一種基於膽固醇酯液晶材料製備成膜的方法與流程

2023-06-08 00:51:11 1

本發明涉及一種基於C6H5COOH膽固醇酯液晶材料進行液晶薄膜的製備方法技術，描述了一種C6H5COOH膽固醇酯材料的磁控濺射鍍膜方法，屬於鍍膜和液晶應用領域。

背景技術：

現代的各種光電成像傳感器，如CMOS、CCD等，一般都是矽基半導體材料.成像傳感器在可見光、近紅外和近紫外波段可以成像。隨著醫療、安全、電力等領域技術的發展，對分色成像(可成像譜段內的切片式成像)的需求也來越大。分色成像通常有兩種方法：

一.在傳感器前面增加濾色片轉盤或條帶，通過手動或者電動方式進行濾色片切換，實現方法簡單但也存在結構複雜，體積大、可靠性低、響應速度慢的特點，不適合大規模推廣使用。

二.在光學成像窗口附加一個可以通過電信號進行切換通過主波長和帶寬的高分子材料。該方式成本低，可靠性高，簡便易行，隨著電控技術的提高，已逐漸成為主流的分色成像方式。

在分色成像使用的液晶技術領域，傳統的液晶材料封裝，通常採用透明窗口片灌裝液晶液體材料然後使用密封膠的形式進行灌封，導致效率低下且液晶層過厚，透光效率低。

技術實現要素：

本發明的目的在於針對現有技術存在的缺陷而提供一種新型的基於C6H5COOH膽固醇酯液晶材料進行液晶薄膜的封裝方法，克服了目前的液晶濾色片液晶片解析度低、透光效率低等問題，具有較大的實用價值。

為了獲得更好的透光效率，本發明採用基於C6H5COOH膽固醇酯液晶材料進行液晶薄膜，根據實測對比，傳統方式下照片曝光時間為2秒左右，而本專利設計的方式，曝光時間約為1/10秒，靈敏度相當於傳統方式的20倍。

基於C6H5COOH膽固醇酯液晶材料進行液晶薄膜的製備方法，採用C6H5COOH膽固醇酯液晶材料為鍍膜材料，採取射頻磁控濺射的方式，在成像光學窗口表面濺射成膜。

在鍍膜前，成像窗口基片需要進行清洗處理，一般分別使用稀鹽酸、去離子水和酒精進行超聲清洗，時間均為5mins，然後烤箱烘乾備用。清洗處理，可去除基片表面的灰塵及油汙，消除雜質對成像的幹擾，得到附著牢固持久的變頻薄膜。

在鍍膜前，成像窗口基片和靶材需要預熱，預熱溫度為200℃，時間50mins，以便消除水分，避免暴沸濺射，保證膜層均勻。

射頻磁控濺射的工作條件為：基片轉速：5rpm，加速電壓：600V，射頻電源：50MHz，氣壓：0.5Pa，電流密度：20mA/cm。。

本發明的優點和有益效果在於：

1.採用射頻磁控濺射方式鍍膜，成膜細膩均勻，解析度高，可以在各種非金屬的材質的光學成像窗口(如矽傳感器表面、光學玻璃、石英玻璃、其他光學膜層等)上可靠成膜。

2.採用射頻磁控濺射方式鍍膜，可以在較低溫度下鍍膜，避免蒸發鍍膜方式產生的高溫對鍍膜材料的破壞，保證透光效率不損失。

附圖說明

圖1是本發明所指的製作方案和使用裝備示意圖

1.旋轉電機

2.正極機架

3.待鍍膜基片

4.靶材

5.蒸發舟

6.強磁體

7.工作氣體接入閥

8.充氣閥

9.真空閥

具體實施方式

以下所述僅為本發明的較佳實施例，並不因此而限定本發明的保護範圍。

基於C6H5COOH膽固醇酯液晶材料進行液晶薄膜的製備方法，採用C6H5COOH膽固醇酯液晶為鍍膜靶材，把靶材4放在蒸發舟5上，待鍍膜基片3放入正極基架2上。關閉工作氣體接入閥7和充氣閥8，打開真空閥9，開啟外接的真空泵，待真空度達到0.01Pa，關閉真空閥9。打開工作氣體接入閥，緩慢充氣至0.5Pa。真空壓強達到要求後，即可開啟射頻電源進行濺射鍍膜。所用參數為：基片轉速：5rpm，加速電壓：600V，射頻電源：50MHz，氣壓：0.5Pa，電流密度：20mA/cm。光學監控波長為600nm和550nm。鍍膜光學厚度為200nm；鍍膜結束後，打開充氣閥8，取出鍍好的基片3。濺射鍍上的膜層位於基片3表面。