放電桿5在自重力作用下擺到與地線短接，放電。推塊3用尼龍6做成，起到耐磨和絕緣作用。
本實用新型的高壓自動放電裝置由氣缸行程轉換為放電桿的轉動，且能實現自動氣動連鎖控制。
權利要求1.一種用於離子注入機的高壓自動放電裝置，其特徵在於，包括底板(1)，壓塊(2)，推塊(3)，固定座(4)，放電桿(5)，盤頭螺釘(6)，盤頭螺釘(7)，內六角圓柱頭螺釘(8)，氣缸(9)；所述的底板(1)是將整個放電裝置固定在機房上，同時將壓塊(2)和固定座(4)固定在底板(1)上；所述的壓塊(2)通過盤頭螺釘(6)連接到底板(1)上，將放電桿(5)限制在底板(1)與壓塊(2)貼合面的孔內；所述的固定座(4)通過盤頭螺釘(7)連接在底板(1)上，固定座(4)做成剖分式，通過內六角圓柱頭螺釘(8)將固定座(4)的上剖分塊和下剖分塊連接，中間留有圓孔，將氣缸(9)固定在圓孔內；所述的推塊(3)通過螺紋與氣缸(9)相連，當氣缸(9)伸長時，推動放電桿(5)轉動。
專利摘要本實用新型是一種用於快速釋放殘餘高壓和靜電的裝置，用於離子注入機中高壓倉或高壓區機房架殘餘高壓和靜電釋放，包括底板、壓塊、推塊、固定座、放電桿、盤頭螺釘、內六角圓柱頭螺釘和氣缸組成。
文檔編號H01J37/317GK2935709SQ20062000818
公開日2007年8月15日 申請日期2006年3月17日 優先權日2006年3月17日
發明者彭立波, 孫雪平, 何科峰, 文超 申請人:北京中科信電子裝備有限公司